अर्धचालक उपकरणों में, मुख्य रूप से कौन से कोर सबसिस्टम ग्रेनाइट का उपयोग किया जाता है?

ग्रेनाइट सेमीकंडक्टर उपकरणों में उपयोग की जाने वाली सबसे लोकप्रिय सामग्रियों में से एक है। यह एक प्रकार की कठोर, आग्नेय चट्टान है जो ग्रे, गुलाबी और सफेद रंग के विभिन्न रंगों में आती है। ग्रेनाइट को अपने स्थायित्व, कम थर्मल विस्तार गुणांक और उत्कृष्ट तापीय चालकता के लिए जाना जाता है, जिससे यह अर्धचालक डिवाइस सबसिस्टम में उपयोग के लिए एक आदर्श सामग्री बन जाता है।

अर्धचालक उपकरणों में ग्रेनाइट का उपयोग करने वाले प्राथमिक सबसिस्टम में से एक वेफर हैंडलिंग और प्रसंस्करण सबसिस्टम है। यह सबसिस्टम अर्धचालक उपकरणों की निर्माण प्रक्रिया में एक महत्वपूर्ण भूमिका निभाता है। वेफर डिवाइस के लिए शुरुआती सब्सट्रेट है, और हैंडलिंग और प्रोसेसिंग सबसिस्टम विभिन्न कक्षों और प्रसंस्करण उपकरणों के बीच वेफर्स को स्थानांतरित करने के लिए जिम्मेदार हैं। ग्रेनाइट का उपयोग अत्यधिक सटीक और फ्लैट वेफर हैंडलिंग सतहों को बनाने के लिए किया जाता है और वेफर प्रसंस्करण के लिए एक स्थिर मंच प्रदान करता है।

एक और महत्वपूर्ण सबसिस्टम जो ग्रेनाइट का उपयोग करता है, वह वैक्यूम सबसिस्टम है। सेमीकंडक्टर उपकरणों में, विनिर्माण के दौरान संदूषण से बचने के लिए वैक्यूम कक्षों का उपयोग किया जाता है। इस प्रणाली को प्रभावी ढंग से काम करने के लिए, चैम्बर को पूरी तरह से सील कर दिया जाना चाहिए, जो कि ग्रेनाइट में आता है। ग्रेनाइट वैक्यूम कक्षों के लिए एक आदर्श सामग्री है क्योंकि इसमें बहुत कम दरें हैं और एक स्थिर वैक्यूम वातावरण बनाए रख सकती है। इसके अतिरिक्त, ग्रेनाइट की उच्च मशीनिंग परिशुद्धता एक आदर्श सील के निर्माण के लिए अनुमति देती है, जो वेफर प्रसंस्करण के लिए एक विश्वसनीय वैक्यूम वातावरण प्रदान करती है।

संरेखण सबसिस्टम एक अन्य महत्वपूर्ण प्रणाली है जो ग्रेनाइट के अद्वितीय गुणों का उपयोग करती है। यह सबसिस्टम सटीक और सटीकता के साथ सेमीकंडक्टर उपकरणों के विभिन्न हिस्सों को संरेखित करने के लिए जिम्मेदार है। ग्रेनाइट का उपयोग उच्च कठोरता और स्थिरता सुनिश्चित करने के लिए संरेखण चरणों के डिजाइन और निर्माण में किया जाता है। ग्रेनाइट की उच्च कठोरता उच्च संरेखण सटीकता को प्राप्त करने में मदद करती है, जिससे अत्यधिक सटीक और विश्वसनीय अर्धचालक उपकरणों का उत्पादन होता है।

अंत में, मेट्रोलॉजी सबसिस्टम सेमीकंडक्टर उपकरणों की एक और प्रणाली है जो ग्रेनाइट का उपयोग करती है। मेट्रोलॉजी वेफर प्रसंस्करण में एक आवश्यक भूमिका निभाता है, और डिवाइस की गुणवत्ता सुनिश्चित करने में इस सबसिस्टम की सटीकता महत्वपूर्ण है। ग्रेनाइट एक स्थिर और कठोर मंच प्रदान करता है जो कंपन को कम करने और तापमान में उतार -चढ़ाव के प्रभाव को कम करने में मदद करता है। यह, बदले में, मेट्रोलॉजी सबसिस्टम में अत्यधिक सटीक माप प्राप्त करने में मदद करता है, जिससे उच्च-गुणवत्ता वाले अर्धचालक उपकरणों के उत्पादन के लिए अग्रणी होता है।

अंत में, ग्रेनाइट अर्धचालक उपकरणों के निर्माण में एक महत्वपूर्ण सामग्री है। यह उच्च कठोरता, कम थर्मल विस्तार, और उत्कृष्ट थर्मल चालकता जैसे अद्वितीय गुण हैं, इसे अर्धचालक उपकरणों में कई सबसिस्टम के लिए एक उत्कृष्ट सामग्री बनाते हैं, जिसमें वेफर हैंडलिंग और प्रोसेसिंग, वैक्यूम सबसिस्टम, संरेखण सबसिस्टम और मेट्रोलॉजी सबसिस्टम शामिल हैं। इसके अलावा, अर्धचालक उपकरणों में ग्रेनाइट के उपयोग ने अत्यधिक सटीक, विश्वसनीय और कुशल उपकरणों के उत्पादन में मदद की है जिन्होंने कई उद्योगों को बदल दिया है।