अर्धचालक निर्माण कार्यशाला में, चिप निर्माण प्रक्रिया की पर्यावरणीय परिस्थितियों और उपकरणों की सटीकता की आवश्यकताएँ अत्यधिक होती हैं, और किसी भी मामूली विचलन से चिप की उपज में उल्लेखनीय गिरावट आ सकती है। XYZT परिशुद्धता गैन्ट्री मूवमेंट प्लेटफ़ॉर्म, नैनोस्केल सटीकता प्राप्त करने हेतु एक ठोस आधार बनाने हेतु प्लेटफ़ॉर्म के अन्य भागों के साथ सहयोग करने हेतु ग्रेनाइट घटकों पर निर्भर करता है।
उत्कृष्ट कंपन अवरोधक गुण
अर्धचालक निर्माण कार्यशाला में, परिधीय उपकरणों के संचालन और आसपास घूमने वाले कर्मियों के कारण कंपन हो सकता है। ग्रेनाइट घटकों की आंतरिक संरचना सघन और एकसमान होती है, जिसमें प्राकृतिक उच्च अवमंदन विशेषताएँ होती हैं, जो एक कुशल कंपन "बाधा" की तरह होती हैं। जब बाहरी कंपन XYZT प्लेटफ़ॉर्म पर प्रेषित होता है, तो ग्रेनाइट घटक कंपन ऊर्जा के 80% से अधिक को प्रभावी ढंग से कम कर सकता है और प्लेटफ़ॉर्म की गति सटीकता पर कंपन के हस्तक्षेप को कम कर सकता है। साथ ही, प्लेटफ़ॉर्म एक उच्च-परिशुद्धता एयर फ्लोट गाइड सिस्टम से सुसज्जित है, जो ग्रेनाइट घटकों के साथ मिलकर काम करता है। एयर फ्लोट गाइड उच्च दाब गैस द्वारा निर्मित स्थिर गैस फिल्म का उपयोग प्लेटफ़ॉर्म के गतिमान भागों के संपर्क रहित निलंबन गति को साकार करने और यांत्रिक घर्षण के कारण होने वाले छोटे कंपन को कम करने के लिए करता है। साथ ही, दोनों यह सुनिश्चित करते हैं कि चिप लिथोग्राफी और नक़्क़ाशी जैसी प्रमुख प्रक्रियाओं में प्लेटफ़ॉर्म की स्थिति सटीकता हमेशा नैनोमीटर स्तर पर बनी रहे, और कंपन के कारण चिप सर्किट पैटर्न के विचलन से बचा जा सके।
उत्कृष्ट तापीय स्थिरता
कार्यशाला में तापमान और आर्द्रता में उतार-चढ़ाव चिप निर्माण उपकरणों की सटीकता पर बहुत प्रभाव डालता है। ग्रेनाइट का तापीय विस्तार गुणांक बहुत कम होता है, आमतौर पर 5-7 × 10⁻⁶/℃ में, तापमान में परिवर्तन होने पर आकार लगभग अपरिवर्तित रहता है। भले ही कार्यशाला में दिन और रात के बीच तापमान का अंतर या उपकरणों के ताप उत्पादन के कारण परिवेश के तापमान में उतार-चढ़ाव हो, ग्रेनाइट घटक तापीय विस्तार और संकुचन के कारण प्लेटफ़ॉर्म के विरूपण को रोकने के लिए स्थिर रह सकते हैं। इसी समय, प्लेटफ़ॉर्म से सुसज्जित बुद्धिमान तापमान नियंत्रण प्रणाली वास्तविक समय में परिवेश के तापमान की निगरानी करती है, स्वचालित रूप से एयर कंडीशनिंग और गर्मी अपव्यय उपकरणों को समायोजित करती है, और कार्यशाला के तापमान को 20 ° C ± 1 ° C पर बनाए रखती है। ग्रेनाइट ताप स्थिरता के लाभों के साथ, यह सुनिश्चित करता है कि प्लेटफ़ॉर्म दीर्घकालिक संचालन में, प्रत्येक अक्ष की गति सटीकता हमेशा चिप निर्माण नैनोमीटर परिशुद्धता मानकों को पूरा करती है, यह सुनिश्चित करने के लिए कि चिप लिथोग्राफी पैटर्न का आकार सटीक है, नक़्क़ाशी गहराई एक समान है।
स्वच्छ पर्यावरण की आवश्यकताओं को पूरा करना
सेमीकंडक्टर निर्माण कार्यशाला में धूल के कणों को चिप को दूषित करने से रोकने के लिए उच्च स्तर की स्वच्छता बनाए रखना आवश्यक है। ग्रेनाइट सामग्री स्वयं धूल उत्पन्न नहीं करती है, और इसकी सतह चिकनी होती है, जिससे धूल को अवशोषित करना आसान नहीं होता है। बाहरी धूल के प्रवेश को कम करने के लिए, संपूर्ण प्लेटफ़ॉर्म पूरी तरह से बंद या अर्ध-बंद संरचना डिज़ाइन को अपनाता है। आंतरिक वायु परिसंचरण प्रणाली कार्यशाला की स्वच्छ वातानुकूलन प्रणाली से जुड़ी हुई है ताकि यह सुनिश्चित किया जा सके कि आंतरिक वायु स्वच्छता चिप निर्माण के लिए आवश्यक स्तर तक पहुँचे। इस स्वच्छ वातावरण में, ग्रेनाइट घटकों पर धूल के क्षरण के कारण प्रदर्शन प्रभावित नहीं होगा, और प्लेटफ़ॉर्म के उच्च-सटीक सेंसर और मोटर जैसे प्रमुख घटक भी स्थिर रूप से काम कर सकते हैं, जिससे चिप निर्माण के लिए निरंतर और विश्वसनीय नैनोस्केल सटीकता की गारंटी मिलती है, और सेमीकंडक्टर उद्योग को उच्च प्रक्रिया स्तर पर ले जाने में मदद मिलती है।
पोस्ट करने का समय: 14-अप्रैल-2025