ग्रेनाइट के घटक XYZT प्रेसिजन गैन्ट्री मूवमेंट प्लेटफॉर्म को सेमीकंडक्टर निर्माण में सटीकता सुनिश्चित करने में मदद करते हैं।

सेमीकंडक्टर निर्माण कार्यशाला में, चिप निर्माण प्रक्रिया के लिए पर्यावरणीय परिस्थितियों और उपकरण की सटीकता की आवश्यकताएँ अत्यंत उच्च होती हैं, और किसी भी मामूली विचलन से चिप उत्पादन में भारी गिरावट आ सकती है। XYZT प्रेसिजन गैन्ट्री मूवमेंट प्लेटफॉर्म ग्रेनाइट घटकों पर निर्भर करता है, जो प्लेटफॉर्म के अन्य भागों के साथ मिलकर नैनोस्केल सटीकता प्राप्त करने के लिए एक ठोस आधार बनाते हैं।
उत्कृष्ट कंपन अवरोधक गुण
सेमीकंडक्टर निर्माण कार्यशाला में, परिधीय उपकरणों के संचालन और कर्मचारियों की आवाजाही से कंपन उत्पन्न हो सकता है। ग्रेनाइट घटकों की आंतरिक संरचना सघन और एकसमान होती है, जिसमें प्राकृतिक रूप से उच्च अवमंदन गुण होते हैं, जो एक कुशल कंपन अवरोधक के रूप में कार्य करते हैं। जब बाहरी कंपन XYZT प्लेटफॉर्म तक पहुँचता है, तो ग्रेनाइट घटक कंपन ऊर्जा के 80% से अधिक को प्रभावी ढंग से कम कर देता है और प्लेटफॉर्म की गति की सटीकता पर कंपन के प्रभाव को घटा देता है। साथ ही, प्लेटफॉर्म में एक उच्च-सटीकता वाला एयर फ्लोट गाइड सिस्टम लगा होता है, जो ग्रेनाइट घटकों के साथ मिलकर कार्य करता है। एयर फ्लोट गाइड उच्च दबाव वाली गैस द्वारा निर्मित स्थिर गैस फिल्म का उपयोग करके प्लेटफॉर्म के गतिशील भागों की संपर्क रहित निलंबन गति को सुनिश्चित करता है और यांत्रिक घर्षण के कारण होने वाले छोटे कंपन को कम करता है। ये दोनों मिलकर चिप लिथोग्राफी और एचिंग जैसी प्रमुख प्रक्रियाओं में प्लेटफॉर्म की स्थिति सटीकता को नैनोमीटर स्तर पर बनाए रखते हैं और कंपन के कारण चिप सर्किट पैटर्न के विचलन को रोकते हैं।
उत्कृष्ट तापीय स्थिरता
कार्यशाला में तापमान और आर्द्रता में होने वाले उतार-चढ़ाव का चिप निर्माण उपकरणों की सटीकता पर गहरा प्रभाव पड़ता है। ग्रेनाइट का तापीय विस्तार गुणांक बहुत कम होता है, आमतौर पर 5-7 ×10⁻⁶/℃ के बीच, और तापमान परिवर्तन होने पर भी इसका आकार लगभग अपरिवर्तित रहता है। कार्यशाला में दिन और रात के तापमान में अंतर या उपकरणों से निकलने वाली ऊष्मा के कारण परिवेश के तापमान में उतार-चढ़ाव होने पर भी, ग्रेनाइट के घटक स्थिर रहते हैं और तापीय विस्तार और संकुचन के कारण प्लेटफॉर्म के विरूपण को रोकते हैं। साथ ही, प्लेटफॉर्म में लगा बुद्धिमान तापमान नियंत्रण प्रणाली वास्तविक समय में परिवेश के तापमान की निगरानी करता है, स्वचालित रूप से एयर कंडीशनिंग और ऊष्मा अपव्यय उपकरणों को समायोजित करता है, और कार्यशाला के तापमान को 20°C ±1°C पर बनाए रखता है। ग्रेनाइट की ताप स्थिरता के लाभों के साथ मिलकर, यह सुनिश्चित करता है कि प्लेटफॉर्म के दीर्घकालिक संचालन में, प्रत्येक अक्ष की गति सटीकता हमेशा चिप निर्माण के नैनोमीटर परिशुद्धता मानकों को पूरा करती है, जिससे चिप लिथोग्राफी पैटर्न का आकार सटीक और नक़्क़ाशी की गहराई एकसमान रहती है।
स्वच्छ पर्यावरण की आवश्यकताओं को पूरा करें
चिप को धूल के कणों से दूषित होने से बचाने के लिए सेमीकंडक्टर निर्माण कार्यशाला में उच्च स्तर की स्वच्छता बनाए रखना आवश्यक है। ग्रेनाइट स्वयं धूल उत्पन्न नहीं करता है और इसकी सतह चिकनी होने के कारण धूल को आसानी से अवशोषित नहीं करती है। बाहरी धूल के प्रवेश को कम करने के लिए संपूर्ण प्लेटफॉर्म को पूरी तरह से बंद या अर्ध-बंद संरचना डिजाइन में बनाया गया है। आंतरिक वायु परिसंचरण प्रणाली कार्यशाला की स्वच्छ वायु कंडीशनिंग प्रणाली से जुड़ी हुई है ताकि चिप निर्माण के लिए आवश्यक स्तर तक आंतरिक वायु स्वच्छता सुनिश्चित हो सके। इस स्वच्छ वातावरण में, धूल के क्षरण के कारण ग्रेनाइट घटकों के प्रदर्शन पर कोई प्रभाव नहीं पड़ता है, और प्लेटफॉर्म के उच्च-सटीकता वाले सेंसर और मोटर जैसे प्रमुख घटक भी स्थिर रूप से कार्य कर सकते हैं, जिससे चिप निर्माण के लिए निरंतर और विश्वसनीय नैनोस्केल सटीकता की गारंटी मिलती है, और सेमीकंडक्टर उद्योग को उच्च प्रक्रिया स्तर पर पहुंचने में मदद मिलती है।