क्या वेफर स्कैनिंग के दौरान गर्मी के कारण ग्रेनाइट मशीन का आधार फैल जाएगा?

चिप निर्माण की प्रमुख कड़ी - वेफर स्कैनिंग में, उपकरण की सटीकता चिप की गुणवत्ता निर्धारित करती है। उपकरण के एक महत्वपूर्ण घटक के रूप में, ग्रेनाइट मशीन बेस की ऊष्मीय विस्तार समस्या ने काफी ध्यान आकर्षित किया है।

ग्रेनाइट का ऊष्मीय प्रसार गुणांक आमतौर पर 4 से 8×10⁻⁶/℃ के बीच होता है, जो धातुओं और संगमरमर की तुलना में काफी कम है। इसका अर्थ है कि तापमान में परिवर्तन होने पर इसके आकार में अपेक्षाकृत कम बदलाव होता है। हालांकि, यह ध्यान रखना महत्वपूर्ण है कि कम ऊष्मीय प्रसार का अर्थ यह नहीं है कि ऊष्मीय प्रसार बिल्कुल नहीं होता। तापमान में अत्यधिक उतार-चढ़ाव होने पर, थोड़ा सा भी प्रसार वेफर स्कैनिंग की नैनोस्केल सटीकता को प्रभावित कर सकता है।

वेफर स्कैनिंग प्रक्रिया के दौरान, ऊष्मीय विस्तार के कई कारण होते हैं। कार्यशाला में तापमान में उतार-चढ़ाव, उपकरण घटकों के संचालन से उत्पन्न ऊष्मा और लेजर प्रसंस्करण के कारण उत्पन्न तात्कालिक उच्च तापमान, ये सभी कारक ग्रेनाइट आधार को "तापमान परिवर्तन के कारण विस्तारित और संकुचित" करते हैं। आधार के ऊष्मीय विस्तार के कारण, गाइड रेल की सीधी रेखा और प्लेटफॉर्म की समतलता में विचलन आ सकता है, जिसके परिणामस्वरूप वेफर टेबल की गति पथ सटीक नहीं रहती। सहायक ऑप्टिकल घटक भी खिसक जाते हैं, जिससे स्कैनिंग बीम "विचलित" हो जाती है। लंबे समय तक लगातार काम करने से त्रुटियां भी जमा होती जाती हैं, जिससे सटीकता और भी खराब होती जाती है।

लेकिन चिंता न करें। लोगों के पास पहले से ही समाधान मौजूद हैं। सामग्री के संदर्भ में, कम तापीय प्रसार गुणांक वाली ग्रेनाइट शिराओं का चयन किया जाएगा और उन्हें एजिंग ट्रीटमेंट दिया जाएगा। तापमान नियंत्रण के संदर्भ में, कार्यशाला का तापमान 23±0.5℃ या उससे भी कम पर सटीक रूप से नियंत्रित किया जाता है, और आधार के लिए एक सक्रिय ताप अपव्यय उपकरण भी डिजाइन किया जाएगा। संरचनात्मक डिजाइन के संदर्भ में, सममित संरचनाओं और लचीले सपोर्ट का उपयोग किया जाता है, और तापमान सेंसर के माध्यम से वास्तविक समय की निगरानी की जाती है। तापीय विरूपण के कारण होने वाली त्रुटियों को एल्गोरिदम द्वारा गतिशील रूप से ठीक किया जाता है।

एएसएमएल लिथोग्राफी मशीनों जैसे उच्च-स्तरीय उपकरण, इन विधियों के माध्यम से, ग्रेनाइट बेस के तापीय विस्तार प्रभाव को अत्यंत सीमित दायरे में रखते हैं, जिससे वेफर स्कैनिंग की सटीकता नैनोमीटर स्तर तक पहुंच जाती है। इसलिए, उचित नियंत्रण के साथ, ग्रेनाइट बेस वेफर स्कैनिंग उपकरणों के लिए एक विश्वसनीय विकल्प बना रहता है।