ग्रेनाइट एक प्रकार की कठोर चट्टान है जो अर्धचालक निर्माण उद्योग में एक अनिवार्य सामग्री बन गई है। इसके गुण इसे उच्च तापमान का सामना करने में सक्षम बनाते हैं, जो इसे अर्धचालक उपकरण निर्माण प्रक्रियाओं के विभिन्न चरणों में उपयोग के लिए आदर्श बनाता है। परिणामस्वरूप, ग्रेनाइट असेंबली ने अर्धचालक निर्माण प्रक्रिया उपकरण उत्पादों में व्यापक अनुप्रयोग क्षेत्र प्राप्त कर लिए हैं।
ग्रेनाइट असेंबली का सबसे अधिक उपयोग किया जाने वाला अनुप्रयोग उच्च-परिशुद्धता वाली मशीन-टूल संरचनाओं का निर्माण है। ग्रेनाइट की कठोरता और स्थिरता, कम या बिना किसी विकृति के सटीक और सटीक उपकरण बनाना संभव बनाती है। आयन इम्प्लांटेशन जैसी अर्धचालक निर्माण प्रक्रियाओं में इस स्तर की परिशुद्धता आवश्यक है, जहाँ बीम को वेफर पर सटीक रूप से निर्देशित किया जाना चाहिए।
अर्धचालक निर्माण में ग्रेनाइट असेंबली का एक अन्य अनुप्रयोग माप-पद्धति उपकरणों के निर्माण में है। माप-पद्धति उपकरण अर्धचालक निर्माण प्रक्रियाओं में महत्वपूर्ण होते हैं क्योंकि ये उत्पादित उपकरणों की सटीकता को मापते और सत्यापित करते हैं। ग्रेनाइट की आयामी स्थिरता, कम तापीय प्रसार और उत्कृष्ट कंपन अवमंदन गुण इसे माप-पद्धति उपकरणों के निर्माण में पसंदीदा सामग्री बनाते हैं। इसमें वेफर्स के निर्माण और निरीक्षण में उपयोग की जाने वाली बड़ी ग्रेनाइट सतहें शामिल हैं।
ऑप्टिकल टेबल, सेमीकंडक्टर उद्योग में ग्रेनाइट असेंबली के व्यापक अनुप्रयोग का एक और क्षेत्र है। ऑप्टिकल टेबल का उपयोग डेटा संचार के लिए वेवगाइड जैसे ऑप्टिकल उपकरणों के परीक्षण में किया जाता है। ग्रेनाइट की समतलता, कम तापीय प्रसार, उच्च कठोरता और यांत्रिक स्थिरता इसे प्रकाशिकी की स्थापना और स्थिति निर्धारण के लिए एक अत्यधिक स्थिर सतह प्रदान करने में सक्षम बनाती है। ग्रेनाइट ऑप्टिकल टेबल ऑप्टिकल उपकरणों के सटीक परीक्षण के लिए आवश्यक स्थिरता और कठोरता प्रदान कर सकते हैं।
ग्रेनाइट का उपयोग वेफर चक और स्टेज के निर्माण में भी होता है। अर्धचालक निर्माण प्रक्रिया के दौरान, सटीक संरेखण और स्थिति नियंत्रण अत्यंत महत्वपूर्ण है। प्रसंस्करण के दौरान वेफर चक, जो वेफर को अपनी जगह पर बनाए रखते हैं, को उच्च तापमान और निर्वात स्थितियों को सहन करते हुए भी अपनी स्थिति की सटीकता बनाए रखनी चाहिए। ग्रेनाइट में तापमान की एक विस्तृत श्रृंखला पर उत्कृष्ट आयामी स्थिरता होती है और यह निर्वात स्थितियों का सामना कर सकता है, जो इसे वेफर चक के निर्माण के लिए आदर्श बनाता है। अर्धचालक निर्माण प्रक्रिया के दौरान वेफर को एक स्थान से दूसरे स्थान पर ले जाने में प्रयुक्त स्टेज, गति के एक चक्रीय क्रम से गुजरते हैं। ग्रेनाइट असेंबली गति के निरंतर और दोहरावदार चक्रों को सहन करने के लिए आवश्यक स्थिरता और स्थायित्व प्रदान करती है।
संक्षेप में, अर्धचालक निर्माण उद्योग में ग्रेनाइट असेंबली का अनुप्रयोग व्यापक है। इसके आयामी स्थिरता, निम्न तापीय प्रसार, उच्च कठोरता और कंपन अवमंदन जैसे गुण इसे अर्धचालक उपकरण निर्माण प्रक्रियाओं के विभिन्न चरणों में उपयोग के लिए एक आदर्श सामग्री बनाते हैं। उच्च-परिशुद्धता मशीन टूल्स और मेट्रोलॉजी उपकरणों के निर्माण से लेकर ऑप्टिकल टेबल और वेफर स्टेज और चक तक, ग्रेनाइट के गुण उच्च-गुणवत्ता वाले अर्धचालक उपकरण निर्माण के लिए आवश्यक स्थिरता, सटीकता और दोहराव प्रदान करने में महत्वपूर्ण भूमिका निभाते हैं।
पोस्ट करने का समय: 06-दिसंबर-2023