ग्रेनाइट सामग्री का व्यापक रूप से अर्धचालक उद्योग में उनकी उत्कृष्ट विशेषताओं के कारण उपयोग किया जाता है, जैसे कि उच्च स्थिरता, कम थर्मल विस्तार और जंग के उच्च प्रतिरोध। ये गुण ग्रेनाइट को वेफर ट्रांसफर सिस्टम में उच्च-सटीक घटक बनाने के लिए एक आदर्श सामग्री बनाते हैं।
अर्धचालक निर्माण प्रक्रिया में, वेफर ट्रांसफर सिस्टम विनिर्माण प्रक्रिया के विभिन्न चरणों में वेफर्स को परिवहन में महत्वपूर्ण भूमिका निभाता है। सटीक और सटीकता इन प्रणालियों के लिए आवश्यक आवश्यकताएं हैं क्योंकि यहां तक कि मामूली विचलन पूरी प्रक्रिया को खतरे में डाल सकते हैं। इसलिए, वेफर ट्रांसफर सिस्टम में घटकों को उच्च गुणवत्ता वाली सामग्री से बनाया जाना चाहिए, और ग्रेनाइट उन मानदंडों को पूरा करता है।
वेफर ट्रांसफर सिस्टम के कुछ हिस्से जो ग्रेनाइट सामग्री से बने होते हैं, उनमें शामिल हैं:
1। वैक्यूम चक टेबल
वैक्यूम चक टेबल का उपयोग प्रक्रिया के दौरान वेफर को पकड़ने के लिए किया जाता है, और यह सुनिश्चित करने के लिए एक स्थिर सतह होनी चाहिए कि वेफर क्षतिग्रस्त नहीं है। ग्रेनाइट इस तालिका को बनाने के लिए एक आदर्श सामग्री है क्योंकि इसमें एक सपाट, गैर-छिद्रपूर्ण सतह है जो उच्च स्थिरता और सटीकता प्रदान करती है। इसके अतिरिक्त, ग्रेनाइट में थर्मल विस्तार का एक कम गुणांक होता है, जिससे यह तापमान परिवर्तन के लिए प्रतिरोधी हो जाता है जो वेफर में आयामी परिवर्तन का कारण बन सकता है।
2। वायु-असर चरण
एयर-असर चरण का उपयोग विनिर्माण प्रक्रिया के विभिन्न चरणों के माध्यम से वेफर को परिवहन करने के लिए किया जाता है। मंच को एक घर्षण रहित आंदोलन प्रदान करने के लिए इंजीनियर किया जाता है, जिसमें उच्च परिशुद्धता और स्थिरता की आवश्यकता होती है। इस एप्लिकेशन में ग्रेनाइट का उपयोग किया जाता है क्योंकि यह एक कठोर और कठोर पत्थर है, और यह समय के साथ विरूपण और पहनने का विरोध करता है।
3। रैखिक गति मार्गदर्शिकाएँ
लीनियर मोशन गाइड का उपयोग एयर-असर चरण को निर्देशित करने के लिए किया जाता है, और उन्हें त्रुटियों को कम करने के लिए सटीक रूप से तैनात किया जाना चाहिए। ग्रेनाइट का उपयोग इस गाइड को बनाने के लिए किया जाता है क्योंकि इसमें उत्कृष्ट यांत्रिक स्थिरता और ताकत है। सामग्री भी संक्षारण-प्रतिरोधी है, जो गाइड सिस्टम की दीर्घायु सुनिश्चित करता है।
4। मेट्रोलॉजी उपकरण
मेट्रोलॉजी उपकरण का उपयोग विनिर्माण प्रक्रिया के दौरान वेफर के आयामों और गुणों को मापने के लिए किया जाता है। ग्रेनाइट इस उपकरण के निर्माण के लिए एक आदर्श सामग्री है क्योंकि इसमें उच्च कठोरता, कम विस्तार और लोड के तहत न्यूनतम विरूपण है। इसके अलावा, ग्रेनाइट की थर्मल स्थिरता यह सुनिश्चित करती है कि मेट्रोलॉजी उपकरण समय के साथ स्थिर और सटीक रहे।
अंत में, अर्धचालक उद्योग सटीक और सटीकता पर निर्भर करता है, और ग्रेनाइट सामग्री विनिर्माण प्रक्रिया में अत्यधिक विश्वसनीय और स्थिर साबित हुई है। वेफर ट्रांसफर सिस्टम में कई महत्वपूर्ण घटकों के साथ उच्च स्थिरता, सटीकता और कम थर्मल विस्तार की आवश्यकता होती है, इंजीनियरों ने इन महत्वपूर्ण आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए ग्रेनाइट सामग्री की ओर रुख किया है।
पोस्ट टाइम: मार्च -19-2024