वेफर स्थानांतरण प्रणाली के किन भागों में ग्रेनाइट सामग्री का उपयोग किया जाता है?

ग्रेनाइट सामग्री का उपयोग अर्धचालक उद्योग में व्यापक रूप से उनकी उत्कृष्ट विशेषताओं, जैसे उच्च स्थिरता, कम तापीय प्रसार और उच्च संक्षारण प्रतिरोध के कारण किया जाता है। ये गुण ग्रेनाइट को वेफर स्थानांतरण प्रणाली में उच्च-परिशुद्धता वाले घटकों के निर्माण के लिए एक आदर्श सामग्री बनाते हैं।

अर्धचालक निर्माण प्रक्रिया में, वेफर स्थानांतरण प्रणाली, निर्माण प्रक्रिया के विभिन्न चरणों में वेफरों के परिवहन में महत्वपूर्ण भूमिका निभाती है। इन प्रणालियों के लिए परिशुद्धता और सटीकता आवश्यक है क्योंकि थोड़ा सा भी विचलन पूरी प्रक्रिया को खतरे में डाल सकता है। इसलिए, वेफर स्थानांतरण प्रणाली के घटकों का निर्माण उच्च-गुणवत्ता वाली सामग्रियों से होना चाहिए, और ग्रेनाइट इन मानदंडों को पूरा करता है।

वेफर स्थानांतरण प्रणाली के कुछ भाग जो ग्रेनाइट सामग्री से बने हैं, उनमें शामिल हैं:

1. वैक्यूम चक टेबल

प्रक्रिया के दौरान वेफर को पकड़ने के लिए वैक्यूम चक टेबल का उपयोग किया जाता है, और वेफर को नुकसान न पहुँचे, यह सुनिश्चित करने के लिए इसकी सतह स्थिर होनी चाहिए। इस टेबल को बनाने के लिए ग्रेनाइट एक आदर्श सामग्री है क्योंकि इसकी सपाट, गैर-छिद्रपूर्ण सतह उच्च स्थिरता और परिशुद्धता प्रदान करती है। इसके अतिरिक्त, ग्रेनाइट का तापीय प्रसार गुणांक कम होता है, जिससे यह तापमान परिवर्तनों के प्रति प्रतिरोधी होता है जो वेफर में आयामी परिवर्तन का कारण बन सकते हैं।

2. एयर-बेयरिंग स्टेज

वायु-असर चरण का उपयोग वेफर को निर्माण प्रक्रिया के विभिन्न चरणों में ले जाने के लिए किया जाता है। इस चरण को घर्षण रहित गति प्रदान करने के लिए डिज़ाइन किया गया है, जिसके लिए उच्च परिशुद्धता और स्थिरता की आवश्यकता होती है। इस अनुप्रयोग में ग्रेनाइट का उपयोग किया जाता है क्योंकि यह एक कठोर और सख्त पत्थर है, और समय के साथ विरूपण और घिसाव का प्रतिरोध करता है।

3. रैखिक गति गाइड

रैखिक गति गाइड का उपयोग एयर-बेयरिंग स्टेज को दिशा देने के लिए किया जाता है, और त्रुटियों को कम करने के लिए उन्हें सटीक रूप से स्थापित किया जाना चाहिए। इस गाइड के निर्माण में ग्रेनाइट का उपयोग किया गया है क्योंकि इसमें उत्कृष्ट यांत्रिक स्थिरता और मजबूती है। यह सामग्री संक्षारण-प्रतिरोधी भी है, जो गाइड सिस्टम की दीर्घायु सुनिश्चित करती है।

4. मेट्रोलॉजी उपकरण

निर्माण प्रक्रिया के दौरान वेफर के आयामों और गुणों को मापने के लिए मेट्रोलॉजी उपकरण का उपयोग किया जाता है। ग्रेनाइट इस उपकरण के निर्माण के लिए एक आदर्श सामग्री है क्योंकि इसमें उच्च कठोरता, कम विस्तार और भार के तहत न्यूनतम विरूपण होता है। इसके अलावा, ग्रेनाइट की तापीय स्थिरता सुनिश्चित करती है कि मेट्रोलॉजी उपकरण समय के साथ स्थिर और सटीक बना रहे।

निष्कर्षतः, अर्धचालक उद्योग परिशुद्धता और शुद्धता पर निर्भर करता है, और ग्रेनाइट सामग्री निर्माण प्रक्रिया में अत्यधिक विश्वसनीय और स्थिर साबित हुई है। वेफर स्थानांतरण प्रणाली के कई महत्वपूर्ण घटकों के लिए उच्च स्थिरता, परिशुद्धता और कम तापीय विस्तार की आवश्यकता होती है, इसलिए इंजीनियरों ने इन महत्वपूर्ण आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए ग्रेनाइट सामग्री का सहारा लिया है।