सेमीकंडक्टर उद्योग में, चिप की गुणवत्ता और प्रदर्शन सुनिश्चित करने के लिए वेफर निरीक्षण एक महत्वपूर्ण कड़ी है, और निरीक्षण तालिका की सटीकता और स्थिरता, पहचान परिणामों में निर्णायक भूमिका निभाती है। ग्रेनाइट बेस अपनी अनूठी विशेषताओं के साथ, सेमीकंडक्टर वेफर निरीक्षण तालिका के लिए आदर्श विकल्प बन गया है। निम्नलिखित बहुआयामी विश्लेषण आपके लिए उपयोगी होगा।
सबसे पहले, परिशुद्धता गारंटी आयाम
1. अति-उच्च समतलता और सीधापन: ग्रेनाइट बेस को उन्नत प्रसंस्करण तकनीक द्वारा संसाधित किया जाता है, और समतलता ±0.001 मिमी/मी या उससे भी अधिक सटीकता तक पहुँच सकती है, और सीधापन भी उत्कृष्ट होता है। वेफर निरीक्षण प्रक्रिया में, उच्च-परिशुद्धता वाला समतल वेफर को स्थिर सहारा प्रदान करता है और निरीक्षण उपकरण की जांच और वेफर सतह पर सोल्डर जोड़ों के बीच सटीक संपर्क सुनिश्चित करता है।
2. तापीय प्रसार का अत्यंत निम्न गुणांक: अर्धचालक निर्माण तापमान परिवर्तनों के प्रति संवेदनशील होता है, और ग्रेनाइट का तापीय प्रसार गुणांक अत्यंत निम्न होता है, आमतौर पर लगभग 5×10⁻⁶/℃। जब संसूचन प्लेटफ़ॉर्म चल रहा होता है, तब भी परिवेश के तापमान में उतार-चढ़ाव होने पर भी ग्रेनाइट आधार के आकार में बहुत कम परिवर्तन होता है। उदाहरण के लिए, गर्मियों में उच्च-तापमान कार्यशाला में, सामान्य धातु आधार संसूचन प्लेटफ़ॉर्म का तापमान वेफर और संसूचन उपकरण की सापेक्ष स्थिति को स्थानांतरित कर सकता है, जिससे संसूचन सटीकता प्रभावित होती है; ग्रेनाइट आधार संसूचन प्लेटफ़ॉर्म स्थिरता बनाए रख सकता है, संसूचन प्रक्रिया के दौरान वेफर और संसूचन उपकरण की सापेक्ष स्थिति सटीकता सुनिश्चित कर सकता है, और उच्च-सटीक संसूचन के लिए एक स्थिर वातावरण प्रदान कर सकता है।
दूसरा, स्थिरता आयाम
1. स्थिर संरचना और कंपन प्रतिरोध: लाखों वर्षों की भूवैज्ञानिक प्रक्रियाओं के बाद, ग्रेनाइट की आंतरिक संरचना सघन और एकसमान है। अर्धचालक कारखाने के जटिल वातावरण में, परिधीय उपकरणों के संचालन और आसपास घूमने वाले कर्मचारियों द्वारा उत्पन्न कंपन को ग्रेनाइट आधार द्वारा प्रभावी रूप से कम किया जाता है।
2. दीर्घकालिक उपयोग सटीकता: अन्य सामग्रियों की तुलना में, ग्रेनाइट में उच्च कठोरता, मजबूत घिसाव प्रतिरोध और मोहस कठोरता 6-7 तक पहुँच सकती है। ग्रेनाइट बेस सतह बार-बार वेफर लोडिंग, अनलोडिंग और निरीक्षण कार्यों के दौरान आसानी से घिसती नहीं है। डेटा सांख्यिकी के वास्तविक उपयोग के अनुसार, ग्रेनाइट बेस परीक्षण तालिका का उपयोग, 5000 घंटे के निरंतर संचालन के बाद भी, समतलता और सीधापन सटीकता प्रारंभिक सटीकता के 98% से अधिक पर बनाए रखी जा सकती है, जिससे नियमित अंशांकन और रखरखाव के समय के कारण बेस के घिसाव के कारण उपकरणों को होने वाले नुकसान को कम किया जा सकता है, व्यावसायिक परिचालन लागत को कम किया जा सकता है और परीक्षण कार्य की दीर्घकालिक स्थिरता सुनिश्चित की जा सकती है।
तीसरा, स्वच्छ और हस्तक्षेप-विरोधी आयाम
1. कम धूल उत्पादन: अर्धचालक निर्माण वातावरण अत्यधिक स्वच्छ होना चाहिए, और ग्रेनाइट सामग्री स्वयं स्थिर हो और धूल के कण उत्पन्न करना आसान न हो। परीक्षण प्लेटफ़ॉर्म के संचालन के दौरान, आधार द्वारा उत्पन्न धूल को वेफर को प्रदूषित करने से बचाया जाता है, और धूल कणों के कारण होने वाले शॉर्ट सर्किट और ओपन सर्किट के जोखिम को कम किया जाता है। धूल-मुक्त कार्यशाला के वेफर निरीक्षण क्षेत्र में, ग्रेनाइट आधार निरीक्षण तालिका के चारों ओर धूल की सांद्रता को हमेशा अत्यंत निम्न स्तर पर नियंत्रित किया जाता है, जो अर्धचालक उद्योग की कठोर स्वच्छता आवश्यकताओं को पूरा करता है।
2. चुंबकीय हस्तक्षेप नहीं: संसूचन उपकरण विद्युत चुम्बकीय वातावरण के प्रति संवेदनशील होता है, और ग्रेनाइट एक गैर-चुंबकीय पदार्थ है, जो संसूचन उपकरण के इलेक्ट्रॉनिक सिग्नल में हस्तक्षेप नहीं करेगा। इलेक्ट्रॉन बीम संसूचन और अन्य परीक्षण तकनीकों में, जिनमें अत्यधिक उच्च विद्युत चुम्बकीय वातावरण की आवश्यकता होती है, ग्रेनाइट बेस संसूचन उपकरण के इलेक्ट्रॉनिक सिग्नल के स्थिर संचरण को सुनिश्चित करता है और परीक्षण परिणामों की सटीकता सुनिश्चित करता है। उदाहरण के लिए, जब वेफर का उच्च-सटीक विद्युत प्रदर्शन के लिए परीक्षण किया जाता है, तो गैर-चुंबकीय ग्रेनाइट बेस संसूचन धारा और वोल्टेज संकेतों में हस्तक्षेप से बचाता है, जिससे संसूचन डेटा वास्तव में वेफर की विद्युत विशेषताओं को दर्शाता है।
पोस्ट करने का समय: मार्च-31-2025