ग्रेनाइट बेस का उपयोग कर एकल अक्ष एयर फ्लोट अल्ट्रा परिशुद्धता गति मॉड्यूल का अनुप्रयोग क्षेत्र।

सेमीकंडक्टर निर्माण: चिप निर्माण प्रक्रिया में, फोटोलिथोग्राफी प्रक्रिया को सर्किट पैटर्न को वेफर में सटीक रूप से स्थानांतरित करने की आवश्यकता होती है। सिंगल एक्सिस एयर फ्लोटिंग अल्ट्रा-प्रिसिजन मोशन मॉड्यूल का ग्रेनाइट बेस लिथोग्राफी उपकरण में वेफर टेबल के लिए उच्च परिशुद्धता स्थिति और स्थिर समर्थन प्रदान कर सकता है। उदाहरण के लिए, ASML और अन्य अंतरराष्ट्रीय स्तर पर प्रसिद्ध लिथोग्राफी मशीन निर्माता अपने उच्च-अंत उपकरणों में ग्रेनाइट बेस एयर फ्लोटिंग मोशन मॉड्यूल का उपयोग करते हैं, जो लिथोग्राफी पैटर्न की सटीकता सुनिश्चित करने के लिए नैनोमीटर स्तर पर वेफर की स्थिति सटीकता को नियंत्रित कर सकते हैं, जिससे चिप के एकीकरण और प्रदर्शन में सुधार होता है।
परिशुद्धता माप क्षेत्र: सीएमएम एक परिशुद्धता माप उपकरण है जिसका उपयोग आमतौर पर औद्योगिक उत्पादन में किया जाता है, जिसका उपयोग वर्कपीस के आकार, आकार और स्थिति की सटीकता को मापने के लिए किया जाता है। ग्रेनाइट बेस पर सिंगल एक्सिस एयर फ्लोट के अल्ट्रा-प्रिसिजन मोशन मॉड्यूल का उपयोग सीएमएम के मोशन प्लेटफॉर्म के रूप में किया जा सकता है, जो उच्च परिशुद्धता रैखिक गति का एहसास कर सकता है और मापने वाले जांच के लिए एक स्थिर गति प्रक्षेपवक्र प्रदान कर सकता है। उदाहरण के लिए, हेक्सागन का उच्च-स्तरीय सीएमएम इस संयोजन का उपयोग माइक्रोन स्तर तक मापने की सटीकता के साथ बड़े और जटिल भागों को मापने के लिए करता है, जो ऑटोमोटिव, एयरोस्पेस और अन्य उद्योगों में भागों की गुणवत्ता नियंत्रण के लिए एक मजबूत गारंटी प्रदान करता है।
एयरोस्पेस क्षेत्र: एयरोस्पेस भागों के प्रसंस्करण और परीक्षण में, उच्च परिशुद्धता की आवश्यकता होती है। उदाहरण के लिए, विमान इंजन ब्लेड की मशीनिंग के लिए ब्लेड प्रोफ़ाइल की सटीकता सुनिश्चित करने के लिए उपकरण की गति प्रक्षेपवक्र के सटीक नियंत्रण की आवश्यकता होती है। एकल अक्ष एयर फ्लोट अल्ट्रा-प्रिसिजन मोशन मॉड्यूल के ग्रेनाइट बेस को उपकरण के लिए उच्च-सटीक गति नियंत्रण प्रदान करने और यह सुनिश्चित करने के लिए पांच-अक्ष मशीनिंग केंद्र और अन्य उपकरणों पर लागू किया जा सकता है कि ब्लेड की मशीनिंग सटीकता डिजाइन आवश्यकताओं को पूरा कर सकती है। साथ ही, एयरो इंजन की असेंबली प्रक्रिया में, भागों की असेंबली सटीकता का पता लगाने के लिए उच्च-सटीक माप उपकरणों का उपयोग करना भी आवश्यक है। ग्रेनाइट बेस का एयर फ्लोटिंग मोशन मॉड्यूल असेंबली गुणवत्ता सुनिश्चित करने के लिए मापने वाले उपकरणों के लिए स्थिर समर्थन और सटीक गति प्रदान कर सकता है।
ऑप्टिकल निरीक्षण क्षेत्र: ऑप्टिकल घटकों के निर्माण और परीक्षण प्रक्रिया में, ऑप्टिकल घटकों की उच्च-सटीक स्थिति और माप करना आवश्यक है। उदाहरण के लिए, दर्पण और लेंस जैसे उच्च-सटीक ऑप्टिकल घटकों का निर्माण करते समय, सतह के आकार की सटीकता का पता लगाने के लिए इंटरफेरोमीटर और अन्य उपकरणों का उपयोग करना आवश्यक है। सिंगल एक्सिस एयर फ्लोटिंग अल्ट्रा-प्रिसिजन मोशन मॉड्यूल के ग्रेनाइट बेस का उपयोग इंटरफेरोमीटर के मूवमेंट प्लेटफॉर्म के रूप में किया जा सकता है, जो सब-माइक्रोन पोजिशनिंग सटीकता को महसूस कर सकता है और ऑप्टिकल घटकों का पता लगाने के लिए सटीक डेटा सपोर्ट प्रदान कर सकता है। इसके अलावा, लेजर प्रोसेसिंग उपकरण में, लेजर बीम के स्कैनिंग प्रक्षेपवक्र को नियंत्रित करने के लिए एक उच्च-सटीक मोशन प्लेटफॉर्म का उपयोग करना भी आवश्यक है, एयर फ्लोटिंग मोशन मॉड्यूल का ग्रेनाइट बेस इस आवश्यकता को पूरा कर सकता है, ताकि उच्च-सटीक लेजर प्रोसेसिंग प्राप्त हो सके।