ग्रेनाइट प्रिसिशन प्लेटफ़ॉर्म की सटीकता की जाँच कैसे करें? सुनिश्चित करें कि सटीकता मानक है या नहीं?

अर्धचालक निर्माण और परिशुद्ध माप उपकरणों जैसे क्षेत्रों में, ग्रेनाइट परिशुद्धता प्लेटफ़ॉर्म की सटीकता सीधे तौर पर उपकरणों की परिचालन गुणवत्ता निर्धारित करती है। यह सुनिश्चित करने के लिए कि प्लेटफ़ॉर्म की सटीकता मानकों के अनुरूप हो, दो पहलुओं पर प्रयास किए जाने चाहिए: प्रमुख संकेतकों का पता लगाना और मानक मानदंडों का अनुपालन।

कोर संकेतक पहचान: सटीकता का बहुआयामी नियंत्रण
समतलता का पता लगाना: संदर्भ तल की "समतलता" का निर्धारण करना
समतलता ग्रेनाइट परिशुद्धता प्लेटफार्मों का मुख्य संकेतक है, और इसे आमतौर पर लेज़र इंटरफेरोमीटर या इलेक्ट्रॉनिक लेवल द्वारा मापा जाता है। लेज़र इंटरफेरोमीटर, लेज़र किरण उत्सर्जित करके और प्रकाश व्यतिकरण के सिद्धांत का उपयोग करके, प्लेटफॉर्म की सतह पर सूक्ष्म उतार-चढ़ाव को सटीक रूप से माप सकता है, जिसकी सटीकता सब-माइक्रोन स्तर तक पहुँचती है। इलेक्ट्रॉनिक लेवल कई बार घूमकर मापता है और प्लेटफॉर्म की सतह का त्रि-आयामी समोच्च मानचित्र बनाकर यह पता लगाता है कि कोई स्थानीय उभार या गड्ढा तो नहीं है। उदाहरण के लिए, सेमीकंडक्टर फोटोलिथोग्राफी मशीनों में उपयोग किए जाने वाले ग्रेनाइट प्लेटफॉर्म की समतलता ±0.5μm/m होनी आवश्यक है, जिसका अर्थ है कि 1 मीटर लंबाई के भीतर ऊँचाई का अंतर आधा माइक्रोमीटर से अधिक नहीं होना चाहिए। केवल उच्च-परिशुद्धता संसूचन उपकरणों के माध्यम से ही इस सख्त मानक को सुनिश्चित किया जा सकता है।
2. सीधापन का पता लगाना: रैखिक गति की "सीधापन" सुनिश्चित करें
सटीक गतिमान पुर्जों वाले प्लेटफ़ॉर्म के लिए, सीधापन अत्यंत महत्वपूर्ण है। तार विधि या लेज़र कोलाइमेटर इसका पता लगाने के सामान्य तरीके हैं। तार विधि में उच्च-परिशुद्धता वाले स्टील के तारों को लटकाकर प्लेटफ़ॉर्म की सतह और स्टील के तारों के बीच के अंतराल की तुलना करके सीधापन निर्धारित किया जाता है। लेज़र कोलाइमेटर प्लेटफ़ॉर्म गाइड रेल की स्थापना सतह की रैखिक त्रुटि का पता लगाने के लिए लेज़र की रैखिक प्रसार विशेषताओं का उपयोग करता है। यदि सीधापन मानक के अनुरूप नहीं है, तो इससे उपकरण गति के दौरान हिलेंगे, जिससे प्रसंस्करण या मापन की सटीकता प्रभावित होगी।
3. सतह खुरदरापन का पता लगाना: संपर्क की "सुंदरता" सुनिश्चित करना
प्लेटफ़ॉर्म की सतही खुरदरापन, घटकों की स्थापना के फिट को प्रभावित करती है। आमतौर पर, इसका पता लगाने के लिए स्टाइलस खुरदरापन मीटर या ऑप्टिकल माइक्रोस्कोप का उपयोग किया जाता है। स्टाइलस प्रकार का उपकरण, प्लेटफ़ॉर्म की सतह पर एक सूक्ष्म जांच उपकरण से संपर्क करके सूक्ष्म प्रोफ़ाइल की ऊँचाई में परिवर्तन रिकॉर्ड करता है। ऑप्टिकल माइक्रोस्कोप सतह की बनावट का प्रत्यक्ष निरीक्षण कर सकते हैं। उच्च-सटीक अनुप्रयोगों में, ग्रेनाइट प्लेटफ़ॉर्म की सतही खुरदरापन को Ra≤0.05μm पर नियंत्रित करने की आवश्यकता होती है, जो दर्पण जैसे प्रभाव के बराबर है, जिससे यह सुनिश्चित होता है कि स्थापना के दौरान सटीक घटक कसकर फिट हों और अंतराल के कारण होने वाले कंपन या विस्थापन से बचा जा सके।
परिशुद्धता मानक निम्नलिखित हैं: अंतर्राष्ट्रीय मानदंड और उद्यम का आंतरिक नियंत्रण
वर्तमान में, अंतरराष्ट्रीय स्तर पर, ग्रेनाइट प्लेटफॉर्म की सटीकता निर्धारित करने के लिए ISO 25178 और GB/T 24632 मानकों का आमतौर पर उपयोग किया जाता है, और समतलता और सीधापन जैसे संकेतकों के लिए स्पष्ट वर्गीकरण मौजूद हैं। इसके अलावा, उच्च-स्तरीय विनिर्माण उद्यम अक्सर अधिक कड़े आंतरिक नियंत्रण मानक निर्धारित करते हैं। उदाहरण के लिए, फोटोलिथोग्राफी मशीन के ग्रेनाइट प्लेटफॉर्म के लिए समतलता की आवश्यकता अंतरराष्ट्रीय मानक से 30% अधिक है। परीक्षण करते समय, मापे गए आँकड़ों की तुलना संबंधित मानकों से की जानी चाहिए। केवल वे प्लेटफॉर्म जो मानकों का पूरी तरह से पालन करते हैं, ही परिशुद्धता उपकरणों में स्थिर प्रदर्शन सुनिश्चित कर सकते हैं।
ग्रेनाइट परिशुद्धता प्लेटफार्मों की सटीकता का निरीक्षण एक व्यवस्थित परियोजना है। केवल समतलता, सीधापन और सतह खुरदरापन जैसे मुख्य संकेतकों का कड़ाई से परीक्षण करके और अंतर्राष्ट्रीय एवं उद्यम मानकों का पालन करके ही प्लेटफॉर्म की उच्च परिशुद्धता और विश्वसनीयता की गारंटी दी जा सकती है, जिससे अर्धचालक और परिशुद्धता उपकरणों जैसे उच्च-स्तरीय विनिर्माण क्षेत्रों के लिए एक ठोस आधार तैयार हो सकता है।