परिशुद्ध हाइड्रोस्टेटिक वायु फ्लोटिंग मूवमेंट प्लेटफॉर्म की "अदृश्य ढाल": ग्रेनाइट परिशुद्धता आधार की कठोर पर्यावरणीय आवश्यकताएं।

उच्च-स्तरीय विनिर्माण और अत्याधुनिक वैज्ञानिक अनुसंधान के क्षेत्र में, सटीक स्थैतिक दाब वायु-तैरता गति मंच अति-सटीक संचालन प्राप्त करने के लिए एक प्रमुख उपकरण है। ग्रेनाइट परिशुद्धता आधार मंच का मुख्य सहायक भाग है, और इसका प्रदर्शन कार्य वातावरण से निकटता से संबंधित है। इन पर्यावरणीय आवश्यकताओं को समझना और पूरा करना न केवल मंच के उच्च-सटीक संचालन को सुनिश्चित कर सकता है, बल्कि संबंधित क्षेत्रों में उद्यम की प्रतिस्पर्धात्मकता को बढ़ाने में भी एक महत्वपूर्ण भूमिका निभा सकता है, जिसका विवरण नीचे विस्तार से दिया गया है।

1. तापमान: आयामी स्थिरता सुनिश्चित करने के लिए सटीक नियंत्रण
यद्यपि ग्रेनाइट अपनी स्थिरता के लिए जाना जाता है, इसका तापीय प्रसार गुणांक शून्य नहीं है, और तापमान में मामूली परिवर्तन भी इसकी आयामी सटीकता को प्रभावित कर सकते हैं। सामान्यतया, ग्रेनाइट का तापीय प्रसार गुणांक 5-7 × 10⁻⁶/℃ होता है। सटीक स्थैतिक दाब वायु फ़्लोटिंग मूवमेंट प्लेटफ़ॉर्म के अनुप्रयोग परिदृश्य में, यह मामूली परिवर्तन प्लेटफ़ॉर्म द्वारा प्रवर्धित होता है, जिससे मूवमेंट सटीकता में विचलन हो सकता है। उदाहरण के लिए, अर्धचालक चिप निर्माण प्रक्रिया में, लिथोग्राफी प्रक्रिया में स्थिति सटीकता आवश्यकताओं के लिए दानामी स्तर, 1°C के परिवेश तापमान में उतार-चढ़ाव, 1 मीटर ग्रेनाइट बेस की पार्श्व लंबाई 5-7 माइक्रोन का रैखिक विस्तार या संकुचन उत्पन्न कर सकती है, जो चिप लिथोग्राफी पैटर्न विचलन बनाने और उपज को कम करने के लिए पर्याप्त है। इसलिए, ग्रेनाइट परिशुद्धता आधार से सुसज्जित सटीक स्थैतिक दबाव वायु फ़्लोटिंग प्लेटफ़ॉर्म, आदर्श कार्य वातावरण तापमान को 20 डिग्री सेल्सियस ± 1 डिग्री सेल्सियस पर सख्ती से नियंत्रित किया जाना चाहिए, उद्यम उच्च परिशुद्धता निरंतर तापमान एयर कंडीशनिंग सिस्टम स्थापित कर सकते हैं, लगातार निगरानी और सटीक रूप से परिवेश के तापमान को समायोजित कर सकते हैं, ग्रेनाइट बेस स्थिरता के आकार को बनाए रख सकते हैं, यह सुनिश्चित करने के लिए कि मंच उच्च परिशुद्धता संचालन।
2. आर्द्रता: उचित नियंत्रण, आधार प्रदर्शन की रक्षा
परिशुद्ध ग्रेनाइट बेस पर आर्द्रता का भी महत्वपूर्ण प्रभाव पड़ता है। उच्च आर्द्रता वाले वातावरण में, ग्रेनाइट आसानी से जल वाष्प को अवशोषित कर लेता है, और सतह पर संघनन हो सकता है, जो न केवल वायु प्लवन प्रणाली के सामान्य संचालन में बाधा उत्पन्न करेगा, बल्कि ग्रेनाइट की सतह के दीर्घकालिक क्षरण का कारण भी बनेगा, जिससे इसकी सटीकता और सेवा जीवन कम हो जाएगा। ऑप्टिकल लेंस ग्राइंडिंग कार्यशाला को एक उदाहरण के रूप में लेते हुए, यदि आर्द्रता लंबे समय तक 60% सापेक्ष आर्द्रता (RH) से अधिक रहती है, तो ग्रेनाइट बेस की सतह पर अवशोषित जल वाष्प वायु प्लवन फिल्म की एकरूपता को नष्ट कर देगा, जिसके परिणामस्वरूप लेंस ग्राइंडिंग की सटीकता और सतह दोषों में कमी आएगी। इसलिए, कार्य वातावरण की सापेक्ष आर्द्रता को 40%-60% सापेक्ष आर्द्रता (RH) के बीच नियंत्रित करने की आवश्यकता है। उद्यम वास्तविक समय में आर्द्रता की निगरानी और नियंत्रण के लिए डिह्यूमिडिफायर, आर्द्रता सेंसर और अन्य उपकरणों का उपयोग कर सकते हैं, परिशुद्ध ग्रेनाइट बेस के लिए उपयुक्त आर्द्रता वातावरण बना सकते हैं, और परिशुद्ध स्थैतिक दाब वायु प्लवन गति प्लेटफ़ॉर्म के स्थिर संचालन को सुनिश्चित कर सकते हैं।

3. स्वच्छता: कड़ाई से नियंत्रण, कण हस्तक्षेप को समाप्त करना
धूल के कण सटीक स्थैतिक दाब वायु फ़्लोटिंग मूवमेंट प्लेटफ़ॉर्म के "दुश्मन" हैं और ग्रेनाइट सटीक आधार को बहुत नुकसान पहुँचाते हैं। एक बार जब ये सूक्ष्म कण गैस फ़्लोट स्लाइडर और ग्रेनाइट आधार के बीच गैस फ़िल्म गैप में प्रवेश कर जाते हैं, तो वे गैस फ़िल्म की एकरूपता को नष्ट कर सकते हैं, घर्षण बढ़ा सकते हैं, और आधार की सतह को खरोंच भी सकते हैं, जिससे प्लेटफ़ॉर्म की गति की सटीकता गंभीर रूप से प्रभावित होती है। एयरोस्पेस भागों की अति-सटीक मशीनिंग कार्यशाला में, यदि हवा में मौजूद धूल के कण ग्रेनाइट आधार पर गिरते हैं, तो मशीनिंग उपकरण का गति पथ विचलित हो सकता है, जिससे भागों की मशीनिंग सटीकता प्रभावित होती है। इसलिए, कार्य क्षेत्र को अत्यधिक स्वच्छ रखा जाना चाहिए और 10,000 या उससे भी अधिक के स्वच्छता मानक तक पहुँचना चाहिए। उद्यम उच्च दक्षता वाले वायु फ़िल्टर (HEPA) लगाकर हवा में मौजूद धूल के कणों को फ़िल्टर कर सकते हैं, और कर्मचारियों को धूल-मुक्त कपड़े, जूते के कवर आदि पहनने की आवश्यकता होती है, ताकि मनुष्यों द्वारा लाई गई धूल को कम किया जा सके, और ग्रेनाइट आधार और सटीक स्थैतिक दाब वायु फ़्लोटिंग मूवमेंट प्लेटफ़ॉर्म के उच्च-सटीक संचालन वातावरण को बनाए रखा जा सके।
4. कंपन: एक चिकनी जगह बनाने के लिए प्रभावी अलगाव
बाहरी कंपन, सटीक स्थैतिक दाब वायु फ़्लोटिंग प्लेटफ़ॉर्म की सटीकता में गंभीर रूप से बाधा डालेगा। हालाँकि सटीक ग्रेनाइट बेस में एक निश्चित कंपन क्षीणन क्षमता होती है, फिर भी उच्च शक्ति कंपन इसकी बफर सीमा को पार कर सकता है। कारखाने के आसपास के यातायात और बड़े यांत्रिक उपकरणों के संचालन से उत्पन्न कंपन ज़मीन के माध्यम से ग्रेनाइट बेस तक पहुँचता है, जो प्लेटफ़ॉर्म की गति की सटीकता में बाधा डालता है। उच्च-स्तरीय सीएमएम में, कंपन के कारण मापक जांच और मापी जाने वाली वस्तु के बीच संपर्क अस्थिर हो सकता है, जिसके परिणामस्वरूप मापन डेटा में विचलन हो सकता है। इस समस्या के समाधान के लिए, प्रभावी कंपन पृथक्करण उपायों को अपनाना आवश्यक है, जैसे कि उपकरण स्थापना क्षेत्र में कंपन पृथक्करण पैड बिछाना, कंपन पृथक्करण नींव का निर्माण करना, या सक्रिय कंपन पृथक्करण प्रणाली का उपयोग करके बाहरी कंपन को सक्रिय रूप से ऑफसेट करना, और ग्रेनाइट सटीक बेस और सटीक स्थैतिक दाब वायु फ़्लोटिंग मूवमेंट प्लेटफ़ॉर्म के लिए एक शांत और स्थिर कार्य वातावरण बनाना।
उपरोक्त पर्यावरणीय आवश्यकताओं को पूरा करते हुए, सटीक स्थैतिक दाब वायु-तैरते गति मंच में ग्रेनाइट परिशुद्धता आधार के लाभों का पूरा उपयोग सुनिश्चित करें और सुनिश्चित करें कि यह मंच विभिन्न उद्योगों के लिए उच्च-परिशुद्धता और उच्च-स्थिरता गति नियंत्रण सेवाएँ प्रदान करता है। यदि उद्यम उत्पादन वातावरण में इन विवरणों पर ध्यान दे सकें, तो वे परिशुद्धता विनिर्माण, वैज्ञानिक अनुसंधान और अन्य क्षेत्रों में अवसरों का लाभ उठा सकेंगे, अपनी प्रतिस्पर्धात्मकता बढ़ा सकेंगे और सतत विकास प्राप्त कर सकेंगे।