ग्रेनाइट बेस का उपयोग करने वाले सिंगल एक्सिस एयर फ्लोट अल्ट्रा-प्रिसिजन मोशन मॉड्यूल का अनुप्रयोग क्षेत्र।

सेमीकंडक्टर निर्माण: चिप निर्माण प्रक्रिया में, फोटोलिथोग्राफी प्रक्रिया के लिए सर्किट पैटर्न को वेफर पर सटीक रूप से स्थानांतरित करना आवश्यक होता है। एकल अक्षीय वायु-तैरते अति-सटीक गति मॉड्यूल का ग्रेनाइट आधार लिथोग्राफी उपकरण में वेफर टेबल के लिए उच्च परिशुद्धता स्थिति निर्धारण और स्थिर समर्थन प्रदान कर सकता है। उदाहरण के लिए, ASML और अन्य अंतरराष्ट्रीय स्तर पर प्रसिद्ध लिथोग्राफी मशीन निर्माता अपने उच्च-स्तरीय उपकरणों में ग्रेनाइट आधार वाले वायु-तैरते गति मॉड्यूल का उपयोग करते हैं, जो नैनोमीटर स्तर पर वेफर की स्थिति निर्धारण सटीकता को नियंत्रित कर सकते हैं, जिससे लिथोग्राफी पैटर्न की सटीकता सुनिश्चित होती है और चिप के एकीकरण और प्रदर्शन में सुधार होता है।
सटीक मापन क्षेत्र: सीएमएम औद्योगिक उत्पादन में आमतौर पर इस्तेमाल होने वाला एक सटीक मापन उपकरण है, जिसका उपयोग वर्कपीस के आकार, आकृति और स्थिति की सटीकता को मापने के लिए किया जाता है। ग्रेनाइट बेस पर लगे सिंगल एक्सिस एयर फ्लोट का अति-सटीक मोशन मॉड्यूल सीएमएम के मोशन प्लेटफॉर्म के रूप में उपयोग किया जा सकता है, जो उच्च-सटीक रैखिक गति प्रदान करता है और मापन प्रोब के लिए एक स्थिर गति पथ सुनिश्चित करता है। उदाहरण के लिए, हेक्सागॉन का उच्च-स्तरीय सीएमएम इस संयोजन का उपयोग करके बड़े और जटिल पुर्जों को माइक्रोन स्तर तक की मापन सटीकता के साथ मापता है, जिससे ऑटोमोटिव, एयरोस्पेस और अन्य उद्योगों में पुर्जों की गुणवत्ता नियंत्रण की मजबूत गारंटी मिलती है।
एयरोस्पेस क्षेत्र: एयरोस्पेस पुर्जों के प्रसंस्करण और परीक्षण में उच्च परिशुद्धता आवश्यक है। उदाहरण के लिए, विमान इंजन ब्लेड की मशीनिंग में ब्लेड के आकार की सटीकता सुनिश्चित करने के लिए उपकरण की गति पथ पर सटीक नियंत्रण की आवश्यकता होती है। एकल अक्षीय वायु-प्रवाह अति-परिशुद्धता गति मॉड्यूल का ग्रेनाइट आधार पांच-अक्षीय मशीनिंग केंद्र और अन्य उपकरणों में उपयोग किया जा सकता है, जिससे उपकरण के लिए उच्च-परिशुद्धता गति नियंत्रण प्रदान किया जा सके और यह सुनिश्चित किया जा सके कि ब्लेड की मशीनिंग सटीकता डिज़ाइन आवश्यकताओं को पूरा करती है। साथ ही, एयरो इंजन की असेंबली प्रक्रिया में, पुर्जों की असेंबली सटीकता का पता लगाने के लिए उच्च-परिशुद्धता मापन उपकरणों का उपयोग करना भी आवश्यक है। ग्रेनाइट आधार वाला वायु-प्रवाह गति मॉड्यूल मापन उपकरणों को स्थिर सहारा और सटीक गति प्रदान करता है, जिससे असेंबली की गुणवत्ता सुनिश्चित होती है।
ऑप्टिकल निरीक्षण क्षेत्र: ऑप्टिकल घटकों के निर्माण और परीक्षण प्रक्रिया में, ऑप्टिकल घटकों की उच्च परिशुद्धता स्थिति निर्धारण और मापन आवश्यक है। उदाहरण के लिए, दर्पण और लेंस जैसे उच्च परिशुद्धता वाले ऑप्टिकल घटकों के निर्माण के दौरान, सतह के आकार की सटीकता का पता लगाने के लिए इंटरफेरोमीटर और अन्य उपकरणों का उपयोग करना आवश्यक है। एकल अक्षीय वायु-तैरने वाले अति-परिशुद्धता गति मॉड्यूल का ग्रेनाइट आधार इंटरफेरोमीटर के गति मंच के रूप में उपयोग किया जा सकता है, जो उप-माइक्रोन स्थिति निर्धारण सटीकता को प्राप्त कर सकता है और ऑप्टिकल घटकों के पता लगाने के लिए सटीक डेटा सहायता प्रदान कर सकता है। इसके अतिरिक्त, लेजर प्रसंस्करण उपकरण में, लेजर बीम के स्कैनिंग पथ को नियंत्रित करने के लिए उच्च परिशुद्धता गति मंच का उपयोग करना भी आवश्यक है, वायु-तैरने वाले गति मॉड्यूल का ग्रेनाइट आधार इस आवश्यकता को पूरा कर सकता है, जिससे उच्च परिशुद्धता लेजर प्रसंस्करण प्राप्त किया जा सकता है।