चिप निर्माण की प्रमुख कड़ी - वेफर स्कैनिंग - में, उपकरण की सटीकता चिप की गुणवत्ता निर्धारित करती है। उपकरण के एक महत्वपूर्ण घटक के रूप में, ग्रेनाइट मशीन बेस के तापीय विस्तार की समस्या ने बहुत ध्यान आकर्षित किया है।
ग्रेनाइट का तापीय प्रसार गुणांक आमतौर पर 4 और 8×10⁻⁶/°C के बीच होता है, जो धातुओं और संगमरमर की तुलना में बहुत कम है। इसका अर्थ है कि तापमान में परिवर्तन होने पर, इसके आकार में अपेक्षाकृत कम परिवर्तन होता है। हालाँकि, यह ध्यान रखना चाहिए कि कम तापीय प्रसार का अर्थ यह नहीं है कि तापीय प्रसार नहीं है। अत्यधिक तापमान में उतार-चढ़ाव के तहत, थोड़ा सा भी प्रसार वेफर स्कैनिंग की नैनोस्केल सटीकता को प्रभावित कर सकता है।
वेफर स्कैनिंग प्रक्रिया के दौरान, तापीय विस्तार के कई कारण होते हैं। कार्यशाला में तापमान में उतार-चढ़ाव, उपकरण घटकों के संचालन से उत्पन्न ऊष्मा, और लेज़र प्रसंस्करण द्वारा उत्पन्न तात्कालिक उच्च तापमान, ये सभी ग्रेनाइट बेस को "तापमान परिवर्तन के कारण फैलने और सिकुड़ने" का कारण बनेंगे। बेस के तापीय विस्तार के बाद, गाइड रेल की सीधी रेखा और प्लेटफ़ॉर्म की समतलता विचलित हो सकती है, जिसके परिणामस्वरूप वेफर टेबल की गति पथ गलत हो सकता है। सहायक ऑप्टिकल घटक भी स्थानांतरित हो जाएँगे, जिससे स्कैनिंग बीम "विचलित" हो जाएगी। लंबे समय तक लगातार काम करने से त्रुटियाँ भी जमा होंगी, जिससे सटीकता और भी खराब होती जाएगी।
लेकिन चिंता न करें। लोगों के पास पहले से ही समाधान मौजूद हैं। सामग्री के संदर्भ में, कम तापीय प्रसार गुणांक वाली ग्रेनाइट शिराओं का चयन किया जाएगा और उन्हें आयु-उपचारित किया जाएगा। तापमान नियंत्रण के संदर्भ में, कार्यशाला का तापमान 23±0.5°C या उससे भी कम पर सटीक रूप से नियंत्रित किया जाएगा, और आधार के लिए एक सक्रिय ऊष्मा अपव्यय उपकरण भी डिज़ाइन किया जाएगा। संरचनात्मक डिज़ाइन के संदर्भ में, सममित संरचनाओं और लचीले आधारों को अपनाया जाता है, और तापमान सेंसर के माध्यम से वास्तविक समय की निगरानी की जाती है। तापीय विरूपण के कारण होने वाली त्रुटियों को एल्गोरिदम द्वारा गतिशील रूप से ठीक किया जाता है।
एएसएमएल लिथोग्राफी मशीनों जैसे उच्च-स्तरीय उपकरण, इन विधियों के माध्यम से, ग्रेनाइट बेस के तापीय प्रसार प्रभाव को अत्यंत सूक्ष्म सीमा में रखते हैं, जिससे वेफर स्कैनिंग की सटीकता नैनोमीटर स्तर तक पहुँच पाती है। इसलिए, जब तक इसे ठीक से नियंत्रित किया जाता है, ग्रेनाइट बेस वेफर स्कैनिंग उपकरणों के लिए एक विश्वसनीय विकल्प बना रहता है।
पोस्ट करने का समय: जून-12-2025