वेफर ट्रांसफर सिस्टम के किन भागों में ग्रेनाइट सामग्री का उपयोग किया जाता है?

ग्रेनाइट सामग्री का उपयोग अर्धचालक उद्योग में व्यापक रूप से किया जाता है, क्योंकि इसमें उच्च स्थिरता, कम तापीय विस्तार और उच्च संक्षारण प्रतिरोध जैसे उत्कृष्ट गुण होते हैं। ये गुण ग्रेनाइट को वेफर स्थानांतरण प्रणाली में उच्च परिशुद्धता वाले घटकों के निर्माण के लिए एक आदर्श सामग्री बनाते हैं।

सेमीकंडक्टर निर्माण प्रक्रिया में, वेफर ट्रांसफर सिस्टम निर्माण प्रक्रिया के विभिन्न चरणों में वेफर्स को स्थानांतरित करने में महत्वपूर्ण भूमिका निभाता है। इन प्रणालियों के लिए परिशुद्धता और सटीकता आवश्यक हैं, क्योंकि थोड़ी सी भी गड़बड़ी पूरी प्रक्रिया को बाधित कर सकती है। इसलिए, वेफर ट्रांसफर सिस्टम के घटक उच्च गुणवत्ता वाली सामग्री से बने होने चाहिए, और ग्रेनाइट इन मानदंडों को पूरा करता है।

वेफर ट्रांसफर सिस्टम के कुछ हिस्से जो ग्रेनाइट सामग्री से बने होते हैं, उनमें शामिल हैं:

1. वैक्यूम चक टेबल

वैक्यूम चक टेबल का उपयोग प्रक्रिया के दौरान वेफर को पकड़ने के लिए किया जाता है, और वेफर को क्षति से बचाने के लिए इसकी सतह स्थिर होनी चाहिए। ग्रेनाइट इस टेबल के निर्माण के लिए एक आदर्श सामग्री है क्योंकि इसकी सतह सपाट और छिद्ररहित होती है, जो उच्च स्थिरता और सटीकता प्रदान करती है। इसके अलावा, ग्रेनाइट का तापीय विस्तार गुणांक कम होता है, जिससे यह तापमान में होने वाले परिवर्तनों के प्रति प्रतिरोधी होता है, जो वेफर के आकार में बदलाव ला सकते हैं।

2. वायु-धारण चरण

वायु-युक्त स्टेज का उपयोग विनिर्माण प्रक्रिया के विभिन्न चरणों में वेफर को स्थानांतरित करने के लिए किया जाता है। इस स्टेज को घर्षण रहित गति प्रदान करने के लिए डिज़ाइन किया गया है, जिसके लिए उच्च परिशुद्धता और स्थिरता की आवश्यकता होती है। इस अनुप्रयोग में ग्रेनाइट का उपयोग किया जाता है क्योंकि यह एक कठोर और मजबूत पत्थर है, और यह समय के साथ विरूपण और घिसाव का प्रतिरोध करता है।

3. रैखिक गति गाइड

लीनियर मोशन गाइड का उपयोग एयर-बेयरिंग स्टेज को निर्देशित करने के लिए किया जाता है, और त्रुटियों को कम करने के लिए इन्हें सटीक रूप से स्थापित करना आवश्यक है। इस गाइड के निर्माण में ग्रेनाइट का उपयोग किया जाता है क्योंकि इसमें उत्कृष्ट यांत्रिक स्थिरता और मजबूती होती है। यह सामग्री संक्षारण-प्रतिरोधी भी है, जो गाइड सिस्टम की दीर्घायु सुनिश्चित करती है।

4. मापन उपकरण

विनिर्माण प्रक्रिया के दौरान वेफर के आयामों और गुणों को मापने के लिए मेट्रोलॉजी उपकरण का उपयोग किया जाता है। ग्रेनाइट इस उपकरण के निर्माण के लिए एक आदर्श सामग्री है क्योंकि इसमें उच्च कठोरता, कम विस्तार और भार के तहत न्यूनतम विरूपण होता है। इसके अलावा, ग्रेनाइट की तापीय स्थिरता यह सुनिश्चित करती है कि मेट्रोलॉजी उपकरण समय के साथ स्थिर और सटीक बना रहे।

निष्कर्षतः, सेमीकंडक्टर उद्योग परिशुद्धता और सटीकता पर निर्भर करता है, और ग्रेनाइट सामग्री विनिर्माण प्रक्रिया में अत्यधिक विश्वसनीय और स्थिर साबित हुई है। वेफर स्थानांतरण प्रणाली में कई महत्वपूर्ण घटकों को उच्च स्थिरता, परिशुद्धता और कम तापीय विस्तार की आवश्यकता होती है, इसलिए इंजीनियरों ने इन महत्वपूर्ण आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए ग्रेनाइट सामग्री का उपयोग करना शुरू कर दिया है।