स्वच्छ कमरों के लिए समर्पित ग्रेनाइट प्लेटफार्म: शून्य धातु आयन रिलीज, वेफर निरीक्षण उपकरण के लिए आदर्श विकल्प।

सेमीकंडक्टर वेफर निरीक्षण के क्षेत्र में, क्लीनरूम वातावरण की शुद्धता सीधे उत्पाद की उपज से संबंधित है। जैसे-जैसे चिप निर्माण प्रक्रिया की सटीकता में सुधार होता जा रहा है, डिटेक्शन उपकरणों के वाहक प्लेटफार्मों की आवश्यकताएं और भी सख्त होती जा रही हैं। ग्रेनाइट प्लेटफॉर्म, अपनी शून्य धातु आयन उत्सर्जन और कम कण प्रदूषण की विशेषताओं के साथ, पारंपरिक स्टेनलेस स्टील सामग्री से आगे निकल गए हैं और वेफर निरीक्षण उपकरणों के लिए पसंदीदा समाधान बन गए हैं।

ग्रेनाइट एक प्राकृतिक आग्नेय चट्टान है जो मुख्यतः क्वार्ट्ज, फेल्डस्पार और अभ्रक जैसे अधात्विक खनिजों से बनी है। यह विशेषता इसे शून्य धातु आयन उत्सर्जन का लाभ देती है। इसके विपरीत, लोहा, क्रोमियम और निकल जैसी धातुओं के मिश्रधातु के रूप में, स्टेनलेस स्टील, स्वच्छ कक्ष वातावरण में जल वाष्प और अम्लीय या क्षारीय गैसों के क्षरण के कारण अपनी सतह पर विद्युत रासायनिक संक्षारण के लिए प्रवण होता है, जिसके परिणामस्वरूप Fe²⁺ और Cr³⁺ जैसे धातु आयनों का अवक्षेपण होता है। एक बार जब ये सूक्ष्म आयन वेफर की सतह से जुड़ जाते हैं, तो वे बाद की प्रक्रियाओं जैसे फोटोलिथोग्राफी और एचिंग में अर्धचालक पदार्थ के विद्युत गुणों को बदल देते हैं, ट्रांजिस्टर के थ्रेशोल्ड वोल्टेज बहाव का कारण बनते हैं, और यहाँ तक कि सर्किट में शॉर्ट सर्किट भी पैदा कर सकते हैं। व्यावसायिक संस्थानों के परीक्षण डेटा से पता चलता है कि ग्रेनाइट प्लेटफ़ॉर्म को लगातार 1000 घंटों तक एक नकली स्वच्छ कमरे के तापमान और आर्द्रता वाले वातावरण (23±0.5℃, 45%±5% सापेक्ष आर्द्रता) में रखने के बाद, धातु आयनों का उत्सर्जन पता लगाने की सीमा (<0.1ppb) से कम था। स्टेनलेस स्टील प्लेटफ़ॉर्म का उपयोग करते समय धातु आयन संदूषण के कारण वेफ़र्स में दोष दर 15% से 20% तक हो सकती है।

कण संदूषण नियंत्रण के संदर्भ में, ग्रेनाइट प्लेटफ़ॉर्म भी असाधारण रूप से अच्छा प्रदर्शन करते हैं। क्लीनरूम में हवा में निलंबित कणों की सांद्रता के लिए अत्यधिक उच्च आवश्यकताएं होती हैं। उदाहरण के लिए, आईएसओ क्लास 1 क्लीनरूम में, प्रति घन मीटर अनुमत 0.1μm कणों की संख्या 10 से अधिक नहीं होती है। भले ही स्टेनलेस स्टील प्लेटफ़ॉर्म पर पॉलिशिंग उपचार किया गया हो, फिर भी यह बाहरी बलों जैसे उपकरण कंपन और कार्मिक संचालन के कारण धातु के मलबे या ऑक्साइड स्केल को छीलने का उत्पादन कर सकता है, जो पता लगाने के ऑप्टिकल पथ में हस्तक्षेप कर सकता है या वेफर की सतह को खरोंच सकता है। ग्रेनाइट प्लेटफ़ॉर्म, उनकी घनी खनिज संरचना (घनत्व ≥2.7g/cm³) और उच्च कठोरता (मोह पैमाने पर 6-7) के साथ, दीर्घकालिक उपयोग के दौरान पहनने या टूटने के लिए प्रवण नहीं होते हैं

अपनी स्वच्छ विशेषताओं के अलावा, ग्रेनाइट प्लेटफ़ॉर्म का व्यापक प्रदर्शन भी स्टेनलेस स्टील से कहीं बेहतर है। तापीय स्थिरता के संदर्भ में, इसका तापीय प्रसार गुणांक केवल (4-8) ×10⁻⁶/℃ है, जो स्टेनलेस स्टील (लगभग 17×10⁻⁶/℃) के आधे से भी कम है, जो स्वच्छ कक्ष में तापमान में उतार-चढ़ाव होने पर संसूचन उपकरण की स्थिति सटीकता को बेहतर ढंग से बनाए रख सकता है। उच्च अवमंदन विशेषता (अवमंदन अनुपात > 0.05) उपकरण के कंपन को तेज़ी से कम कर सकती है और संसूचन जांच को हिलने से रोक सकती है। इसका प्राकृतिक संक्षारण प्रतिरोध इसे फोटोरेसिस्ट सॉल्वैंट्स, एचिंग गैसों और अन्य रसायनों के संपर्क में आने पर भी स्थिर रहने में सक्षम बनाता है, बिना किसी अतिरिक्त कोटिंग सुरक्षा की आवश्यकता के।

वर्तमान में, उन्नत वेफर निर्माण संयंत्रों में ग्रेनाइट प्लेटफॉर्म का व्यापक रूप से उपयोग किया जाता है। आंकड़े बताते हैं कि ग्रेनाइट प्लेटफॉर्म को अपनाने के बाद, वेफर सतह कण पहचान की गलत पहचान दर में 60% की कमी आई है, उपकरण अंशांकन चक्र तीन गुना बढ़ गया है, और कुल उत्पादन लागत में 25% की कमी आई है। जैसे-जैसे सेमीकंडक्टर उद्योग उच्च परिशुद्धता की ओर बढ़ रहा है, ग्रेनाइट प्लेटफॉर्म, शून्य धातु आयन उत्सर्जन और कम कण प्रदूषण जैसे अपने मुख्य लाभों के साथ, वेफर निरीक्षण के लिए स्थिर और विश्वसनीय समर्थन प्रदान करना जारी रखेंगे, और उद्योग की प्रगति को गति देने वाली एक महत्वपूर्ण शक्ति बनेंगे।