सेमीकंडक्टर उपकरणों में, ग्रेनाइट का उपयोग मुख्य रूप से किन कोर सबसिस्टम में किया जाता है?

ग्रेनाइट अर्धचालक उपकरणों में उपयोग होने वाली सबसे लोकप्रिय सामग्रियों में से एक है। यह एक प्रकार की कठोर, आग्नेय चट्टान है जो भूरे, गुलाबी और सफेद रंग के विभिन्न शेड्स में पाई जाती है। ग्रेनाइट अपनी मजबूती, कम तापीय विस्तार गुणांक और उत्कृष्ट तापीय चालकता के लिए जाना जाता है, जो इसे अर्धचालक उपकरण उपप्रणालियों में उपयोग के लिए एक आदर्श सामग्री बनाता है।

सेमीकंडक्टर उपकरणों में ग्रेनाइट का उपयोग करने वाले प्रमुख उपप्रणालियों में से एक वेफर हैंडलिंग और प्रोसेसिंग उपप्रणाली है। यह उपप्रणाली सेमीकंडक्टर उपकरणों के निर्माण प्रक्रिया में महत्वपूर्ण भूमिका निभाती है। वेफर उपकरण का प्रारंभिक आधार होता है, और हैंडलिंग और प्रोसेसिंग उपप्रणाली विभिन्न कक्षों और प्रसंस्करण उपकरणों के बीच वेफर्स को स्थानांतरित करने के लिए जिम्मेदार होती है। ग्रेनाइट का उपयोग अत्यधिक सटीक और सपाट वेफर हैंडलिंग सतह बनाने के लिए किया जाता है और यह वेफर प्रोसेसिंग के लिए एक स्थिर प्लेटफॉर्म प्रदान करता है।

ग्रेनाइट का उपयोग करने वाला एक अन्य महत्वपूर्ण उपप्रणाली वैक्यूम उपप्रणाली है। सेमीकंडक्टर उपकरणों में, निर्माण के दौरान संदूषण से बचने के लिए वैक्यूम कक्षों का उपयोग किया जाता है। इस प्रणाली के प्रभावी ढंग से काम करने के लिए, कक्ष का पूरी तरह से सीलबंद होना आवश्यक है, और यहीं पर ग्रेनाइट का महत्व सामने आता है। ग्रेनाइट वैक्यूम कक्षों के लिए एक आदर्श सामग्री है क्योंकि इसमें गैस उत्सर्जन की दर बहुत कम होती है और यह एक स्थिर वैक्यूम वातावरण बनाए रख सकता है। इसके अलावा, ग्रेनाइट की उच्च मशीनिंग परिशुद्धता एक उत्तम सील बनाने की अनुमति देती है, जिससे वेफर प्रसंस्करण के लिए एक विश्वसनीय वैक्यूम वातावरण सुनिश्चित होता है।

संरेखण उपप्रणाली एक और महत्वपूर्ण प्रणाली है जो ग्रेनाइट के अद्वितीय गुणों का उपयोग करती है। यह उपप्रणाली अर्धचालक उपकरणों के विभिन्न भागों को सटीकता और परिशुद्धता के साथ संरेखित करने के लिए जिम्मेदार है। उच्च कठोरता और स्थिरता सुनिश्चित करने के लिए संरेखण चरणों के डिजाइन और निर्माण में ग्रेनाइट का उपयोग किया जाता है। ग्रेनाइट की उच्च कठोरता उच्च संरेखण सटीकता प्राप्त करने में सहायक होती है, जिससे अत्यधिक परिशुद्ध और विश्वसनीय अर्धचालक उपकरणों का उत्पादन संभव होता है।

अंत में, मेट्रोलॉजी उपप्रणाली अर्धचालक उपकरणों की एक अन्य प्रणाली है जो ग्रेनाइट का उपयोग करती है। वेफर प्रसंस्करण में मेट्रोलॉजी की महत्वपूर्ण भूमिका होती है, और इस उपप्रणाली की सटीकता उपकरण की गुणवत्ता सुनिश्चित करने के लिए अत्यंत महत्वपूर्ण है। ग्रेनाइट एक स्थिर और कठोर आधार प्रदान करता है जो कंपन को कम करने और तापमान में उतार-चढ़ाव के प्रभाव को न्यूनतम करने में सहायक होता है। इससे मेट्रोलॉजी उपप्रणाली में अत्यधिक सटीक माप प्राप्त करने में मदद मिलती है, जिसके परिणामस्वरूप उच्च गुणवत्ता वाले अर्धचालक उपकरणों का उत्पादन होता है।

निष्कर्षतः, ग्रेनाइट अर्धचालक उपकरणों के निर्माण में एक महत्वपूर्ण सामग्री है। इसकी उच्च कठोरता, कम तापीय विस्तार और उत्कृष्ट तापीय चालकता जैसे अद्वितीय गुण इसे अर्धचालक उपकरणों के कई उप-प्रणालियों के लिए एक उत्कृष्ट सामग्री बनाते हैं, जिनमें वेफर हैंडलिंग और प्रोसेसिंग, वैक्यूम उप-प्रणाली, संरेखण उप-प्रणाली और मापन उप-प्रणाली शामिल हैं। इसके अलावा, अर्धचालक उपकरणों में ग्रेनाइट के उपयोग ने अत्यधिक परिशुद्ध, विश्वसनीय और कुशल उपकरणों के उत्पादन में मदद की है, जिन्होंने कई उद्योगों में क्रांति ला दी है।