क्या सिरेमिक स्ट्रेट एज आपकी सब-माइक्रोन निरीक्षण प्रक्रिया में लापता कड़ी हो सकती है?

उच्च परिशुद्धता विनिर्माण की दुनिया में—जहाँ सहनशीलता 5 माइक्रोन से कम हो जाती है और सतह की गुणवत्ता ऑप्टिकल स्तर तक पहुँच जाती है—हमारे द्वारा उपयोग किए जाने वाले उपकरणों को पारंपरिक तरीकों से आगे विकसित होना होगा। दशकों तक, स्टील और ग्रेनाइट का ही मापन मानकों पर वर्चस्व रहा। लेकिन जैसे-जैसे सेमीकंडक्टर उपकरण, एयरोस्पेस ऑप्टिक्स और चिकित्सा सूक्ष्म उपकरणों जैसे उद्योग ऐसे क्षेत्रों में आगे बढ़ रहे हैं जहाँ तापीय विचलन या सूक्ष्म घिसाव भी अस्वीकार्य त्रुटि उत्पन्न कर सकता है, संदर्भ उपकरणों का एक नया वर्ग उभर रहा है: वे उपकरण जो धातु या पत्थर से नहीं, बल्कि उन्नत तकनीकी सिरेमिक से निर्मित होते हैं।

ZHHIMG में, हम केवल पेशकश करने से कहीं आगे बढ़ चुके हैं।सिरेमिक सीधी रूलरया सिरेमिक स्क्वायर रूलर उत्पाद। हम अत्याधुनिक डिज़ाइन के साथ अति-स्थिर सिरेमिक सामग्रियों को मिलाकर एक सीधी रेखा की परिभाषा को फिर से परिभाषित कर रहे हैं, जिसमें हमारा अभूतपूर्व कस्टम सिरेमिक एयर फ्लोटिंग रूलर भी शामिल है, एक ऐसा समाधान जो नैनोमीटर स्तर की दोहराव क्षमता प्रदान करते हुए यांत्रिक संपर्क को पूरी तरह से समाप्त कर देता है।

सिरेमिक ही क्यों? इसका उत्तर आणविक स्तर पर निहित है। स्टील (जो तापमान के साथ काफी फैलता है) या ग्रेनाइट (जो अपनी स्थिरता के बावजूद छिद्रपूर्ण और विषम रहता है) के विपरीत, ज़िरकोनिया-टफन्ड एल्यूमिना (ZTA) और सिलिकॉन नाइट्राइड जैसे इंजीनियर सिरेमिक लगभग शून्य छिद्रता, असाधारण कठोरता (1400–1800 HV) और 3–4 µm/m·°C जितने कम तापीय विस्तार गुणांक प्रदान करते हैं। इसका अर्थ है कि ZHHIMG का सिरेमिक स्ट्रेट एज तापमान में होने वाले उतार-चढ़ाव के बावजूद अपनी ज्यामिति को बनाए रखता है, जबकि पारंपरिक औजारों में ऐसे उतार-चढ़ाव से कई माइक्रोन तक विकृति आ जाती है।

लेकिन केवल सामग्री ही पर्याप्त नहीं है। हमारे सिरेमिक रूलरों को जो चीज़ वास्तव में अलग बनाती है, वह है उनकी निर्माण की सटीकता। ISO क्लास 5 क्लीनरूम में डायमंड ग्राइंडिंग, सब-एपर्चर पॉलिशिंग और लेजर इंटरफेरोमेट्रिक सत्यापन का उपयोग करके, हम 500 मिमी से अधिक की सीधी रेखा में 0.8 µm से बेहतर टॉलरेंस प्राप्त करते हैं—जिसकी पुष्टि न केवल डिलीवरी के समय की जाती है, बल्कि NIST और PTB मानकों के अनुरूप पूर्ण अंशांकन रिपोर्टों में भी दर्ज की जाती है।सिरेमिक वर्गाकार रूलरइलेक्ट्रॉनिक ऑटोकोलिमिशन के माध्यम से लंबवतता परीक्षण किया जाता है, जिससे यह सुनिश्चित होता है कि कोण 1 आर्क-सेकंड (100 मिमी पर लगभग 0.5 µm विचलन) के भीतर बने रहें।

ये सैद्धांतिक विनिर्देश नहीं हैं। ये उन ग्राहकों के लिए व्यावहारिक वास्तविकताएं हैं जो अब समझौता नहीं कर सकते। एक प्रमुख EUV लिथोग्राफी घटक आपूर्तिकर्ता अब दर्पण सपोर्ट फ्रेम को संरेखित करने के लिए विशेष रूप से हमारे सिरेमिक स्ट्रेट रूलर का उपयोग करता है। उनके प्रमुख मेट्रोलॉजिस्ट ने हमें बताया, "लंबे एक्सपोज़र चक्रों के दौरान स्टील के रूलर मुड़ जाते थे। ग्रेनाइट पर कण चिपक जाते थे। लेकिन सिरेमिक संस्करण? यह 18 महीनों से स्थिर है - इसे दोबारा कैलिब्रेट करने की आवश्यकता नहीं है।"

लेकिन सटीक ज्यामिति भी संपर्क से प्रभावित हो सकती है। किसी सतह पर स्केल को घसीटने से सूक्ष्म खरोंचें, तेल की परत का अवरोध या लोचदार विरूपण जैसी समस्याएं हो सकती हैं—खासकर नरम धातुओं या पॉलिश किए गए ऑप्टिक्स पर। यहीं पर ZHHIMG का कस्टम सिरेमिक एयर फ्लोटिंग रूलर एक क्रांतिकारी नवाचार साबित होता है।

यह सिर्फ छेदों वाली सिरेमिक की सीधी पट्टी नहीं है। यह एक पूरी तरह से इंजीनियर की गई एयरोस्टैटिक प्रणाली है, जिसे कम्प्यूटेशनल फ्लूइड डायनामिक्स का उपयोग करके डिज़ाइन किया गया है ताकि रूलर की पूरी लंबाई में एक समान, लैमिनर वायु प्रवाह सुनिश्चित हो सके। जब इसे साफ, शुष्क हवा (या संवेदनशील वातावरण में नाइट्रोजन) से दबावित किया जाता है, तो रूलर वर्कपीस से 5-10 माइक्रोन ऊपर तैरता है - जिससे भौतिक संपर्क समाप्त हो जाता है और सटीक संरेखण बना रहता है। इसका परिणाम क्या है? समतलता, सीधापन या स्टेप हाइट की जाँच के लिए सही गैर-संपर्क माप, जिसकी सटीकता ±0.2 µm तक है।

स्विट्जरलैंड की एक क्वांटम कंप्यूटिंग प्रयोगशाला अब सुपरकंडक्टिंग चिप कैरियर की जांच के लिए 600 मिमी के कस्टम सिरेमिक एयर फ्लोटिंग रूलर का उपयोग करती है। उनके प्रोसेस इंजीनियर ने बताया, "किसी भी तरह का संपर्क—यहां तक ​​कि एक सॉफ्ट स्टाइलस से भी—तनाव पैदा करता है जिससे क्यूबिट का प्रदर्शन बदल जाता है। एयर-फ्लोटिंग सिरेमिक रूलर हमें पार्ट को छुए बिना ही आवश्यक संदर्भ प्रदान करता है। यह अत्यंत महत्वपूर्ण हो गया है।"

यह सब ZHHIMG की सामग्री विज्ञान, सटीक मशीनिंग और माप विज्ञान विशेषज्ञता के अनूठे संयोजन के कारण संभव हो पाता है। जहाँ कई आपूर्तिकर्ता सिरेमिक को संरचनात्मक घटकों के रूप में देखते हैं, वहीं हम उन्हें माप उपकरणों के रूप में अनुकूलित करते हैं। हमारे सिरेमिक स्क्वायर रूलर डिज़ाइन में किनारों को खुरचकर चिकना बनाया गया है ताकि टूटने से बचाया जा सके, निरीक्षण प्रकाश में चमक को कम करने के लिए मैट फिनिश वाली पिछली सतहें हैं, और स्वचालित दृष्टि प्रणालियों के लिए वैकल्पिक फ़िड्यूशियल मार्कर भी हैं। क्लीनरूम अनुप्रयोगों के लिए, कणों के चिपकने को कम करने के लिए सतहों को Ra < 0.02 µm तक पॉलिश किया जाता है।

और चूंकि हर एप्लीकेशन अलग होती है, इसलिए हम एक ही समाधान को सबके लिए उपयुक्त नहीं मानते। क्या आपको निरीक्षण के दौरान पतले वेफर्स को पकड़ने के लिए एम्बेडेड वैक्यूम चैनलों वाला सिरेमिक स्ट्रेट एज चाहिए? हमने इसे बनाया है। क्या आपको किसी और चीज़ की आवश्यकता है?वर्गाकार शासकक्या आप अपने CMM प्रोब टिप के अनुरूप छेदों वाला रूलर चाहते हैं? हो गया। क्या आप इंटीग्रेटेड प्रेशर सेंसर और डिजिटल लेवलिंग फीडबैक वाला कस्टम सिरेमिक एयर फ्लोटिंग रूलर चाहते हैं? यह पहले से ही एक अग्रणी एयरोस्पेस ग्राहक के साथ बीटा टेस्टिंग में है।

उद्योग जगत में इसे मान्यता मिल चुकी है। 2025 ग्लोबल एडवांस्ड मेट्रोलॉजी रिव्यू में, ZHHIMG को एकमात्र ऐसी कंपनी के रूप में उल्लेख किया गया है जो प्रमाणित सिरेमिक संदर्भ उपकरणों की एक पूरी श्रृंखला - जिसमें फ्लोटिंग वेरिएंट भी शामिल हैं - पूर्ण ज्यामितीय सत्यापन और डिजिटल ट्रैसेबिलिटी के साथ पेश करती है। लेकिन इससे भी महत्वपूर्ण बात यह है कि इसका उपयोग तेजी से बढ़ रहा है: हमारे सिरेमिक रूलर के 60% से अधिक ऑर्डर अब उन उद्योगों से आते हैं जो पहले ऐसे उपकरणों को "अनावश्यक" मानते थे - जब तक कि उन्होंने अंतर को मापा नहीं।

न्यूरल इंप्लांट बनाने वाली एक मेडिकल डिवाइस स्टार्टअप कंपनी ने स्टील के बजाय हमारे सिरेमिक स्क्वायर रूलर का इस्तेमाल शुरू किया और पहली बार में ही उत्पाद की गुणवत्ता में 22% की बढ़ोतरी देखी। उनके QA मैनेजर ने बताया, “पुराने स्क्वायर रूलर से टाइटेनियम हाउसिंग पर छोटे-छोटे निशान पड़ जाते थे। हमें इसका एहसास तब तक नहीं हुआ जब तक हमने इसे बदलना शुरू नहीं किया। अब, हर पार्ट पहली बार में ही दिखने और आकार की जांच में पास हो जाता है।”

इसलिए जब आप अपने अगले माप संबंधी अपग्रेड का मूल्यांकन करें, तो खुद से पूछें: क्या मेरा वर्तमान स्ट्रेट एज अनिश्चितता बढ़ा रहा है या उसे खत्म कर रहा है?

यदि आपकी प्रक्रिया में पता लगाने की संभावना बहुत कम है, तो इसका समाधान सिरेमिक में निहित हो सकता है—न कि किसी नवीनता के रूप में, बल्कि एक आवश्यकता के रूप में। ZHHIMG में, हम केवल सिरेमिक स्ट्रेट रूलर, सिरेमिक स्क्वायर रूलर या सिरेमिक स्ट्रेट एज टूल का निर्माण ही नहीं करते। हम हर माइक्रोन में विश्वसनीयता समाहित करते हैं।