अल्ट्रा-प्रिसिज़न स्पोर्ट्स मॉड्यूल के ग्रेनाइट प्रिसिज़न बेस के लिए पर्यावरण अनुकूलन मार्गदर्शिका।

उच्च-स्तरीय विनिर्माण और अत्याधुनिक वैज्ञानिक अनुसंधान के क्षेत्र में, एयर फ्लोट का अल्ट्रा-प्रिसिज़न मोशन मॉड्यूल अपने उत्कृष्ट परिशुद्धता प्रदर्शन के साथ ठीक संचालन और माप के लिए एक महत्वपूर्ण उपकरण बन गया है। ग्रेनाइट परिशुद्धता आधार, समर्थन कोर के रूप में, काम के माहौल के लिए सख्त आवश्यकताएं हैं, और उपयुक्त पर्यावरणीय परिस्थितियां इसके स्थिर प्रदर्शन और सर्वोत्तम प्रभाव को सुनिश्चित करने का आधार हैं।

प्रथम, तापमान नियंत्रण: परिशुद्धता "स्थिरीकरण"
यद्यपि ग्रेनाइट अपनी स्थिरता के लिए जाना जाता है, यह तापमान परिवर्तनों से पूरी तरह से प्रतिरक्षित नहीं है। यद्यपि इसका तापीय विस्तार गुणांक कम है, आम तौर पर 5-7 × 10⁻⁶ / ℃, अल्ट्रा-सटीक गति नियंत्रण परिदृश्यों में, सूक्ष्म तापमान में उतार-चढ़ाव अभी भी आयामी परिवर्तन का कारण बन सकता है और मॉड्यूल सटीकता को प्रभावित कर सकता है। सेमीकंडक्टर चिप निर्माण कार्यशाला में, लिथोग्राफी प्रक्रिया के लिए दानामी-स्तर की स्थिति सटीकता की आवश्यकता होती है, और परिवेश का तापमान 1 ° C से उतार-चढ़ाव करता है, और 1 मीटर की लंबाई वाले ग्रेनाइट बेस में 5-7 माइक्रोन का रैखिक विस्तार या संकुचन हो सकता है। यह छोटा सा परिवर्तन एयर फ्लोट के अल्ट्रा-सटीक गति मॉड्यूल द्वारा प्रेषित होता है, जो चिप लिथोग्राफी पैटर्न विचलन बनाने और उपज को बहुत कम करने के लिए पर्याप्त है। इसलिए, हवा में तैरते अल्ट्रा-सटीक गति मॉड्यूल के ग्रेनाइट परिशुद्धता आधार से लैस, आदर्श कार्य वातावरण तापमान को 20 ° C ± 1 ° C पर नियंत्रित किया जाना चाहिए, उच्च परिशुद्धता निरंतर तापमान उपकरण की मदद से, जैसे निरंतर तापमान और आर्द्रता एयर कंडीशनिंग सिस्टम, परिवेश के तापमान की निरंतर निगरानी और समायोजन, यह सुनिश्चित करने के लिए कि बहुत छोटी सीमा में तापमान में उतार-चढ़ाव, आधार आकार स्थिरता बनाए रखें, यह सुनिश्चित करने के लिए कि मॉड्यूल उच्च परिशुद्धता संचालन सुनिश्चित करने के लिए।
दूसरा, आर्द्रता प्रबंधन: नमी-रोधी सुरक्षा की कुंजी "पत्थर"
परिशुद्धता ग्रेनाइट बेस के प्रदर्शन को प्रभावित करने वाला एक और महत्वपूर्ण कारक आर्द्रता है। उच्च आर्द्रता वाले वातावरण में, ग्रेनाइट जल वाष्प को अवशोषित करना आसान है, जिससे सतह पर संघनन हो सकता है, जो न केवल ग्रेनाइट और एयर फ्लोट के अल्ट्रा-प्रिसिजन मोशन मॉड्यूल की कनेक्शन स्थिरता को प्रभावित करता है, बल्कि सतह के क्षरण का कारण भी बन सकता है और लंबे समय में चमक और सटीकता को कम कर सकता है। ऑप्टिकल लेंस पीसने वाली कार्यशाला में, यदि आर्द्रता लंबे समय तक 60% आरएच से अधिक है, तो ग्रेनाइट बेस की सतह पर अवशोषित जल वाष्प गैस फ्लोट स्लाइडर की गति में हस्तक्षेप करेगा, जिससे लेंस पीसने की सटीकता कम हो जाती है, और सतह त्रुटिपूर्ण होती है। इसलिए, कार्य वातावरण की सापेक्ष आर्द्रता को 40%-60% आरएच के बीच सख्ती से नियंत्रित किया जाना चाहिए, जिसे उच्च आर्द्रता के कारण ग्रेनाइट बेस को नुकसान से बचने के लिए डीह्यूमिडिफायर, आर्द्रता सेंसर और अन्य उपकरण स्थापित करके वास्तविक समय में निगरानी और समायोजित किया जा सकता है, और एयर फ्लोट के अल्ट्रा-प्रिसिजन मोशन मॉड्यूल के सुचारू संचालन को सुनिश्चित किया जा सकता है।
तीसरा, स्वच्छता की गारंटी: परिशुद्धता का "संरक्षक"
एयर फ्लोटेशन के अल्ट्रा-प्रिसिशन मोशन मॉड्यूल के प्रिसिशन ग्रेनाइट बेस को धूल के कणों से होने वाले नुकसान को कम करके नहीं आंका जा सकता। एक बार जब छोटे कण गैस फ्लोट स्लाइडर और ग्रेनाइट बेस के बीच गैस फिल्म गैप में प्रवेश करते हैं, तो वे गैस फिल्म की एकरूपता को नष्ट कर सकते हैं, घर्षण बढ़ा सकते हैं और यहां तक ​​कि बेस की सतह को खरोंच भी सकते हैं, जिसके परिणामस्वरूप मूवमेंट की सटीकता कम हो जाती है। एयरोस्पेस पार्ट्स की अल्ट्रा-प्रिसिशन मशीनिंग वर्कशॉप में, अगर हवा में मौजूद धूल के कण ग्रेनाइट बेस पर गिरते हैं, तो मशीनिंग टूल का मोशन ट्रैजेक्टरी विचलित हो सकता है, जिससे पार्ट्स की मशीनिंग सटीकता प्रभावित हो सकती है। इसलिए, कार्य क्षेत्र को अत्यधिक साफ-सुथरा रखा जाना चाहिए, 10,000 या उससे भी अधिक स्वच्छता मानकों तक पहुंचना चाहिए, हवा में मौजूद धूल के कणों को छानने के लिए उच्च दक्षता वाले एयर फिल्टर (HEPA) जैसे वायु शोधन उपकरणों की स्थापना के माध्यम से, साथ ही, कर्मचारियों को धूल से मुक्त कपड़े, जूता कवर आदि पहनने की आवश्यकता होती है, ताकि मनुष्यों द्वारा लाई गई धूल को कम किया जा सके। ग्रेनाइट बेस और एयर फ्लोट अल्ट्रा-प्रिसिशन मोशन मॉड्यूल के उच्च परिशुद्धता वाले ऑपरेटिंग वातावरण को बनाए रखें।

चार, कंपन अलगाव: "शॉक पैड" का सुचारू संचालन
बाहरी कंपन एयर फ्लोट के अल्ट्रा-प्रिसिशन मोशन मॉड्यूल की सटीकता का दुश्मन है। हालांकि प्रिसिशन ग्रेनाइट बेस में एक निश्चित कंपन क्षीणन क्षमता होती है, फिर भी उच्च-शक्ति कंपन इसकी बफर सीमा को तोड़ सकती है। कारखाने के आसपास के यातायात और बड़े यांत्रिक उपकरणों के संचालन से उत्पन्न कंपन जमीन के माध्यम से ग्रेनाइट बेस तक प्रेषित होती है, जो एयर फ्लोट के अल्ट्रा-प्रिसिशन मोशन मॉड्यूल की गति सटीकता में हस्तक्षेप करेगी। उच्च-अंत सीएमएम में, कंपन मापने वाले जांच और मापी जाने वाली वर्कपीस के बीच संपर्क को अस्थिर कर सकता है, जिसके परिणामस्वरूप माप डेटा का विचलन हो सकता है। इस समस्या को हल करने के लिए, प्रभावी कंपन अलगाव उपायों को अपनाना आवश्यक है, जैसे कि उपकरण स्थापना क्षेत्र में कंपन अलगाव पैड बिछाना, कंपन अलगाव नींव का निर्माण करना, या बाहरी कंपन को सक्रिय रूप से ऑफसेट करने के लिए सक्रिय कंपन अलगाव प्रणाली का उपयोग करना, और ग्रेनाइट प्रिसिशन बेस और एयर फ्लोट अल्ट्रा-प्रिसिशन मोशन मॉड्यूल के लिए एक शांत और स्थिर कार्य वातावरण बनाना।
केवल तापमान, आर्द्रता, स्वच्छता और कंपन नियंत्रण की पर्यावरणीय आवश्यकताओं को पूरी तरह से पूरा करके, एयर फ्लोट के अल्ट्रा-प्रिसिजन मोशन मॉड्यूल का ग्रेनाइट परिशुद्धता आधार अपने प्रदर्शन लाभों को पूर्ण रूप से निभा सकता है, विभिन्न क्षेत्रों में अल्ट्रा-प्रिसिजन संचालन के लिए विश्वसनीय गारंटी प्रदान कर सकता है और उद्योग को उच्च परिशुद्धता विनिर्माण और वैज्ञानिक अनुसंधान स्तर की ओर बढ़ने में मदद कर सकता है।