परिशुद्धता हाइड्रोस्टेटिक वायु फ्लोटिंग आंदोलन मंच की "अदृश्य ढाल": ग्रेनाइट परिशुद्धता आधार की कठोर पर्यावरणीय आवश्यकताएं।

उच्च-स्तरीय विनिर्माण और अत्याधुनिक वैज्ञानिक अनुसंधान के क्षेत्रों में, सटीक स्थैतिक दबाव वायु फ़्लोटिंग मूवमेंट प्लेटफ़ॉर्म अल्ट्रा-सटीक संचालन को प्राप्त करने के लिए महत्वपूर्ण उपकरण है। ग्रेनाइट सटीक आधार प्लेटफ़ॉर्म का मुख्य सहायक हिस्सा है, और इसका प्रदर्शन कार्य वातावरण से निकटता से संबंधित है। इन पर्यावरणीय आवश्यकताओं को समझना और पूरा करना न केवल प्लेटफ़ॉर्म के उच्च-सटीक संचालन को सुनिश्चित कर सकता है, बल्कि संबंधित क्षेत्रों में अपनी प्रतिस्पर्धात्मकता को बढ़ाने के लिए उद्यम का एक महत्वपूर्ण हिस्सा भी है, जिसका विवरण नीचे विस्तार से दिया गया है।

1. तापमान: आयामी स्थिरता सुनिश्चित करने के लिए सटीक नियंत्रण
यद्यपि ग्रेनाइट अपनी स्थिरता के लिए जाना जाता है, लेकिन इसका तापीय विस्तार गुणांक शून्य नहीं है, और छोटे तापमान परिवर्तन अभी भी इसकी आयामी सटीकता को प्रभावित कर सकते हैं। आम तौर पर, ग्रेनाइट का तापीय विस्तार गुणांक 5-7 × 10⁻⁶ / ℃ है। सटीक स्थैतिक दबाव वायु फ़्लोटिंग मूवमेंट प्लेटफ़ॉर्म के अनुप्रयोग परिदृश्य में, यह मामूली परिवर्तन प्लेटफ़ॉर्म द्वारा प्रवर्धित किया जाता है, जिससे मूवमेंट सटीकता का विचलन हो सकता है। उदाहरण के लिए, सेमीकंडक्टर चिप निर्माण प्रक्रिया में, दानमी स्तर की स्थिति सटीकता आवश्यकताओं के लिए लिथोग्राफी प्रक्रिया, 1 ° C के परिवेश के तापमान में उतार-चढ़ाव, 1 मीटर ग्रेनाइट बेस की साइड लंबाई 5-7 माइक्रोन रैखिक विस्तार या संकुचन का उत्पादन कर सकती है, जो चिप लिथोग्राफी पैटर्न विचलन बनाने के लिए पर्याप्त है, उपज को कम करता है। इसलिए, ग्रेनाइट परिशुद्धता आधार से सुसज्जित परिशुद्धता स्थैतिक दबाव वायु फ़्लोटिंग प्लेटफ़ॉर्म, आदर्श कार्य वातावरण तापमान को 20 डिग्री सेल्सियस ± 1 डिग्री सेल्सियस पर सख्ती से नियंत्रित किया जाना चाहिए, उद्यम उच्च परिशुद्धता निरंतर तापमान एयर कंडीशनिंग सिस्टम स्थापित कर सकते हैं, लगातार निगरानी और सटीक रूप से परिवेश के तापमान को समायोजित कर सकते हैं, ग्रेनाइट आधार स्थिरता के आकार को बनाए रख सकते हैं, यह सुनिश्चित करने के लिए कि मंच उच्च परिशुद्धता संचालन।
2. आर्द्रता: उचित नियंत्रण, आधार प्रदर्शन की रक्षा
प्रिसिज़न ग्रेनाइट बेस पर नमी का भी महत्वपूर्ण प्रभाव पड़ता है। उच्च आर्द्रता वाले वातावरण में, ग्रेनाइट जल वाष्प को अवशोषित करना आसान होता है, और सतह पर संघनन हो सकता है, जो न केवल वायु प्लवन प्रणाली के सामान्य संचालन में बाधा उत्पन्न करेगा, बल्कि ग्रेनाइट की सतह के दीर्घकालिक क्षरण को भी जन्म देगा, जिससे इसकी सटीकता और सेवा जीवन कम हो जाएगा। ऑप्टिकल लेंस पीसने वाली कार्यशाला को एक उदाहरण के रूप में लेते हुए, यदि आर्द्रता लंबे समय तक 60% आरएच से अधिक है, तो ग्रेनाइट बेस की सतह पर अवशोषित जल वाष्प वायु फ्लोट फिल्म की एकरूपता को नष्ट कर देगा, जिसके परिणामस्वरूप लेंस पीसने की सटीकता और सतह के दोषों में कमी आएगी। इसलिए, कार्य वातावरण की सापेक्ष आर्द्रता को 40%-60% आरएच के बीच नियंत्रित करने की आवश्यकता है। उद्यम वास्तविक समय में आर्द्रता की निगरानी और नियंत्रण करने के लिए डीह्यूमिडिफ़ायर, आर्द्रता सेंसर और अन्य उपकरणों का उपयोग कर सकते हैं, सटीक ग्रेनाइट बेस के लिए उपयुक्त आर्द्रता वातावरण बना सकते हैं, और सटीक स्थिर दबाव वायु फ़्लोटिंग मूवमेंट प्लेटफ़ॉर्म के स्थिर संचालन को सुनिश्चित कर सकते हैं।

3. स्वच्छता: सख्ती से नियंत्रण, कण हस्तक्षेप को खत्म करना
धूल के कण सटीक स्थैतिक दबाव वायु फ़्लोटिंग मूवमेंट प्लेटफ़ॉर्म के "दुश्मन" हैं, और ग्रेनाइट सटीक आधार को बहुत नुकसान पहुँचाते हैं। एक बार जब छोटे कण गैस फ़्लोट स्लाइडर और ग्रेनाइट बेस के बीच गैस फ़िल्म गैप में प्रवेश करते हैं, तो वे गैस फ़िल्म की एकरूपता को नष्ट कर सकते हैं, घर्षण बढ़ा सकते हैं, और यहाँ तक कि बेस की सतह को खरोंच भी सकते हैं, जिससे प्लेटफ़ॉर्म मूवमेंट की सटीकता पर गंभीर असर पड़ता है। एयरोस्पेस पार्ट्स की अल्ट्रा-प्रिसिज़न मशीनिंग वर्कशॉप में, अगर हवा में मौजूद धूल के कण ग्रेनाइट बेस पर गिरते हैं, तो मशीनिंग टूल का मोशन ट्रैजेक्टरी विचलित हो सकता है, जिससे पार्ट्स की मशीनिंग सटीकता प्रभावित होती है। इसलिए, कार्य क्षेत्र को अत्यधिक साफ रखना चाहिए और 10,000 या उससे भी अधिक के स्वच्छता मानक तक पहुँचना चाहिए। उद्यम उच्च दक्षता वाले एयर फ़िल्टर (HEPA) लगाकर हवा में मौजूद धूल के कणों को फ़िल्टर कर सकते हैं, और कर्मचारियों को धूल-मुक्त कपड़े, जूता कवर आदि पहनने की आवश्यकता होती है, ताकि मनुष्यों द्वारा लाई गई धूल को कम किया जा सके, और ग्रेनाइट बेस और सटीक स्थैतिक दबाव वायु फ़्लोटिंग मूवमेंट प्लेटफ़ॉर्म के उच्च-सटीक ऑपरेटिंग वातावरण को बनाए रखा जा सके।
4. कंपन: एक चिकनी जगह बनाने के लिए प्रभावी अलगाव
बाहरी कंपन प्रेसिजन स्टैटिक प्रेशर एयर फ्लोटिंग प्लेटफॉर्म की सटीकता में गंभीर रूप से हस्तक्षेप करेगा, हालांकि प्रेसिजन ग्रेनाइट बेस में एक निश्चित कंपन क्षीणन क्षमता है, लेकिन उच्च शक्ति कंपन अभी भी अपनी बफर सीमा को तोड़ सकती है। कारखाने के आसपास के यातायात और बड़े यांत्रिक उपकरणों के संचालन से उत्पन्न कंपन जमीन के माध्यम से ग्रेनाइट बेस तक प्रेषित होती है, जो प्लेटफॉर्म आंदोलन की सटीकता में हस्तक्षेप करेगी। उच्च अंत सीएमएम में, कंपन मापने वाले जांच और मापी जाने वाली वर्कपीस के बीच संपर्क को अस्थिर कर सकता है, जिसके परिणामस्वरूप माप डेटा का विचलन हो सकता है। इस समस्या को हल करने के लिए, प्रभावी कंपन अलगाव उपायों को अपनाना आवश्यक है, जैसे कि उपकरण स्थापना क्षेत्र में कंपन अलगाव पैड बिछाना, कंपन अलगाव नींव का निर्माण करना, या बाहरी कंपन को सक्रिय रूप से ऑफसेट करने के लिए सक्रिय कंपन अलगाव प्रणाली का उपयोग करना, और ग्रेनाइट प्रेसिजन बेस और प्रेसिजन स्टैटिक प्रेशर एयर फ्लोटिंग मूवमेंट प्लेटफॉर्म के लिए एक शांत और स्थिर कार्य वातावरण बनाना।
उपरोक्त पर्यावरणीय आवश्यकताओं को पूरा करें, ताकि सटीक स्थैतिक दबाव वायु फ़्लोटिंग आंदोलन प्लेटफ़ॉर्म में ग्रेनाइट सटीक आधार के लाभों को पूरा किया जा सके, ताकि यह सुनिश्चित किया जा सके कि प्लेटफ़ॉर्म विभिन्न उद्योगों के लिए उच्च-सटीक और उच्च-स्थिरता गति नियंत्रण सेवाएँ प्रदान करता है। यदि उद्यम उत्पादन वातावरण में इन विवरणों पर ध्यान दे सकते हैं, तो वे सटीक विनिर्माण, वैज्ञानिक अनुसंधान और अन्य क्षेत्रों में अवसर को जब्त कर लेंगे, अपनी प्रतिस्पर्धात्मकता बढ़ाएँगे और सतत विकास प्राप्त करेंगे।