ग्रेनाइट परिशुद्धता प्लेटफार्मों की समतलता के लिए पता लगाने के तरीके।

परिशुद्धता विनिर्माण और वैज्ञानिक अनुसंधान के क्षेत्रों में, ग्रेनाइट परिशुद्धता प्लेटफार्मों की समतलता उपकरणों की सटीकता सुनिश्चित करने के लिए एक महत्वपूर्ण संकेतक है। निम्नलिखित आपके लिए कई मुख्यधारा के पता लगाने के तरीकों और उनकी संचालन प्रक्रियाओं का विस्तृत परिचय है।
I. लेजर इंटरफेरोमीटर जांच विधि
लेजर इंटरफेरोमीटर उच्च परिशुद्धता समतलता का पता लगाने के लिए पसंदीदा उपकरण है। उदाहरण के तौर पर ZYGO GPI XP लेजर इंटरफेरोमीटर को लें, इसका रिज़ॉल्यूशन 0.1nm तक पहुँच सकता है। पता लगाने के दौरान, पहले इंटरफेरोमीटर के प्रकाश स्रोत को प्लेटफ़ॉर्म के साथ संरेखित करें और प्लेटफ़ॉर्म की सतह को 50 मिमी × 50 मिमी ग्रिड क्षेत्रों में विभाजित करें। इसके बाद, इंटरफेरेंस फ्रिंज डेटा को बिंदु दर बिंदु एकत्र किया गया, और डेटा को समतलता त्रुटि प्राप्त करने के लिए ज़र्निके बहुपद का उपयोग करके फिट और विश्लेषण किया गया। यह विधि उच्च परिशुद्धता वाले प्लेटफ़ॉर्म पर लागू होती है और ≤0.5μm/m² की समतलता त्रुटियों का पता लगा सकती है। इसका उपयोग आमतौर पर फोटोलिथोग्राफी मशीनों और उच्च-स्तरीय तीन-समन्वय मापने वाली मशीन प्लेटफ़ॉर्म का पता लगाने में किया जाता है।
2. इलेक्ट्रॉनिक लेवल ऐरे विधि
इलेक्ट्रॉनिक लेवल ऐरे डिटेक्शन को संचालित करना सरल और अत्यधिक कुशल है। TESA A2 इलेक्ट्रॉनिक लेवल (0.01μm/m के रिज़ॉल्यूशन के साथ) को चुना गया और प्लेटफ़ॉर्म की X/Y अक्ष दिशा के साथ 9×9 ऐरे में व्यवस्थित किया गया। प्रत्येक स्तर के झुकाव डेटा को समकालिक रूप से एकत्रित करके और फिर गणना के लिए कम से कम वर्ग विधि का उपयोग करके, समतलता मान को सटीक रूप से प्राप्त किया जा सकता है। यह विधि प्लेटफ़ॉर्म की स्थानीय अवतलता और उत्तलता स्थितियों को प्रभावी ढंग से पहचान सकती है। उदाहरण के लिए, 50 मिमी की सीमा के भीतर 0.2μm का उतार-चढ़ाव भी पता लगाया जा सकता है, जो बड़े पैमाने पर उत्पादन में तेजी से पता लगाने के लिए उपयुक्त है।
iii.ऑप्टिकल फ्लैट क्रिस्टल विधि
ऑप्टिकल फ्लैट क्रिस्टल विधि छोटे क्षेत्र के प्लेटफ़ॉर्म का पता लगाने के लिए उपयुक्त है। प्लेटफ़ॉर्म पर परीक्षण किए जाने वाले सतह पर ऑप्टिकल फ्लैट क्रिस्टल को कसकर चिपकाएँ और मोनोक्रोमैटिक प्रकाश स्रोत (जैसे सोडियम लैंप) की रोशनी में उनके बीच बनने वाले हस्तक्षेप फ्रिंज का निरीक्षण करें। यदि धारियाँ समानांतर सीधी धारियाँ हैं, तो यह अच्छी समतलता को इंगित करता है। यदि घुमावदार धारियाँ दिखाई देती हैं, तो धारी वक्रता की डिग्री के आधार पर समतलता त्रुटि की गणना करें। प्रत्येक घुमावदार पट्टी 0.316μm की ऊँचाई के अंतर को दर्शाती है, और समतलता डेटा को सरल रूपांतरण के माध्यम से प्राप्त किया जा सकता है।
चार. तीन-समन्वय मापने की मशीन निरीक्षण विधि
तीन-समन्वय मापने वाली मशीन तीन-आयामी अंतरिक्ष में उच्च-सटीक माप प्राप्त कर सकती है। मापने वाली मशीन के वर्कटेबल पर ग्रेनाइट प्लेटफ़ॉर्म रखें और प्लेटफ़ॉर्म की सतह पर कई माप बिंदुओं से समान रूप से डेटा एकत्र करने के लिए जांच का उपयोग करें। मापने वाली मशीन प्रणाली प्लेटफ़ॉर्म की समतलता रिपोर्ट तैयार करने के लिए इन डेटा को संसाधित और विश्लेषण करती है। यह विधि न केवल समतलता का पता लगा सकती है, बल्कि प्लेटफ़ॉर्म के अन्य ज्यामितीय मापदंडों को भी एक साथ प्राप्त कर सकती है, और बड़े ग्रेनाइट प्लेटफ़ॉर्म के व्यापक पता लगाने के लिए उपयुक्त है।
इन पहचान विधियों में निपुणता प्राप्त करने से आपको ग्रेनाइट परिशुद्धता प्लेटफॉर्म की समतलता का सटीक आकलन करने में मदद मिल सकती है और परिशुद्धता उपकरणों के स्थिर संचालन के लिए एक विश्वसनीय गारंटी प्रदान की जा सकती है।