ग्रेनाइट का उपयोग कई वर्षों से अर्धचालक उपकरणों के निर्माण और डिज़ाइन में व्यापक रूप से किया जाता रहा है। इसके उत्कृष्ट गुणों के कारण, यह कई अनुप्रयोगों के लिए एक आदर्श सामग्री है। ग्रेनाइट घिसाव, क्षरण और तापीय आघातों के प्रति अत्यधिक प्रतिरोधी है, जो इसे कठोर वातावरण में उपयोग के लिए उपयुक्त बनाता है। इस लेख में, हम अर्धचालक उपकरणों में ग्रेनाइट के कुछ सामान्य अनुप्रयोगों पर चर्चा करेंगे।
1. मेट्रोलॉजी उपकरण
अर्धचालक उपकरणों के आयामों और गुणों को मापने के लिए माप-माप उपकरण का उपयोग किया जाता है। ग्रेनाइट को अक्सर इसकी उच्च आयामी स्थिरता के कारण ऐसे उपकरणों के आधार के रूप में उपयोग किया जाता है। ग्रेनाइट की सतह की समतलता और परिशुद्धता सटीक माप के लिए एक आदर्श संदर्भ प्रदान करती है। इसके अतिरिक्त, ग्रेनाइट की तापीय स्थिरता तापमान में परिवर्तन के कारण आयामी परिवर्तनों के जोखिम को कम करती है।
2. ऑप्टिकल उपकरण
ग्रेनाइट का उपयोग लिथोग्राफी मशीनों जैसे ऑप्टिकल उपकरणों में भी किया जाता है, जिनका उपयोग अर्धचालक उपकरणों के निर्माण में किया जाता है। ग्रेनाइट का आधार इन मशीनों में प्रयुक्त उच्च-परिशुद्धता वाले प्रकाशिकी के लिए एक स्थिर मंच प्रदान करता है। ग्रेनाइट के उत्कृष्ट कंपन अवमंदन गुण प्रकाशिकी के प्रदर्शन और सटीकता को प्रभावित करने वाले कंपन को कम करने में भी मदद करते हैं।
3. वेफर प्रसंस्करण उपकरण
अर्धचालक वेफर प्रसंस्करण में सफाई, नक्काशी और निक्षेपण सहित कई चरण शामिल होते हैं। ग्रेनाइट का उपयोग वेफर प्रसंस्करण उपकरण के कई घटकों में किया जाता है। उदाहरण के लिए, ग्रेनाइट का उपयोग रासायनिक वाष्प निक्षेपण (सीवीडी) उपकरण के लिए एक सब्सट्रेट के रूप में किया जाता है, जिसका उपयोग सिलिकॉन वेफर्स पर पतली फिल्म निक्षेपण के लिए किया जाता है। ग्रेनाइट का उपयोग नक्काशी कक्षों और अन्य प्रक्रिया वाहिकाओं के निर्माण में भी किया जाता है, जहाँ इसका उत्कृष्ट रासायनिक प्रतिरोध और आयामी स्थिरता आवश्यक है।
4. परीक्षण उपकरण
अर्धचालक उपकरणों के प्रदर्शन और गुणवत्ता की जाँच के लिए परीक्षण उपकरणों का उपयोग किया जाता है। ग्रेनाइट का उपयोग अक्सर इसकी उच्च कठोरता और स्थिरता के कारण परीक्षण उपकरणों के आधार के रूप में किया जाता है। ग्रेनाइट एक गैर-चुंबकीय और गैर-चालक प्लेटफ़ॉर्म प्रदान करता है जो संवेदनशील परीक्षण उपकरणों के साथ हस्तक्षेप को समाप्त करता है। ग्रेनाइट की सतह की समतलता और परिशुद्धता अत्यधिक सटीक परीक्षण परिणाम प्रदान करती है।
निष्कर्ष
निष्कर्षतः, ग्रेनाइट अर्धचालक उपकरणों के डिज़ाइन और निर्माण में एक महत्वपूर्ण सामग्री है। इसके उत्कृष्ट गुण, जैसे कि आयामी स्थिरता, तापीय स्थिरता, रासायनिक प्रतिरोध और कंपन अवमंदन, इसे कई अनुप्रयोगों के लिए एक आदर्श सामग्री बनाते हैं। ग्रेनाइट का उपयोग अर्धचालक उपकरणों के कई महत्वपूर्ण घटकों में किया जाता है, जिनमें माप-माप उपकरण, प्रकाशीय उपकरण, वेफर प्रसंस्करण उपकरण और परीक्षण उपकरण शामिल हैं। जैसे-जैसे तेज़, छोटे और अधिक शक्तिशाली अर्धचालक उपकरणों की मांग बढ़ती जा रही है, अर्धचालक उपकरणों में ग्रेनाइट का उपयोग आवश्यक बना रहेगा।
पोस्ट करने का समय: अप्रैल-08-2024