अर्धचालक वेफर परीक्षण तालिका के लिए ग्रेनाइट आधार चुनने का लाभ।


सेमीकंडक्टर उद्योग में, वेफर निरीक्षण चिप की गुणवत्ता और प्रदर्शन सुनिश्चित करने के लिए एक महत्वपूर्ण कड़ी है, और निरीक्षण तालिका की सटीकता और स्थिरता पता लगाने के परिणामों में निर्णायक भूमिका निभाती है। ग्रेनाइट बेस अपनी अनूठी विशेषताओं के साथ, सेमीकंडक्टर वेफर निरीक्षण तालिका के लिए आदर्श विकल्प बन गया है, आपके लिए बहुआयामी विश्लेषण से निम्नलिखित।

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सबसे पहले, परिशुद्धता गारंटी आयाम
1. अल्ट्रा-हाई फ्लैटनेस और स्ट्रेटनेस: ग्रेनाइट बेस को उन्नत प्रसंस्करण तकनीक द्वारा संसाधित किया जाता है, और फ्लैटनेस ± 0.001 मिमी / मी या उससे भी अधिक सटीकता तक पहुंच सकता है, और स्ट्रेटनेस भी उत्कृष्ट है। वेफर निरीक्षण प्रक्रिया में, उच्च परिशुद्धता विमान वेफर के लिए स्थिर समर्थन प्रदान करता है और निरीक्षण उपकरण की जांच और वेफर सतह पर मिलाप जोड़ों के बीच सटीक संपर्क सुनिश्चित करता है।
2. थर्मल विस्तार का बहुत कम गुणांक: अर्धचालक विनिर्माण तापमान परिवर्तनों के प्रति संवेदनशील है, और ग्रेनाइट के थर्मल विस्तार का गुणांक बेहद कम है, आमतौर पर लगभग 5 × 10⁻⁶ / ℃। जब डिटेक्शन प्लेटफॉर्म चल रहा होता है, भले ही परिवेश का तापमान उतार-चढ़ाव हो, ग्रेनाइट बेस का आकार बहुत कम बदलता है। उदाहरण के लिए, गर्मियों में उच्च तापमान वाली कार्यशाला में, सामान्य धातु आधार डिटेक्शन प्लेटफॉर्म का तापमान वेफर और डिटेक्शन उपकरण की सापेक्ष स्थिति को स्थानांतरित करने का कारण बन सकता है, जिससे डिटेक्शन सटीकता प्रभावित होती है; ग्रेनाइट बेस डिटेक्शन प्लेटफॉर्म स्थिरता बनाए रख सकता है, डिटेक्शन प्रक्रिया के दौरान वेफर और डिटेक्शन उपकरण की सापेक्ष स्थिति सटीकता सुनिश्चित कर सकता है, और उच्च परिशुद्धता डिटेक्शन के लिए एक स्थिर वातावरण प्रदान कर सकता है।
दूसरा, स्थिरता आयाम
1. स्थिर संरचना और कंपन प्रतिरोध: लाखों वर्षों की भूवैज्ञानिक प्रक्रियाओं के बाद ग्रेनाइट की आंतरिक संरचना घनी और एक समान है। अर्धचालक कारखाने के जटिल वातावरण में, परिधीय उपकरणों और आसपास चलने वाले कर्मियों के संचालन से उत्पन्न कंपन को ग्रेनाइट बेस द्वारा प्रभावी रूप से कम किया जाता है।
2. दीर्घकालिक उपयोग सटीकता: अन्य सामग्रियों की तुलना में, ग्रेनाइट में उच्च कठोरता, मजबूत पहनने का प्रतिरोध होता है, और मोहस कठोरता 6-7 तक पहुंच सकती है। ग्रेनाइट बेस सतह लगातार वेफर लोडिंग, अनलोडिंग और निरीक्षण कार्यों के दौरान आसानी से खराब नहीं होती है। डेटा सांख्यिकी के वास्तविक उपयोग के अनुसार, ग्रेनाइट बेस परीक्षण तालिका का उपयोग, 5000 घंटों के बाद निरंतर संचालन, समतलता और सीधापन सटीकता अभी भी प्रारंभिक सटीकता के 98% से अधिक पर बनाए रखा जा सकता है, नियमित अंशांकन और रखरखाव के समय के कारण आधार के पहनने के कारण उपकरण को कम करना, व्यवसाय संचालन लागत को कम करना, परीक्षण कार्य की दीर्घकालिक स्थिरता सुनिश्चित करना।

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तीसरा, स्वच्छ और हस्तक्षेप विरोधी आयाम
1. कम धूल उत्पादन: सेमीकंडक्टर विनिर्माण वातावरण को अत्यधिक साफ-सुथरा होना चाहिए, और ग्रेनाइट सामग्री स्वयं स्थिर है और धूल के कणों का उत्पादन करना आसान नहीं है। परीक्षण प्लेटफ़ॉर्म के संचालन के दौरान, आधार द्वारा उत्पन्न धूल को वेफ़र को प्रदूषित करने से बचाया जाता है, और धूल के कणों के कारण शॉर्ट सर्किट और ओपन सर्किट का जोखिम कम हो जाता है। धूल-मुक्त कार्यशाला के वेफ़र निरीक्षण क्षेत्र में, ग्रेनाइट बेस निरीक्षण तालिका के चारों ओर धूल की सांद्रता को हमेशा बेहद कम स्तर पर नियंत्रित किया जाता है, जो सेमीकंडक्टर उद्योग की सख्त सफाई आवश्यकताओं को पूरा करता है।
2. कोई चुंबकीय हस्तक्षेप नहीं: पता लगाने वाले उपकरण विद्युत चुम्बकीय वातावरण के प्रति संवेदनशील होते हैं, और ग्रेनाइट एक गैर-चुंबकीय पदार्थ है, जो पता लगाने वाले उपकरण के इलेक्ट्रॉनिक सिग्नल में हस्तक्षेप नहीं करेगा। इलेक्ट्रॉन बीम डिटेक्शन और अन्य परीक्षण तकनीकों के उपयोग में जिन्हें अत्यधिक उच्च विद्युत चुम्बकीय वातावरण की आवश्यकता होती है, ग्रेनाइट बेस डिटेक्शन उपकरण के इलेक्ट्रॉनिक सिग्नल के स्थिर संचरण को सुनिश्चित करता है और परीक्षण परिणामों की सटीकता सुनिश्चित करता है। उदाहरण के लिए, जब वेफर को उच्च-सटीक विद्युत प्रदर्शन के लिए परीक्षण किया जाता है, तो गैर-चुंबकीय ग्रेनाइट बेस डिटेक्शन करंट और वोल्टेज सिग्नल के साथ हस्तक्षेप से बचता है, ताकि डिटेक्शन डेटा वास्तव में वेफर की विद्युत विशेषताओं को दर्शाता हो।

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पोस्ट करने का समय: मार्च-31-2025