वेफर स्थानांतरण प्रणाली के किन भागों में ग्रेनाइट सामग्री का उपयोग किया जाता है?

ग्रेनाइट सामग्री का उपयोग सेमीकंडक्टर उद्योग में व्यापक रूप से किया जाता है, क्योंकि इसकी उत्कृष्ट विशेषताएं हैं, जैसे उच्च स्थिरता, कम तापीय विस्तार और संक्षारण के लिए उच्च प्रतिरोध। ये गुण ग्रेनाइट को वेफर ट्रांसफर सिस्टम में उच्च परिशुद्धता वाले घटकों के निर्माण के लिए एक आदर्श सामग्री बनाते हैं।

सेमीकंडक्टर निर्माण प्रक्रिया में, वेफर ट्रांसफर सिस्टम निर्माण प्रक्रिया के विभिन्न चरणों में वेफर्स के परिवहन में महत्वपूर्ण भूमिका निभाता है। इन प्रणालियों के लिए सटीकता और सटीकता आवश्यक आवश्यकताएं हैं क्योंकि थोड़ा सा भी विचलन पूरी प्रक्रिया को खतरे में डाल सकता है। इसलिए, वेफर ट्रांसफर सिस्टम में घटकों को उच्च गुणवत्ता वाली सामग्री से बनाया जाना चाहिए, और ग्रेनाइट उन मानदंडों को पूरा करता है।

वेफर स्थानांतरण प्रणाली के कुछ हिस्से जो ग्रेनाइट सामग्री से बने हैं, उनमें शामिल हैं:

1. वैक्यूम चक टेबल

प्रक्रिया के दौरान वेफर को पकड़ने के लिए वैक्यूम चक टेबल का उपयोग किया जाता है, और यह सुनिश्चित करने के लिए कि वेफर क्षतिग्रस्त न हो, इसकी सतह स्थिर होनी चाहिए। ग्रेनाइट इस टेबल को बनाने के लिए एक आदर्श सामग्री है क्योंकि इसकी एक सपाट, गैर-छिद्रपूर्ण सतह है जो उच्च स्थिरता और परिशुद्धता प्रदान करती है। इसके अतिरिक्त, ग्रेनाइट में तापीय विस्तार का गुणांक कम होता है, जिससे यह तापमान परिवर्तनों के प्रति प्रतिरोधी हो जाता है जो वेफर में आयामी परिवर्तन का कारण बन सकते हैं।

2. एयर-बेयरिंग स्टेज

एयर-बेयरिंग स्टेज का उपयोग विनिर्माण प्रक्रिया के विभिन्न चरणों के माध्यम से वेफर को परिवहन करने के लिए किया जाता है। स्टेज को घर्षण रहित गति प्रदान करने के लिए इंजीनियर किया गया है, जिसके लिए उच्च परिशुद्धता और स्थिरता की आवश्यकता होती है। इस अनुप्रयोग में ग्रेनाइट का उपयोग किया जाता है क्योंकि यह एक कठोर और सख्त पत्थर है, और यह समय के साथ विरूपण और घिसाव का प्रतिरोध करता है।

3. रैखिक गति गाइड

रैखिक गति गाइड का उपयोग एयर-बेयरिंग स्टेज को निर्देशित करने के लिए किया जाता है, और त्रुटियों को कम करने के लिए उन्हें सटीक रूप से तैनात किया जाना चाहिए। इस गाइड को बनाने के लिए ग्रेनाइट का उपयोग किया जाता है क्योंकि इसमें उत्कृष्ट यांत्रिक स्थिरता और ताकत होती है। यह सामग्री संक्षारण प्रतिरोधी भी है, जो गाइड सिस्टम की दीर्घायु सुनिश्चित करती है।

4. मेट्रोलॉजी उपकरण

विनिर्माण प्रक्रिया के दौरान वेफर के आयामों और गुणों को मापने के लिए मेट्रोलॉजी उपकरण का उपयोग किया जाता है। ग्रेनाइट इस उपकरण के निर्माण के लिए एक आदर्श सामग्री है क्योंकि इसमें उच्च कठोरता, कम विस्तार और भार के तहत न्यूनतम विरूपण होता है। इसके अलावा, ग्रेनाइट की तापीय स्थिरता सुनिश्चित करती है कि मेट्रोलॉजी उपकरण समय के साथ स्थिर और सटीक बना रहे।

निष्कर्ष में, सेमीकंडक्टर उद्योग सटीकता और शुद्धता पर निर्भर करता है, और ग्रेनाइट सामग्री विनिर्माण प्रक्रिया में अत्यधिक विश्वसनीय और स्थिर साबित हुई है। वेफर ट्रांसफर सिस्टम में कई महत्वपूर्ण घटकों के लिए उच्च स्थिरता, सटीकता और कम तापीय विस्तार की आवश्यकता होती है, इंजीनियरों ने इन महत्वपूर्ण आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए ग्रेनाइट सामग्री की ओर रुख किया है।