अर्धचालक निर्माण: चिप निर्माण प्रक्रिया में, फोटोलिथोग्राफी प्रक्रिया को सर्किट पैटर्न को वेफर में सटीक रूप से स्थानांतरित करने की आवश्यकता होती है। एकल-अक्ष वायु-तैरने वाले अति-सटीक गति मॉड्यूल का ग्रेनाइट आधार लिथोग्राफी उपकरण में वेफर टेबल के लिए उच्च-सटीक स्थिति निर्धारण और स्थिर समर्थन प्रदान कर सकता है। उदाहरण के लिए, ASML और अन्य अंतरराष्ट्रीय स्तर पर प्रसिद्ध लिथोग्राफी मशीन निर्माता अपने उच्च-स्तरीय उपकरणों में ग्रेनाइट-आधारित वायु-तैरने वाले गति मॉड्यूल का उपयोग करते हैं, जो नैनोमीटर स्तर पर वेफर की स्थिति निर्धारण सटीकता को नियंत्रित कर सकते हैं ताकि लिथोग्राफी पैटर्न की सटीकता सुनिश्चित हो सके, जिससे चिप के एकीकरण और प्रदर्शन में सुधार हो सके।
परिशुद्धता मापन क्षेत्र: सीएमएम एक परिशुद्धता मापन उपकरण है जिसका उपयोग आमतौर पर औद्योगिक उत्पादन में किया जाता है, जिसका उपयोग वर्कपीस के आकार, आकृति और स्थिति की सटीकता को मापने के लिए किया जाता है। ग्रेनाइट बेस पर एकल-अक्ष एयर फ्लोट के अति-परिशुद्धता गति मॉड्यूल का उपयोग सीएमएम के गति प्लेटफ़ॉर्म के रूप में किया जा सकता है, जो उच्च-परिशुद्धता रैखिक गति को साकार कर सकता है और मापन जांच के लिए एक स्थिर गति प्रक्षेप पथ प्रदान कर सकता है। उदाहरण के लिए, हेक्सागन का उच्च-स्तरीय सीएमएम इस संयोजन का उपयोग बड़े और जटिल भागों को माइक्रोन स्तर तक की माप सटीकता के साथ मापने के लिए करता है, जो ऑटोमोटिव, एयरोस्पेस और अन्य उद्योगों में भागों की गुणवत्ता नियंत्रण के लिए एक मजबूत गारंटी प्रदान करता है।
एयरोस्पेस क्षेत्र: एयरोस्पेस भागों के प्रसंस्करण और परीक्षण में उच्च परिशुद्धता की आवश्यकता होती है। उदाहरण के लिए, विमान इंजन ब्लेड की मशीनिंग के लिए ब्लेड प्रोफ़ाइल की सटीकता सुनिश्चित करने हेतु उपकरण के गति प्रक्षेप पथ के सटीक नियंत्रण की आवश्यकता होती है। एकल-अक्ष एयर फ्लोट अल्ट्रा-प्रिसिजन मोशन मॉड्यूल के ग्रेनाइट बेस का उपयोग पाँच-अक्ष मशीनिंग केंद्र और अन्य उपकरणों पर उपकरण के लिए उच्च-परिशुद्धता गति नियंत्रण प्रदान करने और यह सुनिश्चित करने के लिए किया जा सकता है कि ब्लेड की मशीनिंग परिशुद्धता डिज़ाइन आवश्यकताओं को पूरा कर सके। साथ ही, एयरो इंजन की असेंबली प्रक्रिया में, भागों की असेंबली परिशुद्धता का पता लगाने के लिए उच्च-परिशुद्धता माप उपकरणों का उपयोग करना भी आवश्यक है। ग्रेनाइट बेस का एयर फ्लोटिंग मोशन मॉड्यूल माप उपकरणों को स्थिर समर्थन और सटीक गति प्रदान कर सकता है, जिससे असेंबली गुणवत्ता सुनिश्चित होती है।
ऑप्टिकल निरीक्षण क्षेत्र: ऑप्टिकल घटकों के निर्माण और परीक्षण प्रक्रिया में, ऑप्टिकल घटकों की उच्च-सटीक स्थिति निर्धारण और मापन आवश्यक है। उदाहरण के लिए, दर्पण और लेंस जैसे उच्च-सटीक ऑप्टिकल घटकों के निर्माण में, सतह के आकार की सटीकता का पता लगाने के लिए इंटरफेरोमीटर और अन्य उपकरणों का उपयोग करना आवश्यक है। एकल-अक्षीय वायु-तैरने वाले अति-सटीक गति मॉड्यूल के ग्रेनाइट आधार का उपयोग इंटरफेरोमीटर के गति मंच के रूप में किया जा सकता है, जो उप-माइक्रोन स्थिति निर्धारण सटीकता प्राप्त कर सकता है और ऑप्टिकल घटकों का पता लगाने के लिए सटीक डेटा समर्थन प्रदान कर सकता है। इसके अलावा, लेज़र प्रसंस्करण उपकरणों में, लेज़र बीम के स्कैनिंग प्रक्षेप पथ को नियंत्रित करने के लिए एक उच्च-सटीक गति मंच का उपयोग करना भी आवश्यक है। वायु-तैरने वाले गति मॉड्यूल का ग्रेनाइट आधार इस आवश्यकता को पूरा कर सकता है और उच्च-सटीक लेज़र प्रसंस्करण प्राप्त कर सकता है।
पोस्ट करने का समय: अप्रैल-07-2025