परिशुद्धता सतह प्लेट

1. नैनोमीटर स्तर की समतलता और स्थिरता: प्राकृतिक ग्रेनाइट सटीक पिसाई के बाद 000-ग्रेड (AA) की समतलता प्राप्त करता है। इसकी उच्च अवमंदन क्षमता सूक्ष्म कंपन को अवशोषित करती है, जिससे वेफर को स्थिर रूप से संभालना सुनिश्चित होता है।

2. कम तापीय विस्तार: ग्रेनाइट का रैखिक विस्तार गुणांक धातु की तुलना में काफी कम होता है—जिससे तापीय बहाव कम होता है और क्लीनरूम वातावरण में माप की स्थिरता बनी रहती है।

3. गैर-चुंबकीय और कुचालक: स्वाभाविक रूप से गैर-चुंबकीय और विद्युत कुचालक होने के कारण, ग्रेनाइट विद्युत चुम्बकीय हस्तक्षेप को समाप्त करता है - एसईएम, अल्ट्रासोनिक परीक्षण और अन्य संवेदनशील इलेक्ट्रॉनिक्स के लिए आदर्श।

4. एयर बियरिंग के लिए अनुकूलित: इसकी सघन, चिकनी सतह एयर-बेयरिंग गति के लिए आदर्श समर्थन प्रदान करती है - जिससे दीर्घकालिक विश्वसनीयता के साथ घर्षण रहित, सब-माइक्रोन स्कैनिंग संभव हो पाती है।