सेमीकंडक्टर निर्माण के पीछे छिपी "चट्टानी ताकत" को समझें - ग्रेनाइट से बने सटीक घटक चिप निर्माण की परिशुद्धता सीमा को कैसे नया आकार दे सकते हैं?

सेमीकंडक्टर निर्माण में परिशुद्धता क्रांति: जब ग्रेनाइट माइक्रोन तकनीक से मिलता है
1.1 पदार्थ विज्ञान में अप्रत्याशित खोजें
2023 की SEMI इंटरनेशनल सेमीकंडक्टर एसोसिएशन की रिपोर्ट के अनुसार, दुनिया की 63% उन्नत फैब्स ने पारंपरिक धातु प्लेटफार्मों के बजाय ग्रेनाइट बेस का उपयोग करना शुरू कर दिया है। पृथ्वी की गहराई में मैग्मा के संघनन से उत्पन्न यह प्राकृतिक पत्थर, अपने अद्वितीय भौतिक गुणों के कारण सेमीकंडक्टर निर्माण के इतिहास को फिर से लिख रहा है।

ऊष्मीय जड़त्व का लाभ: ग्रेनाइट का ऊष्मीय विस्तार गुणांक 4.5×10⁻⁶/℃ है, जो स्टेनलेस स्टील के ऊष्मीय विस्तार गुणांक का केवल 1/5 है, और लिथोग्राफी मशीन के निरंतर कार्य में ±0.001 मिमी की आयामी स्थिरता बनी रहती है।

कंपन अवमंदन विशेषताएँ: आंतरिक घर्षण गुणांक ढलवां लोहे की तुलना में 15 गुना अधिक है, जो उपकरण के सूक्ष्म कंपन को प्रभावी ढंग से अवशोषित करता है।

शून्य चुंबकीयकरण प्रकृति: लेजर माप में चुंबकीय त्रुटि को पूरी तरह से समाप्त करता है

1.2 खदान से लेकर शानदार इमारत तक का रूपांतरण सफर
उदाहरण के तौर पर, शेडोंग में स्थित ZHHIMG के बुद्धिमान उत्पादन केंद्र को लें, तो कच्चे ग्रेनाइट के एक टुकड़े को निम्नलिखित प्रक्रियाओं से गुजरना पड़ता है:

अति-सटीक मशीनिंग: 200 घंटे तक निरंतर मिलिंग के लिए पांच-अक्षीय लिंकेज मशीनिंग सेंटर, सतह की खुरदरापन Ra0.008μm तक

कृत्रिम उम्र बढ़ने की प्रक्रिया: स्थिर तापमान और आर्द्रता वाली कार्यशाला में 48 घंटे तक प्राकृतिक तनाव मुक्ति प्रक्रिया, जिससे उत्पाद की स्थिरता में 40% तक सुधार होता है।
दूसरा, सेमीकंडक्टर निर्माण के "रॉक सॉल्यूशन" की छह सटीक समस्याओं को हल करें।
2.1 वेफर विखंडन दर में कमी लाने की योजना

उदाहरण: जर्मनी में एक चिप फाउंड्री द्वारा हमारे गैस फ्लोटिंग ग्रेनाइट प्लेटफॉर्म को अपनाने के बाद:

वेफर व्यास	चिप दर में कमी	समतलता में सुधार
12 इंच	67%	≤0.001 मिमी
18 इंच	82%	≤0.0005 मिमी

2.2 लिथोग्राफिक संरेखण सटीकता में अभूतपूर्व सुधार योजना

तापमान क्षतिपूर्ति प्रणाली: अंतर्निहित सिरेमिक सेंसर वास्तविक समय में आकार चर की निगरानी करता है और प्लेटफ़ॉर्म के झुकाव को स्वचालित रूप से समायोजित करता है।
मापित डेटा: 28℃±5℃ के उतार-चढ़ाव के तहत, एम्बेडिंग सटीकता में 0.12μm से कम का उतार-चढ़ाव होता है।