ग्रेनाइट प्लेटफ़ॉर्म, सटीक मापन और प्रसंस्करण के लिए एक संदर्भ उपकरण के रूप में, इसकी सटीकता का रखरखाव सीधे उत्पादन गुणवत्ता को प्रभावित करता है। निम्नलिखित एक व्यवस्थित रखरखाव योजना प्रदान करता है जिसमें पर्यावरण नियंत्रण, दैनिक रखरखाव और पेशेवर अंशांकन शामिल है ताकि यह सुनिश्चित किया जा सके कि प्लेटफ़ॉर्म लंबे समय तक नैनोमीटर-स्तर की सटीकता बनाए रखे।
1. पर्यावरण नियंत्रण: एक सटीक सुरक्षा अवरोध का निर्माण करें
तापमान और आर्द्रता प्रबंधन
कार्य वातावरण का तापमान 20±1°C पर स्थिर होना आवश्यक है। प्रत्येक 1°C उतार-चढ़ाव ग्रेनाइट प्लेटफ़ॉर्म के 0.5-1μm/m पर तापीय विरूपण का कारण बनेगा। कार्यशाला में एक स्थिर तापमान प्रणाली स्थापित की जा सकती है ताकि एयर कंडीशनिंग आउटलेट सीधे प्लेटफ़ॉर्म पर न गिरें।
आर्द्रता को 40% से 60% के बीच नियंत्रित किया जाना चाहिए। अत्यधिक आर्द्रता धातु के हिस्सों पर आसानी से जंग का कारण बन सकती है, जबकि बहुत कम आर्द्रता माप में स्थैतिक विद्युत व्यवधान पैदा कर सकती है।
कंपन अलगाव
प्लेटफ़ॉर्म को कंपन स्रोतों, जैसे स्टैम्पिंग मशीन और मिलिंग मशीन, से दूर रखा जाना चाहिए। कंपन उपकरणों से 3 मीटर से अधिक की दूरी बनाए रखने की सलाह दी जाती है।
यदि कंपन से बचा नहीं जा सकता है, तो प्लेटफॉर्म के समतलता पर पर्यावरणीय कंपन के प्रभाव को कम करने के लिए प्लेटफॉर्म के तल पर एयर स्प्रिंग शॉक अवशोषक स्थापित किए जा सकते हैं (जो बाहरी कंपन को 80% से अधिक कम कर सकते हैं)।
2. दैनिक रखरखाव: सफाई से लेकर सुरक्षा तक सावधानीपूर्वक नियंत्रण
सतह की सफाई विनिर्देश
धूल हटाना: धूल के कणों (≥5μm) को प्लेटफ़ॉर्म पर खरोंच लगने से बचाने के लिए सतह को हर दिन एक ही दिशा में हिरण की खाल या लिंट-मुक्त कपड़े से पोंछें। जिद्दी दागों को निर्जल इथेनॉल (शुद्धता ≥99.7%) से धीरे से पोंछा जा सकता है। एसीटोन जैसे तेज़ सॉल्वैंट्स का इस्तेमाल नहीं करना चाहिए।
डीग्रीजिंग: यदि यह तेल के दागों के संपर्क में आ जाए, तो इसे पतला तटस्थ क्लीनर से पोंछ लें, फिर विआयनीकृत पानी से धो लें और खनिज तेल को प्लेटफॉर्म के छोटे छिद्रों में प्रवेश करने से रोकने के लिए हवा में सुखा लें।
भार और टक्कर सुरक्षा
स्थानीय अधिभार के कारण होने वाले स्थायी विरूपण से बचने के लिए प्लेटफॉर्म की भार वहन क्षमता को निर्धारित भार के 70% के भीतर नियंत्रित किया जाना चाहिए (उदाहरण के लिए, 1000 किग्रा प्लेटफॉर्म के लिए, यह अनुशंसा की जाती है कि भार ≤700 किग्रा हो)।
प्लेटफ़ॉर्म पर वर्कपीस पर प्रहार करना सख्त मना है। औज़ारों को संभालते समय, नुकीली चीज़ों से सतह पर खरोंच लगने से बचाने के लिए मुलायम दस्ताने पहनें (20μm से ज़्यादा गहरी खरोंचें परावर्तित प्रकाश पथ के मापन को प्रभावित करेंगी)।
3. व्यावसायिक अंशांकन: वैज्ञानिक रूप से सटीकता बनाए रखने का मूल
अंशांकन चक्र सेटिंग
पारंपरिक उपयोग परिदृश्य: प्रत्येक तिमाही में एक बार अंशांकन करें और समतलता का पता लगाने के लिए लेजर इंटरफेरोमीटर का उपयोग करें (±0.5μm/m की सटीकता के साथ)।
उच्च आवृत्ति उपयोग या कठोर वातावरण: मासिक अंशांकन, तापमान-संवेदनशील क्षेत्रों (जैसे कि ताप स्रोतों के पास प्लेटफॉर्म के किनारे) की निगरानी पर ध्यान केंद्रित करते हुए।
अंशांकन के बाद प्रसंस्करण
यदि समतलता विचलन पाया जाता है (जैसे > ±1μm/m), तो इसे W1.5 माइक्रो-पाउडर का उपयोग करके किसी पेशेवर तकनीशियन द्वारा पीसकर मरम्मत की जानी चाहिए। सैंडपेपर से स्वयं पीसना सख्त वर्जित है।
अंशांकन के बाद, डेटा को रिकॉर्ड और संग्रहीत किया जाना चाहिए, और रखरखाव आवश्यकताओं का अग्रिम अनुमान लगाने के लिए एक प्लेटफ़ॉर्म सटीकता क्षीणन वक्र स्थापित किया जाना चाहिए।
4. भंडारण और परिवहन: छुपे हुए परिशुद्धता नुकसान से बचें
दीर्घकालिक भंडारण के लिए मुख्य बिंदु
भंडारण करते समय, इसे नमी-रोधी और धूल-रोधी आवरण से ढका जाना चाहिए। गुरुत्वाकर्षण के कारण होने वाले झुकने और विरूपण को रोकने के लिए, तल को तीन बिंदुओं (समर्थन बिंदु प्लेटफ़ॉर्म की लंबाई के 2/9 भाग पर स्थित) द्वारा सहारा दिया जाना चाहिए (लंबे समय तक एकल-बिंदु सहारे के कारण 1 मीटर का प्लेटफ़ॉर्म 0.3μm तक झुक सकता है)।
दीर्घकालिक स्थानीय दबाव से बचने के लिए प्लेटफ़ॉर्म समर्थन बिंदुओं की स्थिति को नियमित रूप से (मासिक रूप से) बदलें।
परिवहन सुरक्षा योजना
छोटी दूरी का परिवहन: आघात-अवशोषित करने वाले फोम से लपेटें, एक कठोर फ्रेम के भीतर स्थिर करें, तथा त्वरण को 2g के भीतर रखें।
लंबी दूरी का परिवहन: इसे वैक्यूम-पैक करके सूखी नाइट्रोजन से भरना होगा। पहुँचने के बाद, इसे 24 घंटे तक तब तक रखा जाना चाहिए जब तक कि तापमान संतुलन पर न पहुँच जाए, और फिर उसे खोलकर संघनन जल से सटीकता प्रभावित न हो।
5. दोष पूर्वानुमान: प्रारंभिक समस्याओं की पहचान करने की तकनीकें
दृश्य निरीक्षण: सतह का नियमित रूप से 40x आवर्धक लेंस से निरीक्षण करें। यदि लगातार खरोंचें या चमक में उल्लेखनीय कमी दिखाई दे, तो यह सटीकता में कमी का संकेत हो सकता है।
ध्वनि का पता लगाना: प्लेटफ़ॉर्म को हल्के से थपथपाएँ। अगर आवाज़ कर्कश हो जाए (आमतौर पर यह साफ़ होनी चाहिए), तो अंदर सूक्ष्म दरारें हो सकती हैं। पता लगाने के लिए तुरंत इसका इस्तेमाल बंद कर दें।
इस रखरखाव प्रणाली के माध्यम से, ZHHIMG® ग्रेनाइट प्लेटफ़ॉर्म 10 वर्षों तक ±1μm/m की समतलता बनाए रख सकता है, जो कि ठीक से रखरखाव न किए जाने वाले प्लेटफ़ॉर्म के सटीक जीवन से तीन गुना अधिक है। अभ्यास से यह साबित हुआ है कि एक निश्चित अर्धचालक कारखाने द्वारा इस समाधान को अपनाने के बाद, प्लेटफ़ॉर्म अंशांकन की आवृत्ति 50% कम हो गई, और वार्षिक रखरखाव लागत में 150,000 युआन से अधिक की बचत हुई।
पोस्ट करने का समय: 18 जून 2025