सेमीकंडक्टर उपकरण में ग्रेनाइट घटकों के लिए मानक और विशिष्टताएँ क्या हैं?

ग्रेनाइट घटकों का उपयोग उनकी उच्च स्थिरता और स्थायित्व के कारण अर्धचालक उपकरणों में व्यापक रूप से किया जाता है।वे सेमीकंडक्टर निर्माण प्रक्रियाओं की सटीकता और सटीकता बनाए रखने के लिए जिम्मेदार हैं।हालाँकि, ग्रेनाइट घटकों की प्रभावशीलता और विश्वसनीयता उन मानकों और विशिष्टताओं पर निर्भर करती है जिन्हें उनके डिजाइन, निर्माण और स्थापना के दौरान बरकरार रखा जाता है।

निम्नलिखित कुछ मानक और विशिष्टताएँ हैं जिनका सेमीकंडक्टर उपकरण में ग्रेनाइट घटकों का उपयोग करते समय पालन किया जाना चाहिए:

1. सामग्री घनत्व: ग्रेनाइट घटकों के निर्माण में प्रयुक्त ग्रेनाइट सामग्री का घनत्व लगभग 2.65 ग्राम/सेमी3 होना चाहिए।यह प्राकृतिक ग्रेनाइट सामग्री का घनत्व है, और यह ग्रेनाइट घटकों के गुणों में स्थिरता और विश्वसनीयता सुनिश्चित करता है।

2. समतलता: सेमीकंडक्टर उपकरण में उपयोग किए जाने वाले ग्रेनाइट घटकों के लिए समतलता सबसे महत्वपूर्ण विशिष्टताओं में से एक है।ग्रेनाइट सतह की समतलता 0.001 मिमी/एम2 से कम होनी चाहिए।यह सुनिश्चित करता है कि घटक की सतह सपाट और समतल है, जो अर्धचालक निर्माण प्रक्रियाओं के लिए आवश्यक है।

3. सतही फिनिश: ग्रेनाइट घटकों की सतही फिनिश उच्च गुणवत्ता वाली होनी चाहिए, जिसकी सतह खुरदरापन 0.4µm से कम हो।यह सुनिश्चित करता है कि ग्रेनाइट घटक की सतह में घर्षण का गुणांक कम है, जो अर्धचालक उपकरणों के सुचारू संचालन के लिए महत्वपूर्ण है।

4. थर्मल विस्तार गुणांक: सेमीकंडक्टर उपकरण विभिन्न तापमानों पर काम करते हैं, और ग्रेनाइट घटकों को विरूपण के बिना थर्मल उतार-चढ़ाव का सामना करने में सक्षम होना चाहिए।सेमीकंडक्टर उपकरण में प्रयुक्त ग्रेनाइट का थर्मल विस्तार गुणांक 2 x 10^-6 /°C से कम होना चाहिए।

5. आयामी सहिष्णुता: ग्रेनाइट घटकों के प्रदर्शन के लिए आयामी सहिष्णुता महत्वपूर्ण है।सभी महत्वपूर्ण आयामों के लिए ग्रेनाइट घटकों की आयामी सहनशीलता ±0.1 मिमी के भीतर होनी चाहिए।

6. कठोरता और घिसाव प्रतिरोध: अर्धचालक उपकरणों में उपयोग किए जाने वाले ग्रेनाइट घटकों के लिए कठोरता और घिसाव प्रतिरोध आवश्यक विशिष्टताएं हैं।ग्रेनाइट में मोह्स स्केल 6-7 की कठोरता है, जो इसे सेमीकंडक्टर उपकरण अनुप्रयोगों में उपयोग के लिए उपयुक्त सामग्री बनाती है।

7. इन्सुलेशन प्रदर्शन: संवेदनशील इलेक्ट्रॉनिक घटकों को नुकसान से बचाने के लिए सेमीकंडक्टर उपकरण में उपयोग किए जाने वाले ग्रेनाइट घटकों में उत्कृष्ट इन्सुलेशन प्रदर्शन होना चाहिए।विद्युत प्रतिरोध 10^9 Ω/सेमी से ऊपर होना चाहिए।

8. रासायनिक प्रतिरोध: ग्रेनाइट घटकों को अर्धचालक निर्माण प्रक्रियाओं में उपयोग किए जाने वाले सामान्य रसायनों, जैसे एसिड और क्षार, के लिए प्रतिरोधी होना चाहिए।

निष्कर्ष में, सेमीकंडक्टर उपकरणों में उपयोग किए जाने वाले ग्रेनाइट घटकों के लिए मानक और विनिर्देश दोनों घटकों और उनके उपयोग किए जाने वाले उपकरणों की दीर्घायु और विश्वसनीयता सुनिश्चित करने के लिए महत्वपूर्ण हैं। डिजाइन, निर्माण और स्थापना के दौरान उपरोक्त दिशानिर्देशों का सख्ती से पालन किया जाना चाहिए। यह सुनिश्चित करने के लिए प्रक्रियाएं कि घटक उच्चतम गुणवत्ता के हैं।इन मानकों और विशिष्टताओं का पालन करके, सेमीकंडक्टर निर्माता यह सुनिश्चित कर सकते हैं कि उनके उपकरण का प्रदर्शन इष्टतम बना रहे, जिससे उत्पादकता और लाभप्रदता में वृद्धि होगी।