ग्रेनाइट प्लेटफॉर्म, सटीक माप और प्रसंस्करण के लिए एक संदर्भ उपकरण के रूप में, इसकी सटीकता का रखरखाव सीधे उत्पादन गुणवत्ता को प्रभावित करता है। निम्नलिखित में पर्यावरणीय नियंत्रण, दैनिक रखरखाव और पेशेवर अंशांकन को शामिल करते हुए एक व्यवस्थित रखरखाव योजना दी गई है ताकि प्लेटफॉर्म लंबे समय तक नैनोमीटर स्तर की सटीकता बनाए रख सके।
1. पर्यावरणीय नियंत्रण: सटीक सुरक्षा अवरोध का निर्माण करें
तापमान और आर्द्रता प्रबंधन
कार्यस्थल का तापमान 20±1℃ पर स्थिर होना आवश्यक है। प्रत्येक 1℃ के उतार-चढ़ाव से ग्रेनाइट प्लेटफॉर्म में 0.5-1 माइक्रोमीटर/मीटर की तापीय विकृति उत्पन्न होगी। कार्यशाला में एक स्थिर तापमान प्रणाली स्थापित की जा सकती है ताकि एयर कंडीशनिंग आउटलेट से निकलने वाली हवा सीधे प्लेटफॉर्म पर न पड़े।
आर्द्रता का स्तर 40% से 60% के बीच नियंत्रित किया जाना चाहिए। अत्यधिक आर्द्रता से धातु के पुर्जों पर आसानी से जंग लग सकती है, जबकि बहुत कम आर्द्रता से माप में स्थैतिक विद्युत की समस्या उत्पन्न हो सकती है।
कंपन अलगाव
प्लेटफ़ॉर्म को स्टैम्पिंग मशीन और मिलिंग मशीन जैसे कंपन स्रोतों से दूर रखना चाहिए। कंपन उत्पन्न करने वाले उपकरणों से 3 मीटर से अधिक की दूरी बनाए रखने की सलाह दी जाती है।
यदि कंपन से बचना संभव नहीं है, तो प्लेटफॉर्म की समतलता पर पर्यावरणीय कंपन के प्रभाव को कम करने के लिए प्लेटफॉर्म के निचले भाग में एयर स्प्रिंग शॉक एब्जॉर्बर लगाए जा सकते हैं (जो बाहरी कंपन को 80% से अधिक तक कम कर सकते हैं)।
2. दैनिक रखरखाव: सफाई से लेकर सुरक्षा तक, हर पहलू पर सावधानीपूर्वक नियंत्रण
सतह सफाई विनिर्देश
धूल हटाना: प्लेटफॉर्म पर धूल के कणों (≥5 माइक्रोमीटर) से खरोंच लगने से बचाने के लिए सतह को प्रतिदिन हिरण की खाल या लिंट-फ्री कपड़े से एक ही दिशा में पोंछें। जिद्दी दागों को निर्जल इथेनॉल (शुद्धता ≥99.7%) से धीरे से पोंछा जा सकता है। एसीटोन जैसे प्रबल विलायकों का प्रयोग न करें।
चिकनाई हटाना: यदि यह तेल के दागों के संपर्क में आता है, तो इसे हल्के किए गए तटस्थ क्लीनर से पोंछें, फिर विआयनीकृत पानी से धो लें और हवा में सूखने दें ताकि खनिज तेल प्लेटफॉर्म के छोटे छिद्रों में प्रवेश न कर सके।
भार और टक्कर से सुरक्षा
प्लेटफ़ॉर्म की भार वहन क्षमता को रेटेड लोड के 70% के भीतर नियंत्रित किया जाना चाहिए (उदाहरण के लिए, 1000 किलोग्राम के प्लेटफ़ॉर्म के लिए, यह अनुशंसा की जाती है कि लोड ≤700 किलोग्राम हो) ताकि स्थानीय ओवरलोड के कारण होने वाले स्थायी विरूपण से बचा जा सके।
प्लेटफ़ॉर्म पर वर्कपीस को पटकना सख्त मना है। औजारों का इस्तेमाल करते समय मुलायम दस्ताने पहनें ताकि नुकीली चीज़ों से सतह पर खरोंच न लगे (20 माइक्रोमीटर से अधिक गहरी खरोंचें परावर्तित प्रकाश पथ के मापन को प्रभावित करेंगी)।
3. व्यावसायिक अंशांकन: वैज्ञानिक रूप से सटीकता बनाए रखने का मूल आधार
अंशांकन चक्र सेटिंग
पारंपरिक उपयोग परिदृश्य: प्रत्येक तिमाही में एक बार अंशांकन करें और समतलता का पता लगाने के लिए लेजर इंटरफेरोमीटर का उपयोग करें (±0.5μm/m की सटीकता के साथ)।
उच्च आवृत्ति उपयोग या कठोर वातावरण: मासिक अंशांकन, जिसमें तापमान-संवेदनशील क्षेत्रों (जैसे कि ताप स्रोतों के पास प्लेटफॉर्म का किनारा) की निगरानी पर ध्यान केंद्रित किया जाता है।

अंशांकन के बाद की प्रक्रिया
यदि सतह की समतलता में विचलन पाया जाता है (जैसे कि > ±1μm/m), तो इसे W1.5 माइक्रो-पाउडर का उपयोग करके एक पेशेवर तकनीशियन द्वारा घिसकर ठीक किया जाना चाहिए। सैंडपेपर से स्वयं घिसना सख्त वर्जित है।
अंशांकन के बाद, डेटा को रिकॉर्ड और संग्रहीत किया जाना चाहिए, और रखरखाव की आवश्यकताओं का पहले से अनुमान लगाने के लिए एक प्लेटफ़ॉर्म सटीकता क्षीणन वक्र स्थापित किया जाना चाहिए।
4. भंडारण और परिवहन: छिपी हुई सटीकता की हानि से बचें
दीर्घकालिक भंडारण के लिए मुख्य बिंदु
भंडारण के समय, इसे नमी और धूल से बचाने वाले आवरण से ढक कर रखना चाहिए। गुरुत्वाकर्षण के कारण होने वाले झुकाव विरूपण को रोकने के लिए इसके निचले भाग को तीन बिंदुओं से सहारा देना चाहिए (सहारा बिंदु प्लेटफार्म की लंबाई के 2/9 भाग पर स्थित होना चाहिए) (एक मीटर प्लेटफार्म लंबे समय तक एक ही बिंदु से सहारा देने पर 0.3 माइक्रोमीटर तक झुक सकता है)।
स्थानीय दबाव को लंबे समय तक बने रहने से रोकने के लिए प्लेटफार्म के सपोर्ट पॉइंट्स की स्थिति को नियमित रूप से (मासिक) बदलते रहें।
परिवहन सुरक्षा योजना
अल्प दूरी परिवहन: इसे शॉक-एब्जॉर्बिंग फोम से लपेटें, एक कठोर फ्रेम के भीतर फिक्स करें और त्वरण को 2g के भीतर रखें।
लंबी दूरी के परिवहन के लिए: इसे वैक्यूम पैक करके शुष्क नाइट्रोजन से भरना आवश्यक है। पहुंचने के बाद, संघनन जल के कारण सटीकता प्रभावित न हो, इसके लिए इसे खोलने से पहले 24 घंटे तक तापमान को स्थिर होने तक खुला छोड़ देना चाहिए।
5. दोष पूर्वानुमान: प्रारंभिक समस्याओं की पहचान करने की तकनीकें
दृश्य निरीक्षण: सतह को नियमित रूप से 40 गुना आवर्धक लेंस से देखें। यदि लगातार खरोंचें दिखाई दें या चमक में उल्लेखनीय कमी आए, तो यह सटीकता में गिरावट का संकेत हो सकता है।
ध्वनि पहचान: प्लेटफॉर्म को धीरे से थपथपाएं। यदि ध्वनि कर्कश हो जाती है (सामान्यतः यह स्पष्ट होनी चाहिए), तो अंदर सूक्ष्म दरारें हो सकती हैं। पहचान के लिए इसका उपयोग तुरंत बंद कर दें।
इस रखरखाव प्रणाली के माध्यम से, ZHHIMG® ग्रेनाइट प्लेटफॉर्म 10 वर्षों तक ±1μm/m की समतलता बनाए रख सकता है, जो कि उन प्लेटफॉर्मों के परिशुद्धता जीवनकाल से तीन गुना अधिक है जिनका उचित रखरखाव नहीं किया जाता है। व्यवहारिक रूप से यह सिद्ध हो चुका है कि एक निश्चित सेमीकंडक्टर कारखाने द्वारा इस समाधान को अपनाने के बाद, प्लेटफॉर्म अंशांकन की आवृत्ति 50% कम हो गई और वार्षिक रखरखाव लागत में 150,000 युआन से अधिक की बचत हुई।
पोस्ट करने का समय: 18 जून 2025
