अल्ट्रा-प्रिसिजन स्पोर्ट्स मॉड्यूल के ग्रेनाइट प्रिसिजन बेस के लिए पर्यावरण अनुकूलन मार्गदर्शिका।

उच्च-स्तरीय विनिर्माण और अत्याधुनिक वैज्ञानिक अनुसंधान के क्षेत्र में, एयर फ्लोट का अति-सटीक गति मॉड्यूल अपने उत्कृष्ट परिशुद्धता प्रदर्शन के साथ, सूक्ष्म संचालन और मापन के लिए एक प्रमुख उपकरण बन गया है। ग्रेनाइट परिशुद्धता आधार, एक सहायक कोर के रूप में, कार्य वातावरण के लिए सख्त आवश्यकताओं को पूरा करता है, और उपयुक्त पर्यावरणीय परिस्थितियाँ इसके स्थिर प्रदर्शन और सर्वोत्तम प्रभाव को सुनिश्चित करने का आधार हैं।

पहला, तापमान नियंत्रण: सटीक "स्थिरीकरण"
यद्यपि ग्रेनाइट अपनी स्थिरता के लिए जाना जाता है, यह तापमान परिवर्तनों से पूरी तरह अछूता नहीं है। यद्यपि इसका तापीय प्रसार गुणांक कम है, सामान्यतः 5-7 × 10⁻⁶/℃, अति-सटीक गति नियंत्रण परिदृश्यों में, सूक्ष्म तापमान में उतार-चढ़ाव अभी भी आयामी परिवर्तन का कारण बन सकता है और मॉड्यूल की सटीकता को प्रभावित कर सकता है। अर्धचालक चिप निर्माण कार्यशाला में, लिथोग्राफी प्रक्रिया में दानामी-स्तर की स्थिति सटीकता की आवश्यकता होती है, और परिवेश के तापमान में 1°C का उतार-चढ़ाव होता है, और 1 मीटर की भुजा लंबाई वाला ग्रेनाइट आधार 5-7 माइक्रोन का रैखिक विस्तार या संकुचन उत्पन्न कर सकता है। यह छोटा सा परिवर्तन एयर फ्लोट के अति-सटीक गति मॉड्यूल द्वारा प्रेषित होता है, जो चिप लिथोग्राफी पैटर्न विचलन को कम करने और उपज को बहुत कम करने के लिए पर्याप्त है। इसलिए, हवा में तैरते अल्ट्रा-प्रेसिजन मोशन मॉड्यूल के ग्रेनाइट परिशुद्धता आधार से लैस, आदर्श कार्य वातावरण का तापमान 20 डिग्री सेल्सियस ± 1 डिग्री सेल्सियस पर नियंत्रित किया जाना चाहिए, उच्च परिशुद्धता निरंतर तापमान उपकरण की मदद से, जैसे निरंतर तापमान और आर्द्रता एयर कंडीशनिंग सिस्टम, परिवेश के तापमान की निरंतर निगरानी और समायोजन, यह सुनिश्चित करने के लिए कि बहुत छोटी सी सीमा में तापमान में उतार-चढ़ाव, आधार आकार स्थिरता बनाए रखने के लिए, यह सुनिश्चित करने के लिए कि मॉड्यूल उच्च परिशुद्धता संचालन।
दूसरा, आर्द्रता प्रबंधन: नमी-रोधी सुरक्षा की कुंजी "पत्थर"
परिशुद्ध ग्रेनाइट बेस के प्रदर्शन को प्रभावित करने वाला एक अन्य महत्वपूर्ण कारक आर्द्रता है। उच्च आर्द्रता वाले वातावरण में, ग्रेनाइट आसानी से जल वाष्प को अवशोषित कर लेता है, जिससे सतह पर संघनन हो सकता है, जो न केवल ग्रेनाइट और एयर फ्लोट के अति-परिशुद्ध गति मॉड्यूल की संयोजन स्थिरता को प्रभावित करता है, बल्कि सतह के क्षरण का कारण भी बन सकता है और लंबे समय में चमक और सटीकता को कम कर सकता है। ऑप्टिकल लेंस ग्राइंडिंग कार्यशाला में, यदि आर्द्रता लंबे समय तक 60% सापेक्ष आर्द्रता (RH) से अधिक रहती है, तो ग्रेनाइट बेस की सतह पर अवशोषित जल वाष्प गैस फ्लोट स्लाइडर की गति में बाधा उत्पन्न करेगा, जिससे लेंस ग्राइंडिंग की सटीकता कम हो जाएगी और सतह त्रुटिपूर्ण हो जाएगी। इसलिए, कार्य वातावरण की सापेक्ष आर्द्रता को 40%-60% सापेक्ष आर्द्रता (RH) के बीच कड़ाई से नियंत्रित किया जाना चाहिए, जिसे उच्च आर्द्रता के कारण ग्रेनाइट बेस को होने वाले नुकसान से बचाने के लिए डीह्यूमिडिफायर, आर्द्रता सेंसर और अन्य उपकरण लगाकर वास्तविक समय में निगरानी और समायोजित किया जा सकता है, और एयर फ्लोट के अति-परिशुद्ध गति मॉड्यूल का सुचारू संचालन सुनिश्चित किया जा सकता है।
तीसरा, स्वच्छता की गारंटी: परिशुद्धता का "संरक्षक"
वायु प्लवन के अति-परिशुद्धता गति मॉड्यूल के परिशुद्धता ग्रेनाइट आधार को धूल के कणों से होने वाले नुकसान को कम करके नहीं आंका जा सकता। एक बार जब ये सूक्ष्म कण गैस फ्लोट स्लाइडर और ग्रेनाइट आधार के बीच गैस फिल्म के अंतराल में प्रवेश कर जाते हैं, तो वे गैस फिल्म की एकरूपता को नष्ट कर सकते हैं, घर्षण बढ़ा सकते हैं, और आधार की सतह को खरोंच भी सकते हैं, जिसके परिणामस्वरूप गति की सटीकता कम हो जाती है। एयरोस्पेस भागों की अति-परिशुद्धता मशीनिंग कार्यशाला में, यदि हवा में मौजूद धूल के कण ग्रेनाइट आधार पर गिरते हैं, तो मशीनिंग उपकरण का गति पथ विचलित हो सकता है, जिससे भागों की मशीनिंग सटीकता प्रभावित होती है। इसलिए, कार्य क्षेत्र को अत्यधिक स्वच्छ रखा जाना चाहिए, स्वच्छता मानकों के 10,000 या उससे भी उच्च स्तर तक पहुँचना चाहिए। उच्च दक्षता वाले वायु फिल्टर (HEPA) जैसे वायु शोधन उपकरणों की स्थापना के माध्यम से, हवा में मौजूद धूल के कणों को फ़िल्टर किया जाना चाहिए। साथ ही, कर्मचारियों को धूल-रहित कपड़े, जूते के कवर आदि पहनने चाहिए, ताकि मनुष्यों द्वारा लाई गई धूल को कम किया जा सके। ग्रेनाइट आधार और वायु फ्लोट अति-परिशुद्धता गति मॉड्यूल के उच्च-परिशुद्धता संचालन वातावरण को बनाए रखें।

चार, कंपन अलगाव: "शॉक पैड" का सुचारू संचालन
बाहरी कंपन एयर फ्लोट के अति-सटीक गति मॉड्यूल की सटीकता का दुश्मन है। यद्यपि सटीक ग्रेनाइट बेस में एक निश्चित कंपन क्षीणन क्षमता होती है, फिर भी उच्च-शक्ति कंपन इसकी बफर सीमा को तोड़ सकता है। कारखाने के आसपास के यातायात और बड़े यांत्रिक उपकरणों के संचालन से उत्पन्न कंपन ज़मीन के माध्यम से ग्रेनाइट बेस तक संचारित होता है, जो एयर फ्लोट के अति-सटीक गति मॉड्यूल की गति सटीकता में बाधा उत्पन्न करेगा। उच्च-स्तरीय सीएमएम में, कंपन के कारण मापी जाने वाली जांच और मापी जाने वाली वस्तु के बीच संपर्क अस्थिर हो सकता है, जिसके परिणामस्वरूप माप डेटा में विचलन हो सकता है। इस समस्या के समाधान के लिए, प्रभावी कंपन पृथक्करण उपायों को अपनाना आवश्यक है, जैसे कि उपकरण स्थापना क्षेत्र में कंपन पृथक्करण पैड बिछाना, कंपन पृथक्करण नींव का निर्माण करना, या सक्रिय कंपन पृथक्करण प्रणाली का उपयोग करके बाहरी कंपन को सक्रिय रूप से ऑफसेट करना, ताकि ग्रेनाइट सटीक बेस और एयर फ्लोट अति-सटीक गति मॉड्यूल के लिए एक शांत और स्थिर कार्य वातावरण बनाया जा सके।
केवल तापमान, आर्द्रता, स्वच्छता और कंपन नियंत्रण की पर्यावरणीय आवश्यकताओं को पूरी तरह से पूरा करके, एयर फ्लोट के अल्ट्रा-प्रिसिजन मोशन मॉड्यूल का ग्रेनाइट परिशुद्धता आधार अपने प्रदर्शन लाभों को पूर्ण रूप से निभा सकता है, विभिन्न क्षेत्रों में अल्ट्रा-प्रिसिजन संचालन के लिए विश्वसनीय गारंटी प्रदान कर सकता है, और उद्योग को उच्च परिशुद्धता विनिर्माण और वैज्ञानिक अनुसंधान स्तर की ओर बढ़ने में मदद कर सकता है।