ग्रेनाइट एक कठोर और टिकाऊ पदार्थ है जिसका उपयोग अक्सर निर्माण उद्योग में किया जाता है। हालाँकि, इसमें ऐसे गुण भी हैं जो इसे अर्धचालक निर्माण में, विशेष रूप से एकीकृत परिपथों के निर्माण और प्रसंस्करण में उपयोगी बनाते हैं। ग्रेनाइट टेबल और ग्रेनाइट ब्लॉक जैसे ग्रेनाइट घटकों का उपयोग उनकी स्थिरता, समतलता और कम तापीय प्रसार गुणांक के कारण व्यापक रूप से किया जाता है।
अर्धचालक निर्माण में ग्रेनाइट घटकों का एक प्रमुख उपयोग निर्माण प्रक्रिया में होता है। एकीकृत परिपथों के मूल निर्माण खंड, सिलिकॉन वेफ़र्स, का निर्माण उच्च परिशुद्धता और सटीकता के साथ किया जाना चाहिए। इस प्रक्रिया के दौरान किसी भी प्रकार की विकृति या गति से दोष उत्पन्न हो सकते हैं जो एकीकृत परिपथों की गुणवत्ता और कार्यक्षमता को प्रभावित कर सकते हैं। ग्रेनाइट टेबल, अपनी उच्च स्थिरता और समतलता के कारण, वेफ़र प्रसंस्करण उपकरणों के लिए एक अच्छा प्लेटफ़ॉर्म प्रदान करते हैं। वे प्रक्रिया में आवश्यक तापन और शीतलन के कारण होने वाले तापीय विस्तार और संकुचन के प्रति भी प्रतिरोधी होते हैं।
ग्रेनाइट ब्लॉकों का उपयोग अर्धचालक प्रसंस्करण में उनकी तापीय स्थिरता के लिए भी किया जाता है। नक़्क़ाशी या निक्षेपण प्रक्रियाओं के दौरान, सिलिकॉन वेफ़र की सतह को संशोधित करने के लिए गर्म गैसों या प्लाज़्मा का उपयोग किया जाता है। यह सुनिश्चित करने के लिए कि प्रक्रिया कुशलतापूर्वक और सटीक रूप से की जाए, वेफ़र के तापमान को नियंत्रित करना आवश्यक है। ग्रेनाइट ब्लॉक, अपने कम तापीय प्रसार गुणांक के कारण, वेफ़र के तापमान को स्थिर रखने में मदद करते हैं, जिससे तापमान में उतार-चढ़ाव का जोखिम कम हो जाता है जो संसाधित सामग्री की गुणवत्ता को प्रभावित कर सकता है।
निर्माण और प्रसंस्करण प्रक्रियाओं के अलावा, ग्रेनाइट घटकों का उपयोग अर्धचालक निर्माण के माप-विज्ञान और निरीक्षण चरणों में भी किया जाता है। माप-विज्ञान माप यह सुनिश्चित करने के लिए किए जाते हैं कि वेफर पर संरचनाओं का आकार, आकृति और स्थिति आवश्यक विनिर्देशों के भीतर है। ग्रेनाइट ब्लॉकों का उपयोग उनकी आयामी स्थिरता और सटीकता के कारण इन मापों में संदर्भ मानकों के रूप में किया जाता है। इनका उपयोग निरीक्षण चरणों में भी किया जाता है, जहाँ उच्च आवर्धन के तहत एकीकृत परिपथों की गुणवत्ता की जाँच की जाती है।
कुल मिलाकर, हाल के वर्षों में अर्धचालक निर्माण में ग्रेनाइट घटकों का उपयोग बढ़ा है। एकीकृत परिपथों के निर्माण और प्रसंस्करण में उच्च परिशुद्धता, सटीकता और स्थिरता की आवश्यकता ने अर्धचालक निर्माताओं द्वारा इन सामग्रियों को अपनाने को प्रेरित किया है। ग्रेनाइट के अद्वितीय गुण, जैसे इसकी कठोरता, स्थिरता और कम तापीय प्रसार गुणांक, इसे इन प्रक्रियाओं में उपयोग के लिए एक उत्कृष्ट विकल्प बनाते हैं। अर्धचालक प्रौद्योगिकी के निरंतर विकास और सुधार के साथ, भविष्य में ग्रेनाइट घटकों के उपयोग में और वृद्धि होने की उम्मीद है।
पोस्ट करने का समय: 5 दिसंबर 2023