सेमीकंडक्टर उपकरणों में ग्रेनाइट का उपयोग मुख्य रूप से किस कोर उपप्रणाली में किया जाता है?

ग्रेनाइट अर्धचालक उपकरणों में उपयोग की जाने वाली सबसे लोकप्रिय सामग्रियों में से एक है।यह एक प्रकार की कठोर, आग्नेय चट्टान है जो भूरे, गुलाबी और सफेद रंग के विभिन्न रंगों में आती है।ग्रेनाइट अपने स्थायित्व, कम तापीय विस्तार गुणांक और उत्कृष्ट तापीय चालकता के लिए जाना जाता है, जो इसे सेमीकंडक्टर डिवाइस सबसिस्टम में उपयोग के लिए एक आदर्श सामग्री बनाता है।

सेमीकंडक्टर उपकरणों में ग्रेनाइट का उपयोग करने वाली प्राथमिक उपप्रणालियों में से एक वेफर हैंडलिंग और प्रसंस्करण उपप्रणाली है।यह उपप्रणाली अर्धचालक उपकरणों की निर्माण प्रक्रिया में महत्वपूर्ण भूमिका निभाती है।वेफर डिवाइस के लिए शुरुआती सब्सट्रेट है, और हैंडलिंग और प्रोसेसिंग सबसिस्टम विभिन्न कक्षों और प्रसंस्करण उपकरणों के बीच वेफर्स को स्थानांतरित करने के लिए जिम्मेदार हैं।ग्रेनाइट का उपयोग अत्यधिक सटीक और सपाट वेफर हैंडलिंग सतहों को बनाने के लिए किया जाता है और वेफर प्रसंस्करण के लिए एक स्थिर मंच प्रदान करता है।

एक अन्य महत्वपूर्ण उपप्रणाली जो ग्रेनाइट का उपयोग करती है वह वैक्यूम उपप्रणाली है।अर्धचालक उपकरणों में, विनिर्माण के दौरान संदूषण से बचने के लिए वैक्यूम कक्षों का उपयोग किया जाता है।इस प्रणाली के प्रभावी ढंग से काम करने के लिए, कक्ष को पूरी तरह से सील किया जाना चाहिए, जहां ग्रेनाइट आता है। ग्रेनाइट निर्वात कक्षों के लिए एक आदर्श सामग्री है क्योंकि इसमें बहुत कम निकास दर होती है और यह एक स्थिर निर्वात वातावरण बनाए रख सकता है।इसके अतिरिक्त, ग्रेनाइट की उच्च मशीनिंग परिशुद्धता एक आदर्श सील के निर्माण की अनुमति देती है, जो वेफर प्रसंस्करण के लिए एक विश्वसनीय वैक्यूम वातावरण प्रदान करती है।

संरेखण उपप्रणाली एक और महत्वपूर्ण प्रणाली है जो ग्रेनाइट के अद्वितीय गुणों का उपयोग करती है।यह उपप्रणाली अर्धचालक उपकरणों के विभिन्न भागों को परिशुद्धता और सटीकता के साथ संरेखित करने के लिए जिम्मेदार है।उच्च कठोरता और स्थिरता सुनिश्चित करने के लिए संरेखण चरणों के डिजाइन और निर्माण में ग्रेनाइट का उपयोग किया जाता है।ग्रेनाइट की उच्च कठोरता उच्च संरेखण सटीकता प्राप्त करने में मदद करती है, जिससे अत्यधिक सटीक और विश्वसनीय अर्धचालक उपकरणों का उत्पादन होता है।

अंत में, मेट्रोलॉजी सबसिस्टम अर्धचालक उपकरणों की एक और प्रणाली है जो ग्रेनाइट का उपयोग करती है।मेट्रोलॉजी वेफर प्रसंस्करण में एक आवश्यक भूमिका निभाती है, और डिवाइस की गुणवत्ता सुनिश्चित करने के लिए इस उपप्रणाली की सटीकता महत्वपूर्ण है।ग्रेनाइट एक स्थिर और कठोर मंच प्रदान करता है जो कंपन को कम करने और तापमान में उतार-चढ़ाव के प्रभाव को कम करने में मदद करता है।यह, बदले में, मेट्रोलॉजी उपप्रणाली में अत्यधिक सटीक माप प्राप्त करने में मदद करता है, जिससे उच्च गुणवत्ता वाले अर्धचालक उपकरणों का उत्पादन होता है।

निष्कर्षतः, सेमीकंडक्टर उपकरणों के निर्माण में ग्रेनाइट एक महत्वपूर्ण सामग्री है।उच्च कठोरता, कम तापीय विस्तार और उत्कृष्ट तापीय चालकता जैसे इसके अद्वितीय गुण इसे अर्धचालक उपकरणों में कई उप-प्रणालियों के लिए एक उत्कृष्ट सामग्री बनाते हैं, जिसमें वेफर हैंडलिंग और प्रोसेसिंग, वैक्यूम सबसिस्टम, संरेखण सबसिस्टम और मेट्रोलॉजी सबसिस्टम शामिल हैं।इसके अलावा, सेमीकंडक्टर उपकरणों में ग्रेनाइट के उपयोग ने अत्यधिक सटीक, विश्वसनीय और कुशल उपकरणों के उत्पादन में मदद की है जिसने कई उद्योगों को बदल दिया है।