ग्रेनाइट घटकों का व्यापक रूप से सेमीकंडक्टर विनिर्माण प्रक्रिया में उनकी उत्कृष्ट विशेषताओं जैसे बेहतर सतह खत्म, उच्च कठोरता और उत्कृष्ट कंपन भिगोना के कारण उपयोग किया गया है। सेमीकंडक्टर फैब्रिकेशन उपकरणों के लिए ग्रेनाइट घटक आवश्यक हैं, जिनमें लिथोग्राफी मशीन, पॉलिशिंग मशीन और मेट्रोलॉजी सिस्टम शामिल हैं क्योंकि वे विनिर्माण प्रक्रिया के दौरान सटीक स्थिति और स्थिरता प्रदान करते हैं। ग्रेनाइट घटकों का उपयोग करने के सभी लाभों के बावजूद, उनके पास दोष भी हैं। इस लेख में, हम अर्धचालक विनिर्माण प्रक्रिया उत्पादों के लिए ग्रेनाइट घटकों के दोषों पर चर्चा करेंगे।
सबसे पहले, ग्रेनाइट घटकों में एक उच्च थर्मल विस्तार गुणांक होता है। इसका मतलब है कि वे थर्मल तनाव के तहत महत्वपूर्ण रूप से विस्तार करते हैं, जो विनिर्माण प्रक्रिया के दौरान मुद्दों का कारण बन सकता है। अर्धचालक विनिर्माण प्रक्रिया के लिए उच्च सटीकता और आयामी सटीकता की आवश्यकता होती है जिसे थर्मल तनाव के कारण समझौता किया जा सकता है। उदाहरण के लिए, थर्मल विस्तार के कारण सिलिकॉन वेफर विरूपण लिथोग्राफी के दौरान संरेखण मुद्दों का कारण बन सकता है, जो अर्धचालक डिवाइस की गुणवत्ता से समझौता कर सकता है।
दूसरा, ग्रेनाइट घटकों में पोरसिटी दोष होते हैं जो अर्धचालक विनिर्माण प्रक्रिया में वैक्यूम लीक का कारण बन सकते हैं। सिस्टम में हवा या किसी अन्य गैस की उपस्थिति वेफर की सतह पर संदूषण का कारण बन सकती है, जिसके परिणामस्वरूप दोष से अर्धचालक डिवाइस के प्रदर्शन को प्रभावित कर सकता है। अर्गन और हीलियम जैसी अक्रिय गैसें झरझरा ग्रेनाइट घटकों में रिस सकती हैं और गैस के बुलबुले बना सकती हैं जो वैक्यूम प्रक्रिया की अखंडता में हस्तक्षेप कर सकती हैं।
तीसरा, ग्रेनाइट घटकों में माइक्रोफ्रेक्चर होते हैं जो विनिर्माण प्रक्रिया की सटीकता के साथ हस्तक्षेप कर सकते हैं। ग्रेनाइट एक भंगुर सामग्री है जो समय के साथ माइक्रोफ्रेक्चर विकसित कर सकती है, खासकर जब निरंतर तनाव चक्रों के संपर्क में। माइक्रोफ्रेक्चर की उपस्थिति से आयामी अस्थिरता हो सकती है, जिससे विनिर्माण प्रक्रिया के दौरान महत्वपूर्ण मुद्दे, जैसे कि लिथोग्राफी संरेखण या वेफर पॉलिशिंग।
चौथा, ग्रेनाइट घटकों में सीमित लचीलापन होता है। अर्धचालक विनिर्माण प्रक्रिया को लचीले उपकरणों की आवश्यकता होती है जो विभिन्न प्रक्रिया परिवर्तनों को समायोजित कर सकते हैं। हालांकि, ग्रेनाइट घटक कठोर हैं और विभिन्न प्रक्रिया परिवर्तनों के अनुकूल नहीं हो सकते हैं। इसलिए, विनिर्माण प्रक्रिया में किसी भी परिवर्तन को ग्रेनाइट घटकों को हटाने या प्रतिस्थापन की आवश्यकता होती है, जिससे डाउनटाइम और उत्पादकता को प्रभावित किया जाता है।
पांचवें, ग्रेनाइट घटकों को अपने वजन और नाजुकता के कारण विशेष हैंडलिंग और परिवहन की आवश्यकता होती है। ग्रेनाइट एक घनी और भारी सामग्री है जिसमें विशेष हैंडलिंग उपकरण जैसे कि क्रेन और भारोत्तोलक की आवश्यकता होती है। इसके अतिरिक्त, ग्रेनाइट घटकों को शिपमेंट के दौरान क्षति को रोकने के लिए सावधानीपूर्वक पैकिंग और परिवहन की आवश्यकता होती है, जिससे अतिरिक्त लागत और समय होता है।
अंत में, ग्रेनाइट घटकों में कुछ कमियां होती हैं जो अर्धचालक विनिर्माण प्रक्रिया उत्पादों की गुणवत्ता और उत्पादकता को प्रभावित कर सकती हैं। इन दोषों को ग्रेनाइट घटकों के सावधानीपूर्वक हैंडलिंग और रखरखाव के माध्यम से कम से कम किया जा सकता है, जिसमें माइक्रोफ्रेक्चर और पोरसिटी दोषों के लिए आवधिक निरीक्षण, संदूषण को रोकने के लिए उचित सफाई, और परिवहन के दौरान सावधानीपूर्वक हैंडलिंग शामिल हैं। दोषों के बावजूद, ग्रेनाइट घटक अपनी बेहतर सतह खत्म, उच्च कठोरता और उत्कृष्ट कंपन भिगोना के कारण अर्धचालक विनिर्माण प्रक्रिया का एक महत्वपूर्ण हिस्सा बने हुए हैं।
पोस्ट टाइम: DEC-05-2023