वेफर निरीक्षण और मापन के लिए अति-सटीक ग्रेनाइट आधार

1. उत्कृष्ट सामग्री विज्ञान: ZHHIMG® काला ग्रेनाइट

सामान्य ग्रेनाइट या उससे भी बदतर, कम ईमानदार निर्माताओं द्वारा उपयोग किए जाने वाले निम्न-श्रेणी के संगमरमर के विपरीत, ZHHIMG के बेस विशेष रूप से हमारे मालिकाना हक वाले ZHHIMG® ब्लैक ग्रेनाइट से निर्मित होते हैं।

● असाधारण घनत्व: हमारी सामग्री का घनत्व लगभग 3100 किलोग्राम/मीटर³ है, जो यूरोप और अमेरिका के कई पारंपरिक काले ग्रेनाइटों से बेहतर है।

● तापीय स्थिरता: उच्च घनत्व और न्यूनतम जल अवशोषण बेहतर आयामी स्थिरता सुनिश्चित करते हैं, जिससे महत्वपूर्ण निरीक्षण चक्रों के दौरान तापीय बहाव का प्रभाव काफी कम हो जाता है।

● कंपन अवमंदन: प्राकृतिक खनिज संरचना उत्कृष्ट आंतरिक अवमंदन प्रदान करती है, जो संवेदनशील प्रकाशिकी और सेंसर को बाहरी कंपन से अलग करने के लिए आवश्यक है।

2. अद्वितीय विनिर्माण और संयोजन क्षमता

सटीकता के प्रति हमारी प्रतिबद्धता हमारे मूल विश्वास में समाहित है: "सटीकता का व्यवसाय बहुत अधिक मांग वाला नहीं हो सकता।"

● उत्कृष्ट शिल्प कौशल: हमारे बेस को कुशल तकनीशियनों द्वारा हाथ से लैप किया जाता है, जिनमें से कई को 30 से अधिक वर्षों का अनुभव है, जो नैनोमीटर स्तर तक सतह की समतलता और समानांतरता प्राप्त कर सकते हैं - यह सटीकता रेनिशॉ लेजर इंटरफेरोमीटर और वाइलर इलेक्ट्रॉनिक लेवल द्वारा सत्यापित की जाती है।

● नियंत्रित वातावरण: मशीनिंग और अंतिम असेंबली का कार्य हमारे 10,000 वर्ग मीटर के तापमान और आर्द्रता नियंत्रित क्लीनरूम (जो सेमीकंडक्टर निर्माण की सख्त परिस्थितियों का अनुकरण करता है) में किया जाता है। इस सुविधा में 1000 मिमी मोटी कंक्रीट की नींव और 2000 मिमी गहरी कंपन-रोधी खाइयाँ हैं, जो एक स्थिर मापन वातावरण सुनिश्चित करती हैं।

3. एकीकृत परिशुद्धता डिजाइन (जैसा कि चित्र में दिखाया गया है)

आधार को आमतौर पर एक जटिल संयोजन के रूप में प्रदान किया जाता है, जिसमें अक्सर निम्नलिखित शामिल होते हैं:

● एल-आकार/गैन्ट्री संरचनाएं: इमेजिंग हेड की ऊर्ध्वाधर गति (जेड-अक्ष) को सहारा देने के लिए डिज़ाइन की गई हैं, जो लंबवतता और ज्यामितीय सटीकता सुनिश्चित करती हैं।

● सटीक खांचे और इंसर्ट: एयर बियरिंग, लीनियर मोटर्स (XY टेबल), विज़न सिस्टम और गाइड रेल (THK, HIWIN, Rexroth) को माउंट करने के लिए थ्रेडेड स्टील इंसर्ट और सटीक डॉवेल होल के साथ पहले से मशीनीकृत सतहें।

● अनुकूलन: हम बड़े पैमाने पर मशीनिंग में विशेषज्ञ हैं, जो 20 मीटर तक की लंबाई और 100 टन तक के वजन वाले अखंड ग्रेनाइट बेस को आपके उपकरण के अनुरूप सटीक रूप से तैयार करके देने में सक्षम हैं।