ग्रेनाइट आधार वेफर्स के गैर-विनाशकारी परीक्षण की सटीकता को कैसे प्रभावित करता है?

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सेमीकंडक्टर निर्माण की सटीक दुनिया में, चिप्स की गुणवत्ता सुनिश्चित करने के लिए वेफ़र्स का गैर-विनाशकारी परीक्षण एक महत्वपूर्ण कड़ी है। प्रतीत होता है कि महत्वहीन ग्रेनाइट बेस वास्तव में "अनसंग हीरो" है जो पहचान की सटीकता निर्धारित करता है। यह परीक्षण परिणामों को कैसे प्रभावित करता है? यह लेख सामग्री गुणों और संरचनात्मक डिजाइन जैसे आयामों से गहन विश्लेषण करेगा।
1. स्थिर आधार: ग्रेनाइट के प्राकृतिक लाभ परिशुद्धता के लिए एक ठोस आधार प्रदान करते हैं
1. उत्कृष्ट भूकंपीय प्रदर्शन
वेफर गैर-विनाशकारी परीक्षण उपकरण के संचालन के दौरान, मोटर का घूमना और यांत्रिक घटकों की गति सभी कंपन उत्पन्न करेंगे। यदि इन कंपनों को प्रभावी ढंग से दबाया नहीं जाता है, तो वे परीक्षण की सटीकता में गंभीर रूप से हस्तक्षेप करेंगे। ग्रेनाइट का आंतरिक भाग क्वार्ट्ज और फेल्डस्पार जैसे खनिज क्रिस्टल के साथ घनिष्ठ रूप से जुड़ा हुआ है। इसकी अनूठी संरचना इसे प्राकृतिक कंपन अवशोषण क्षमता प्रदान करती है, जो उपकरणों की कंपन ऊर्जा का 90% से अधिक अवशोषित करने में सक्षम है। एक निश्चित अर्धचालक निर्माता के वास्तविक माप डेटा से पता चलता है कि ग्रेनाइट बेस का उपयोग करने के बाद, पता लगाने वाले उपकरणों के कंपन आयाम को 12μm से घटाकर 2μm कर दिया गया है, जो कंपन के कारण होने वाले पता लगाने वाले संकेत के विचलन से प्रभावी रूप से बचा जाता है।
2. तापीय प्रसार का अत्यंत कम गुणांक
जांच प्रक्रिया के दौरान, उपकरण के गर्म होने और पर्यावरण के तापमान में परिवर्तन जैसे कारक मशीन बेस की स्थिरता को प्रभावित करेंगे। सामान्य सामग्री गर्म होने पर काफी फैलती है, लेकिन ग्रेनाइट के थर्मल विस्तार का गुणांक स्टील के केवल 1/5 है। भले ही परिवेश का तापमान 10 डिग्री सेल्सियस से अधिक हो, लेकिन इसके विरूपण को अनदेखा किया जा सकता है। यह ग्रेनाइट बेस को निरीक्षण उपकरण के लिए एक स्थिर संदर्भ मंच प्रदान करने में सक्षम बनाता है, यह सुनिश्चित करता है कि निरीक्षण जांच और वेफर के बीच सापेक्ष स्थिति हर समय सटीक बनी रहे और थर्मल विरूपण के कारण होने वाली निरीक्षण त्रुटियों से बचा जाए।
दूसरा, सटीक डिजाइन: संरचनात्मक अनुकूलन पहचान की विश्वसनीयता को और बढ़ाता है
उच्च परिशुद्धता प्रसंस्करण और समतलता की गारंटी
उच्च गुणवत्ता वाले ग्रेनाइट बेस को उन्नत पांच-अक्ष लिंकेज सीएनसी तकनीक द्वारा संसाधित किया जाता है, जिसमें ± 0.5μm/m की समतलता होती है, जो निरीक्षण उपकरणों के लिए एक अल्ट्रा-फ्लैट इंस्टॉलेशन संदर्भ प्रदान करता है। वेफर निरीक्षण में, निरीक्षण जांच की ऊर्ध्वाधरता और समतलता निरीक्षण परिणामों के लिए महत्वपूर्ण हैं। एक उच्च परिशुद्धता ग्रेनाइट बेस जांच की सटीक स्थिति सुनिश्चित कर सकता है, जिससे निरीक्षण डेटा अधिक सटीक और विश्वसनीय हो जाता है।
2. अनुकूलित संरचनात्मक अनुकूलन
ग्रेनाइट मशीन बेस को विभिन्न वेफर गैर-विनाशकारी परीक्षण उपकरणों और प्रक्रिया आवश्यकताओं के लिए अनुकूलित किया जा सकता है। उदाहरण के लिए, प्रकाश प्रतिबिंब के लिए ऑप्टिकल निरीक्षण उपकरण की आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए, मशीन बेस की सतह को विशेष रूप से उपचारित किया जा सकता है; अल्ट्रासोनिक परीक्षण उपकरणों की स्थापना आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए, बेस को सटीक स्थापना छेद और केबल ट्रे के साथ पूर्वनिर्मित किया जा सकता है, जिससे उपकरणों की तेज़ और सटीक स्थापना हो सके और स्थापना त्रुटियों के कारण होने वाले पता लगाने के विचलन को कम किया जा सके।
iii. दीर्घकालिक स्थिरता: उपकरण रखरखाव के कारण होने वाली परिशुद्धता हानि को कम करना
ग्रेनाइट में उच्च कठोरता और मजबूत पहनने का प्रतिरोध होता है, जिसमें 6 से 7 की मोह कठोरता होती है, जो साधारण स्टील के पहनने के प्रतिरोध का तीन गुना है। दीर्घकालिक निरीक्षण कार्यों के दौरान, मशीन बेस की सतह पहनने के लिए प्रवण नहीं होती है और हमेशा एक अच्छी परिशुद्धता स्थिति बनाए रख सकती है। इसके विपरीत, अन्य सामग्रियों से बने आधार पहनने और आंसू के कारण उपकरण के इंस्टॉलेशन संदर्भ में परिवर्तन कर सकते हैं, जिससे पता लगाने की सटीकता प्रभावित होती है और लगातार अंशांकन और रखरखाव की आवश्यकता होती है। ग्रेनाइट बेस की लंबी सेवा जीवन और उच्च स्थिरता प्रभावी रूप से उपकरण रखरखाव की आवृत्ति को कम करती है और रखरखाव प्रक्रिया के दौरान होने वाली परिशुद्धता हानि के जोखिम को कम करती है।
शॉक रेजिस्टेंस, हीट रेजिस्टेंस से लेकर सटीक डिज़ाइन तक, ग्रेनाइट बेस की हर विशेषता वेफ़र्स के गैर-विनाशकारी परीक्षण की सटीकता की रक्षा करती है। आज के सेमीकंडक्टर मैन्युफैक्चरिंग युग में जो परम परिशुद्धता का अनुसरण करता है, उच्च गुणवत्ता वाला ग्रेनाइट बेस चुनना परीक्षण परिणामों की सटीकता और विश्वसनीयता के लिए बीमा की एक ठोस परत जोड़ने जैसा है।