ग्रेनाइट बेस: यह फोटोलिथोग्राफी मशीनों का “स्वर्णिम साथी” क्यों है?

अर्धचालक विनिर्माण में, फोटोलिथोग्राफी मशीन एक महत्वपूर्ण उपकरण है जो चिप्स की परिशुद्धता निर्धारित करता है, और ग्रेनाइट आधार, अपनी कई विशेषताओं के साथ, फोटोलिथोग्राफी मशीन का एक अनिवार्य घटक बन गया है।

तापीय स्थिरता: तापमान परिवर्तन के विरुद्ध "ढाल"
जब फोटोलिथोग्राफी मशीन चालू होती है, तो यह बहुत अधिक मात्रा में गर्मी उत्पन्न करती है। यहां तक ​​कि केवल 0.1 डिग्री सेल्सियस के तापमान में उतार-चढ़ाव भी उपकरण घटकों के विरूपण का कारण बन सकता है और फोटोलिथोग्राफी की सटीकता को प्रभावित कर सकता है। ग्रेनाइट के ऊष्मीय विस्तार का गुणांक बेहद कम है, केवल 4-8 ×10⁻⁶/℃, जो स्टील के लगभग 1/3 और एल्यूमीनियम मिश्र धातु के 1/5 के बराबर है। यह ग्रेनाइट बेस को आयामी स्थिरता बनाए रखने में सक्षम बनाता है जब फोटोलिथोग्राफी मशीन लंबे समय तक संचालित होती है या जब पर्यावरण का तापमान बदलता है, तो ऑप्टिकल घटकों और यांत्रिक संरचनाओं की सटीक स्थिति सुनिश्चित होती है।

सुपर एंटी-वाइब्रेशन प्रदर्शन: "स्पंज" जो कंपन को अवशोषित करता है
सेमीकंडक्टर फैक्ट्री में, आस-पास के उपकरणों का संचालन और लोगों की आवाजाही सभी कंपन उत्पन्न कर सकते हैं। ग्रेनाइट में उच्च घनत्व और कठोर बनावट होती है, और इसमें उत्कृष्ट भिगोना गुण होते हैं, जिसमें धातुओं की तुलना में 2 से 5 गुना अधिक भिगोना अनुपात होता है। जब बाहरी कंपन ग्रेनाइट बेस में संचारित होते हैं, तो आंतरिक खनिज क्रिस्टल के बीच घर्षण कंपन ऊर्जा को अपव्यय के लिए ऊष्मा ऊर्जा में परिवर्तित कर देता है, जो थोड़े समय में कंपन को काफी कम कर सकता है, जिससे फोटोलिथोग्राफी मशीन जल्दी से स्थिरता बहाल कर सकती है और कंपन के कारण फोटोलिथोग्राफी पैटर्न के धुंधलेपन या गलत संरेखण से बच सकती है।

रासायनिक स्थिरता: स्वच्छ पर्यावरण का "संरक्षक"
फोटोलिथोग्राफी मशीन का आंतरिक भाग विभिन्न रासायनिक माध्यमों के संपर्क में आता है, और साधारण धातु सामग्री जंग लगने या कणों के निकलने का खतरा होता है। ग्रेनाइट क्वार्ट्ज और फेल्डस्पार जैसे खनिजों से बना है। इसमें स्थिर रासायनिक गुण और मजबूत संक्षारण प्रतिरोध है। एसिड और क्षार के घोल में भिगोने के बाद, सतह का क्षरण बहुत कम होता है। इस बीच, इसकी घनी संरचना लगभग कोई मलबा या धूल उत्पन्न नहीं करती है, जो उच्चतम क्लीनरूम मानकों की आवश्यकताओं को पूरा करती है और वेफर संदूषण के जोखिम को कम करती है।

प्रसंस्करण अनुकूलनशीलता: सटीक मानक बनाने के लिए "आदर्श सामग्री"
फोटोलिथोग्राफी मशीन के मुख्य घटकों को उच्च परिशुद्धता संदर्भ सतह पर स्थापित करने की आवश्यकता होती है। ग्रेनाइट की आंतरिक संरचना एक समान होती है और इसे पीसने, चमकाने और अन्य तकनीकों के माध्यम से अत्यंत उच्च परिशुद्धता के लिए संसाधित करना आसान होता है। इसकी समतलता ≤0.5μm/m तक पहुँच सकती है, और सतह खुरदरापन Ra ≤0.05μm है, जो ऑप्टिकल लेंस जैसे घटकों के लिए एक सटीक स्थापना आधार प्रदान करता है।

लंबी उम्र और रखरखाव-मुक्त: लागत में कमी के लिए "तेज उपकरण"
धातु सामग्री की तुलना में जो लंबे समय तक उपयोग में थकान और दरार के लिए प्रवण हैं, ग्रेनाइट सामान्य भार के तहत शायद ही प्लास्टिक विरूपण या फ्रैक्चर से गुजरता है, और इसे सतह के उपचार की आवश्यकता नहीं होती है, इस प्रकार कोटिंग छीलने और संदूषण के जोखिम से बचा जाता है। व्यावहारिक अनुप्रयोगों में, कई वर्षों तक उपयोग किए जाने के बाद, ग्रेनाइट बेस के प्रमुख प्रदर्शन संकेतक अभी भी स्थिर रह सकते हैं, जिससे उपकरणों के संचालन और रखरखाव की लागत कम हो जाती है।

थर्मल स्थिरता, कंपन प्रतिरोध से लेकर रासायनिक जड़ता तक, ग्रेनाइट बेस की कई विशेषताएं फोटोलिथोग्राफी मशीन की आवश्यकताओं को पूरी तरह से पूरा करती हैं। जैसे-जैसे चिप निर्माण प्रक्रिया उच्च परिशुद्धता की ओर विकसित होती जा रही है, ग्रेनाइट बेस सेमीकंडक्टर निर्माण के क्षेत्र में एक अपूरणीय भूमिका निभाते रहेंगे।