कई वर्षों से अर्धचालक उपकरणों के निर्माण और डिजाइन में ग्रेनाइट का व्यापक रूप से उपयोग किया गया है। यह इसके उत्कृष्ट गुणों के कारण है, जो इसे कई अनुप्रयोगों के लिए एक आदर्श सामग्री बनाते हैं। ग्रेनाइट पहनने, जंग और थर्मल झटके के लिए अत्यधिक प्रतिरोधी है, जो इसे कठोर वातावरण में उपयोग के लिए उपयुक्त बनाता है। इस लेख में, हम अर्धचालक उपकरणों में ग्रेनाइट के कुछ सामान्य अनुप्रयोगों पर चर्चा करेंगे।
1। मेट्रोलॉजी उपकरण
मेट्रोलॉजी उपकरण का उपयोग अर्धचालक उपकरणों के आयामों और गुणों को मापने के लिए किया जाता है। ग्रेनाइट को अक्सर उच्च आयामी स्थिरता के कारण ऐसे उपकरणों के लिए एक आधार के रूप में उपयोग किया जाता है। ग्रेनाइट सतह की सपाटता और सटीकता सटीक माप के लिए एक आदर्श संदर्भ प्रदान करती है। इसके अतिरिक्त, ग्रेनाइट की थर्मल स्थिरता तापमान भिन्नता के कारण आयामी परिवर्तनों के जोखिम को कम करती है।
2। ऑप्टिकल उपकरण
ग्रेनाइट का उपयोग ऑप्टिकल उपकरणों जैसे लिथोग्राफी मशीनों में भी किया जाता है, जो अर्धचालक उपकरणों के निर्माण में उपयोग किए जाते हैं। ग्रेनाइट बेस इन मशीनों में उपयोग किए जाने वाले उच्च-परिशुद्धता प्रकाशिकी के लिए एक स्थिर मंच प्रदान करता है। ग्रेनाइट के उत्कृष्ट कंपन डंपिंग गुण भी कंपन को कम करने में मदद करते हैं जो प्रकाशिकी के प्रदर्शन और सटीकता को प्रभावित कर सकते हैं।
3। वेफर प्रसंस्करण उपकरण
सेमीकंडक्टर वेफर प्रोसेसिंग में कई चरण शामिल हैं, जिनमें सफाई, नक़्क़ाशी और बयान शामिल हैं। ग्रेनाइट का उपयोग वेफर प्रसंस्करण उपकरण के कई घटकों में किया जाता है। उदाहरण के लिए, ग्रेनाइट का उपयोग रासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी) उपकरण के लिए एक सब्सट्रेट के रूप में किया जाता है, जिसका उपयोग सिलिकॉन वेफर्स पर पतली फिल्मों को जमा करने के लिए किया जाता है। ग्रेनाइट का उपयोग नक़्क़ाशी कक्षों और अन्य प्रक्रिया जहाजों के निर्माण में भी किया जाता है, जहां इसके उत्कृष्ट रासायनिक प्रतिरोध और आयामी स्थिरता आवश्यक हैं।
4। परीक्षण उपकरण
सेमीकंडक्टर उपकरणों के प्रदर्शन और गुणवत्ता को सत्यापित करने के लिए परीक्षण उपकरण का उपयोग किया जाता है। ग्रेनाइट को अक्सर इसकी उच्च कठोरता और स्थिरता के कारण परीक्षण उपकरणों के लिए एक आधार के रूप में उपयोग किया जाता है। ग्रेनाइट एक गैर-चुंबकीय और गैर-प्रवाहकीय मंच प्रदान करता है जो संवेदनशील परीक्षण उपकरणों के साथ हस्तक्षेप को समाप्त करता है। ग्रेनाइट सतह की सपाटता और सटीकता अत्यधिक सटीक परीक्षण परिणामों के लिए अनुमति देती है।
निष्कर्ष
अंत में, ग्रेनाइट अर्धचालक उपकरणों के डिजाइन और निर्माण में एक महत्वपूर्ण सामग्री है। इसके उत्कृष्ट गुण, जिसमें आयामी स्थिरता, थर्मल स्थिरता, रासायनिक प्रतिरोध, और कंपन नम शामिल हैं, इसे कई अनुप्रयोगों के लिए एक आदर्श सामग्री बनाते हैं। ग्रेनाइट का उपयोग अर्धचालक उपकरणों के कई महत्वपूर्ण घटकों में किया जाता है, जिसमें मेट्रोलॉजी उपकरण, ऑप्टिकल उपकरण, वेफर प्रसंस्करण उपकरण और परीक्षण उपकरण शामिल हैं। चूंकि तेज, छोटे, और अधिक शक्तिशाली अर्धचालक उपकरणों की मांग बढ़ती जा रही है, इसलिए अर्धचालक उपकरणों में ग्रेनाइट का उपयोग आवश्यक रहने की संभावना है।
पोस्ट समय: APR-08-2024