सेमीकंडक्टर वेफर टेस्टिंग टेबल के लिए ग्रेनाइट बेस चुनने के फायदे।

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सेमीकंडक्टर उद्योग में, वेफर निरीक्षण चिप की गुणवत्ता और प्रदर्शन सुनिश्चित करने की एक महत्वपूर्ण कड़ी है, और निरीक्षण टेबल की सटीकता और स्थिरता जांच परिणामों में निर्णायक भूमिका निभाती है। ग्रेनाइट बेस अपनी अनूठी विशेषताओं के साथ, सेमीकंडक्टर वेफर निरीक्षण टेबल के लिए आदर्श विकल्प बन जाता है, जिसका बहुआयामी विश्लेषण निम्नलिखित है।

सबसे पहले, परिशुद्धता गारंटी आयाम
1. अत्यंत उच्च समतलता और सीधापन: ग्रेनाइट बेस को उन्नत प्रसंस्करण तकनीक द्वारा तैयार किया जाता है, जिससे इसकी समतलता ±0.001 मिमी/मीटर या इससे भी अधिक सटीकता तक पहुंच सकती है, और सीधापन भी उत्कृष्ट है। वेफर निरीक्षण प्रक्रिया में, उच्च परिशुद्धता वाला तल वेफर को स्थिर सहारा प्रदान करता है और निरीक्षण उपकरण के प्रोब और वेफर सतह पर सोल्डर जोड़ों के बीच सटीक संपर्क सुनिश्चित करता है।
2. अत्यंत कम तापीय प्रसार गुणांक: अर्धचालक निर्माण तापमान परिवर्तन के प्रति संवेदनशील होता है, और ग्रेनाइट का तापीय प्रसार गुणांक अत्यंत कम होता है, आमतौर पर लगभग 5×10⁻⁶/℃। जब डिटेक्शन प्लेटफॉर्म चल रहा होता है, तो परिवेश के तापमान में उतार-चढ़ाव होने पर भी ग्रेनाइट बेस के आकार में बहुत कम परिवर्तन होता है। उदाहरण के लिए, गर्मियों में उच्च तापमान वाली कार्यशाला में, सामान्य धातु आधारित डिटेक्शन प्लेटफॉर्म का तापमान वेफर और डिटेक्शन उपकरण की सापेक्ष स्थिति में बदलाव का कारण बन सकता है, जिससे डिटेक्शन की सटीकता प्रभावित होती है; ग्रेनाइट आधारित डिटेक्शन प्लेटफॉर्म स्थिरता बनाए रख सकता है, डिटेक्शन प्रक्रिया के दौरान वेफर और डिटेक्शन उपकरण की सापेक्ष स्थिति की सटीकता सुनिश्चित कर सकता है, और उच्च परिशुद्धता डिटेक्शन के लिए एक स्थिर वातावरण प्रदान कर सकता है।
दूसरा, स्थिरता आयाम
1. स्थिर संरचना और कंपन प्रतिरोध: लाखों वर्षों की भूवैज्ञानिक प्रक्रियाओं के बाद ग्रेनाइट की आंतरिक संरचना सघन और एकसमान होती है। एक सेमीकंडक्टर कारखाने के जटिल वातावरण में, परिधीय उपकरणों के संचालन और कर्मचारियों के आने-जाने से उत्पन्न कंपन को ग्रेनाइट आधार द्वारा प्रभावी ढंग से कम किया जाता है।
2. दीर्घकालिक उपयोग में सटीकता: अन्य सामग्रियों की तुलना में, ग्रेनाइट में उच्च कठोरता, मजबूत घिसाव प्रतिरोध होता है, और इसकी मोह्स कठोरता 6-7 तक पहुंच सकती है। बार-बार वेफर लोड करने, अनलोड करने और निरीक्षण कार्यों के दौरान ग्रेनाइट की आधार सतह आसानी से घिसती नहीं है। वास्तविक उपयोग के आंकड़ों के अनुसार, ग्रेनाइट आधारित परीक्षण टेबल के निरंतर उपयोग के 5000 घंटे बाद भी, समतलता और सीधापन की सटीकता प्रारंभिक सटीकता के 98% से अधिक बनी रहती है, जिससे आधार के घिसाव के कारण उपकरण के नियमित अंशांकन और रखरखाव की आवश्यकता कम हो जाती है, व्यावसायिक परिचालन लागत कम हो जाती है और परीक्षण कार्य की दीर्घकालिक स्थिरता सुनिश्चित होती है।

तीसरा, स्वच्छ और हस्तक्षेप-विरोधी आयाम
1. कम धूल उत्पादन: सेमीकंडक्टर निर्माण वातावरण को अत्यधिक स्वच्छ होना आवश्यक है, और ग्रेनाइट सामग्री स्वयं स्थिर होती है और धूल के कण आसानी से उत्पन्न नहीं करती है। परीक्षण प्लेटफॉर्म के संचालन के दौरान, आधार से उत्पन्न धूल को वेफर को प्रदूषित करने से रोका जाता है, जिससे धूल के कणों के कारण होने वाले शॉर्ट सर्किट और ओपन सर्किट का खतरा कम हो जाता है। धूल रहित कार्यशाला के वेफर निरीक्षण क्षेत्र में, ग्रेनाइट आधार निरीक्षण टेबल के आसपास धूल की सांद्रता को हमेशा अत्यंत निम्न स्तर पर नियंत्रित किया जाता है, जो सेमीकंडक्टर उद्योग की सख्त स्वच्छता आवश्यकताओं को पूरा करता है।
2. चुंबकीय हस्तक्षेप नहीं: जांच उपकरण विद्युत चुम्बकीय वातावरण के प्रति संवेदनशील होता है, और ग्रेनाइट एक गैर-चुंबकीय पदार्थ है, जो जांच उपकरण के इलेक्ट्रॉनिक सिग्नल में कोई बाधा नहीं डालता। इलेक्ट्रॉन बीम डिटेक्शन और अन्य परीक्षण तकनीकों में, जिनमें अत्यधिक उच्च विद्युत चुम्बकीय वातावरण की आवश्यकता होती है, ग्रेनाइट बेस जांच उपकरण के इलेक्ट्रॉनिक सिग्नल के स्थिर संचरण को सुनिश्चित करता है और परीक्षण परिणामों की सटीकता को बढ़ाता है। उदाहरण के लिए, जब वेफर का उच्च-सटीक विद्युत प्रदर्शन परीक्षण किया जाता है, तो गैर-चुंबकीय ग्रेनाइट बेस जांच धारा और वोल्टेज सिग्नल में हस्तक्षेप से बचाता है, जिससे जांच डेटा वेफर की विद्युत विशेषताओं को सही ढंग से दर्शाता है।