कैसे उच्च परिशुद्धता ग्रेनाइट मशीन बेस वेफर निरीक्षण उपकरण सटीकता में सुधार करते हैं।

Iसेमीकंडक्टर निर्माण उद्योग में, एकीकृत परिपथों की गुणवत्ता सुनिश्चित करने के लिए वेफर निरीक्षण उपकरणों की सटीकता अत्यंत महत्वपूर्ण है। ZHHIMG® द्वारा प्रदान किए गए उच्च-परिशुद्धता वाले ग्रेनाइट मशीन बेस, ऐसे उपकरणों के प्रदर्शन को बेहतर बनाने में महत्वपूर्ण भूमिका निभाते हैं। आइए जानें कि ये कैसे बदलाव लाते हैं।
असाधारण आयामी स्थिरता: ग्रेनाइट का तापीय प्रसार गुणांक अत्यंत कम है, लगभग (4–8)×10⁻⁶/℃, जो कई धातुओं की तुलना में काफी कम है। अर्धचालक कारखानों के कड़े नियंत्रित वातावरण में, जहाँ तापमान में मामूली उतार-चढ़ाव भी माप त्रुटियों का कारण बन सकता है, ग्रेनाइट मशीन बेस स्थिर रहते हैं। यह स्थिरता सुनिश्चित करती है कि वेफर निरीक्षण उपकरण में घटकों की स्थिति सटीक रहे, जिससे किसी भी ताप-प्रेरित विचलन को रोका जा सके जो निरीक्षण परिणामों की सटीकता को प्रभावित कर सकता है।

बेहतर कंपन अवमंदन: उत्पादन फ़र्श अक्सर विभिन्न स्रोतों से उत्पन्न कंपनों से भरे होते हैं। ग्रेनाइट के अंतर्निहित अवमंदन गुण, जिनका अवमंदन अनुपात 0.05–0.1 है, इन कंपनों को प्रभावी ढंग से अवशोषित और नष्ट कर देते हैं। वेफर निरीक्षण के लिए
उच्च-रिज़ॉल्यूशन इमेजिंग और सटीक सेंसर रीडिंग की आवश्यकता वाले एक सेक्शन में, ग्रेनाइट बेस द्वारा प्रदान की गई कंपन में कमी अमूल्य है। यह उस हस्तक्षेप को कम करता है जो छवियों को धुंधला कर सकता है या सेंसर डेटा को विकृत कर सकता है, जिससे उपकरण वेफर की सतह और आंतरिक संरचना के बारे में स्पष्ट और सटीक जानकारी प्राप्त कर सकता है।
उच्च कठोरता और घिसाव प्रतिरोध: लगभग 3100 किग्रा/घन मीटर घनत्व के साथ, ZHHIMG® के ग्रेनाइट मशीन बेस उल्लेखनीय कठोरता प्रदान करते हैं। ये वेफर निरीक्षण उपकरण के भारी पुर्जों को बिना विकृत हुए सहारा दे सकते हैं, और प्रकाशीय एवं यांत्रिक प्रणालियों के संरेखण को बनाए रख सकते हैं। इसके अतिरिक्त, ग्रेनाइट की उच्च कठोरता (मोह्स स्केल 6-7) और उत्कृष्ट घिसाव प्रतिरोध यह सुनिश्चित करते हैं कि मशीन बेस की सतह समय के साथ समतल और चिकनी बनी रहे। यह स्थिरता दीर्घकालिक सटीकता के लिए आवश्यक है, क्योंकि बेस पर कोई भी घिसाव या विरूपण उपकरण की सटीकता को धीरे-धीरे कम कर सकता है।
रासायनिक निष्क्रियताअर्धचालक निर्माण में विभिन्न रसायनों का प्रयोग शामिल होता है। ग्रेनाइट की रासायनिक निष्क्रियता इसे इन पदार्थों से होने वाले क्षरण के प्रति प्रतिरोधी बनाती है। यह गुण मशीन बेस की अखंडता की रक्षा करता है, और रासायनिक क्षति को रोकता है जो निरीक्षण उपकरण की स्थिरता और सटीकता को प्रभावित कर सकती है।
निष्कर्षतः, उच्च-परिशुद्धता वाले ग्रेनाइट मशीन बेस केवल एक घटक ही नहीं, बल्कि वेफर निरीक्षण उपकरणों की सटीक सटीकता आवश्यकताओं को पूरा करने में एक महत्वपूर्ण कारक हैं। ग्रेनाइट मशीन बेस चुनते समय, ZHHIMG® जैसे विश्वसनीय प्रदाताओं को चुनें। कई प्रमाणपत्रों और गुणवत्ता के प्रति प्रतिबद्धता के साथ, ZHHIMG® यह सुनिश्चित करता है कि प्रत्येक ग्रेनाइट मशीन बेस उन्नत सेमीकंडक्टर निर्माण के लिए आवश्यक विश्वसनीयता और प्रदर्शन प्रदान करे।