ग्रेनाइट प्रेसिजन प्लेटफॉर्म की सटीकता का निरीक्षण कैसे करें? सुनिश्चित करें कि सटीकता मानक है या नहीं?

सेमीकंडक्टर विनिर्माण और सटीक माप उपकरणों जैसे क्षेत्रों में, ग्रेनाइट सटीक प्लेटफ़ॉर्म की सटीकता सीधे उपकरण की परिचालन गुणवत्ता निर्धारित करती है। यह सुनिश्चित करने के लिए कि प्लेटफ़ॉर्म की सटीकता मानकों को पूरा करती है, दो पहलुओं से प्रयास किए जाने चाहिए: प्रमुख संकेतकों का पता लगाना और मानक मानदंडों का अनुपालन।

कोर संकेतक पहचान: सटीकता का बहुआयामी नियंत्रण
समतलता का पता लगाना: संदर्भ तल की "समतलता" का निर्धारण करना
समतलता ग्रेनाइट परिशुद्धता प्लेटफ़ॉर्म का मुख्य संकेतक है, और इसे आमतौर पर लेजर इंटरफेरोमीटर या इलेक्ट्रॉनिक स्तरों द्वारा मापा जाता है। लेजर इंटरफेरोमीटर लेजर बीम उत्सर्जित करके और प्रकाश हस्तक्षेप के सिद्धांत का उपयोग करके प्लेटफ़ॉर्म की सतह पर मिनट की उतार-चढ़ाव को सटीक रूप से माप सकता है, जिसकी सटीकता सब-माइक्रोन स्तर तक पहुँचती है। इलेक्ट्रॉनिक स्तर कई बार घूमकर मापता है और प्लेटफ़ॉर्म की सतह का एक त्रि-आयामी समोच्च मानचित्र बनाता है ताकि पता लगाया जा सके कि कोई स्थानीय उभार या अवसाद है या नहीं। उदाहरण के लिए, सेमीकंडक्टर फोटोलिथोग्राफी मशीनों में उपयोग किए जाने वाले ग्रेनाइट प्लेटफ़ॉर्म में ± 0.5μm/m की समतलता होनी आवश्यक है, जिसका अर्थ है कि 1-मीटर लंबाई के भीतर ऊंचाई का अंतर आधे माइक्रोमीटर से अधिक नहीं होना चाहिए। केवल उच्च परिशुद्धता वाले पहचान उपकरणों के माध्यम से ही इस सख्त मानक को सुनिश्चित किया जा सकता है।
2. सीधापन का पता लगाना: रैखिक गति की "सीधापन" सुनिश्चित करें
सटीक गतिमान भागों को ले जाने वाले प्लेटफ़ॉर्म के लिए, सीधापन अत्यंत महत्वपूर्ण है। पता लगाने के लिए सामान्य विधियाँ वायर विधि या लेज़र कोलाइमेटर हैं। वायर विधि में उच्च परिशुद्धता वाले स्टील के तारों को निलंबित करना और सीधापन निर्धारित करने के लिए प्लेटफ़ॉर्म की सतह और स्टील के तारों के बीच के अंतर की तुलना करना शामिल है। लेज़र कोलाइमेटर प्लेटफ़ॉर्म गाइड रेल की स्थापना सतह की रैखिक त्रुटि का पता लगाने के लिए लेज़र की रैखिक प्रसार विशेषताओं का उपयोग करता है। यदि सीधापन मानक को पूरा नहीं करता है, तो यह उपकरण को आंदोलन के दौरान स्थानांतरित करने का कारण बनेगा, जिससे प्रसंस्करण या माप सटीकता प्रभावित होगी।
3. सतह खुरदरापन का पता लगाना: संपर्क की "सुंदरता" सुनिश्चित करें
प्लेटफ़ॉर्म की सतह खुरदरापन घटक स्थापना के फिट को प्रभावित करता है। आम तौर पर, एक स्टाइलस खुरदरापन मीटर या एक ऑप्टिकल माइक्रोस्कोप का उपयोग पता लगाने के लिए किया जाता है। स्टाइलस प्रकार का उपकरण एक महीन जांच के साथ प्लेटफ़ॉर्म की सतह से संपर्क करके सूक्ष्म प्रोफ़ाइल की ऊंचाई में परिवर्तन को रिकॉर्ड करता है। ऑप्टिकल माइक्रोस्कोप सीधे सतह की बनावट का निरीक्षण कर सकते हैं। उच्च परिशुद्धता अनुप्रयोगों में, ग्रेनाइट प्लेटफ़ॉर्म की सतह खुरदरापन को Ra≤0.05μm पर नियंत्रित करने की आवश्यकता होती है, जो एक दर्पण जैसे प्रभाव के बराबर है, यह सुनिश्चित करता है कि सटीक घटक स्थापना के दौरान कसकर फिट होते हैं और अंतराल के कारण होने वाले कंपन या विस्थापन से बचते हैं।
परिशुद्धता मानक निम्नलिखित हैं: अंतर्राष्ट्रीय मानदंड और उद्यम का आंतरिक नियंत्रण
वर्तमान में, अंतर्राष्ट्रीय स्तर पर, ISO 25178 और GB/T 24632 मानकों का उपयोग ग्रेनाइट प्लेटफार्मों की सटीकता निर्धारित करने के आधार के रूप में किया जाता है, और समतलता और सीधापन जैसे संकेतकों के लिए स्पष्ट वर्गीकरण हैं। इसके अलावा, उच्च-स्तरीय विनिर्माण उद्यम अक्सर अधिक कड़े आंतरिक नियंत्रण मानक निर्धारित करते हैं। उदाहरण के लिए, फोटोलिथोग्राफी मशीन के ग्रेनाइट प्लेटफॉर्म के लिए समतलता की आवश्यकता अंतरराष्ट्रीय मानक से 30% अधिक है। परीक्षण करते समय, मापे गए डेटा की तुलना संबंधित मानकों से की जानी चाहिए। केवल ऐसे प्लेटफॉर्म जो मानकों का पूरी तरह से पालन करते हैं, वे सटीक उपकरणों में स्थिर प्रदर्शन सुनिश्चित कर सकते हैं।
ग्रेनाइट परिशुद्धता प्लेटफार्मों की सटीकता का निरीक्षण एक व्यवस्थित परियोजना है। केवल समतलता, सीधापन और सतह खुरदरापन जैसे मुख्य संकेतकों का सख्ती से परीक्षण करके और अंतरराष्ट्रीय और उद्यम मानकों का पालन करके, प्लेटफ़ॉर्म की उच्च परिशुद्धता और विश्वसनीयता की गारंटी दी जा सकती है, जो अर्धचालक और परिशुद्धता उपकरणों जैसे उच्च अंत विनिर्माण क्षेत्रों के लिए एक ठोस नींव रखती है।