वेफर स्थानांतरण प्रणाली के किन भागों में ग्रेनाइट सामग्री का उपयोग किया जाता है?

ग्रेनाइट सामग्री का उपयोग अर्धचालक उद्योग में उनकी उत्कृष्ट विशेषताओं, जैसे उच्च स्थिरता, कम तापीय विस्तार और संक्षारण के लिए उच्च प्रतिरोध के कारण व्यापक रूप से किया जाता है।ये गुण ग्रेनाइट को वेफर ट्रांसफर सिस्टम में उच्च-सटीक घटकों के निर्माण के लिए एक आदर्श सामग्री बनाते हैं।

सेमीकंडक्टर निर्माण प्रक्रिया में, वेफर ट्रांसफर सिस्टम विनिर्माण प्रक्रिया के विभिन्न चरणों में वेफर्स के परिवहन में महत्वपूर्ण भूमिका निभाता है।इन प्रणालियों के लिए परिशुद्धता और सटीकता आवश्यक आवश्यकताएं हैं क्योंकि थोड़ा सा भी विचलन पूरी प्रक्रिया को खतरे में डाल सकता है।इसलिए, वेफर ट्रांसफर सिस्टम में घटक उच्च गुणवत्ता वाली सामग्री से बने होने चाहिए, और ग्रेनाइट उन मानदंडों को पूरा करता है।

वेफर स्थानांतरण प्रणाली के कुछ हिस्से जो ग्रेनाइट सामग्री से बने हैं, उनमें शामिल हैं:

1. वैक्यूम चक टेबल

प्रक्रिया के दौरान वेफर को पकड़ने के लिए वैक्यूम चक टेबल का उपयोग किया जाता है, और यह सुनिश्चित करने के लिए कि वेफर क्षतिग्रस्त न हो, इसकी एक स्थिर सतह होनी चाहिए।इस टेबल को बनाने के लिए ग्रेनाइट एक आदर्श सामग्री है क्योंकि इसमें एक सपाट, गैर-छिद्रपूर्ण सतह होती है जो उच्च स्थिरता और सटीकता प्रदान करती है।इसके अतिरिक्त, ग्रेनाइट में थर्मल विस्तार का गुणांक कम होता है, जो इसे तापमान परिवर्तन के प्रति प्रतिरोधी बनाता है जो वेफर में आयामी परिवर्तन का कारण बन सकता है।

2. एयर-बेयरिंग स्टेज

एयर-बेयरिंग चरण का उपयोग विनिर्माण प्रक्रिया के विभिन्न चरणों के माध्यम से वेफर को परिवहन करने के लिए किया जाता है।मंच को घर्षण रहित गति प्रदान करने के लिए इंजीनियर किया गया है, जिसके लिए उच्च परिशुद्धता और स्थिरता की आवश्यकता होती है।इस अनुप्रयोग में ग्रेनाइट का उपयोग किया जाता है क्योंकि यह एक कठोर और कठोर पत्थर है, और यह समय के साथ विरूपण और घिसाव का प्रतिरोध करता है।

3. रैखिक गति मार्गदर्शिकाएँ

रैखिक गति गाइड का उपयोग वायु-असर चरण को निर्देशित करने के लिए किया जाता है, और त्रुटियों को कम करने के लिए उन्हें सटीक रूप से तैनात किया जाना चाहिए।इस गाइड को बनाने के लिए ग्रेनाइट का उपयोग किया जाता है क्योंकि इसमें उत्कृष्ट यांत्रिक स्थिरता और ताकत होती है।सामग्री संक्षारण प्रतिरोधी भी है, जो गाइड सिस्टम की लंबी उम्र सुनिश्चित करती है।

4. मेट्रोलॉजी उपकरण

निर्माण प्रक्रिया के दौरान वेफर के आयाम और गुणों को मापने के लिए मेट्रोलॉजी उपकरण का उपयोग किया जाता है।इस उपकरण के निर्माण के लिए ग्रेनाइट एक आदर्श सामग्री है क्योंकि इसमें उच्च कठोरता, कम विस्तार और लोड के तहत न्यूनतम विरूपण होता है।इसके अलावा, ग्रेनाइट की थर्मल स्थिरता यह सुनिश्चित करती है कि मेट्रोलॉजी उपकरण समय के साथ स्थिर और सटीक रहे।

निष्कर्ष में, सेमीकंडक्टर उद्योग परिशुद्धता और परिशुद्धता पर निर्भर करता है, और ग्रेनाइट सामग्री विनिर्माण प्रक्रिया में अत्यधिक विश्वसनीय और स्थिर साबित हुई है।वेफर ट्रांसफर सिस्टम में कई महत्वपूर्ण घटकों के साथ उच्च स्थिरता, परिशुद्धता और कम तापीय विस्तार की आवश्यकता होती है, इंजीनियरों ने इन महत्वपूर्ण आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए ग्रेनाइट सामग्री की ओर रुख किया है।