ग्रेनाइट बेस वेफर्स के गैर-विनाशकारी परीक्षण की सटीकता को कैसे प्रभावित करता है?

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सेमीकंडक्टर निर्माण की सटीक दुनिया में, वेफर्स का गैर-विनाशकारी परीक्षण चिप्स की गुणवत्ता सुनिश्चित करने की एक महत्वपूर्ण कड़ी है। देखने में मामूली लगने वाला ग्रेनाइट बेस वास्तव में वह "अज्ञात नायक" है जो परीक्षण की सटीकता निर्धारित करता है। आखिर यह परीक्षण परिणामों को कैसे प्रभावित करता है? यह लेख सामग्री के गुणों और संरचनात्मक डिजाइन जैसे आयामों के आधार पर गहन विश्लेषण प्रस्तुत करेगा।
1. स्थिर आधार: ग्रेनाइट के प्राकृतिक लाभ सटीकता के लिए एक ठोस आधार प्रदान करते हैं।
1. उत्कृष्ट भूकंपरोधी प्रदर्शन
वेफर गैर-विनाशकारी परीक्षण उपकरण के संचालन के दौरान, मोटर के घूर्णन और यांत्रिक घटकों की गति से कंपन उत्पन्न होता है। यदि इन कंपनों को प्रभावी ढंग से नियंत्रित नहीं किया जाता है, तो ये परीक्षण की सटीकता को गंभीर रूप से प्रभावित कर सकते हैं। ग्रेनाइट का आंतरिक भाग क्वार्ट्ज और फेल्डस्पार जैसे खनिज क्रिस्टलों से सघन रूप से जुड़ा होता है। इसकी अनूठी संरचना इसे प्राकृतिक कंपन अवशोषण क्षमता प्रदान करती है, जो उपकरण की कंपन ऊर्जा के 90% से अधिक को अवशोषित करने में सक्षम है। एक निश्चित अर्धचालक निर्माता के वास्तविक मापन डेटा से पता चलता है कि ग्रेनाइट आधार का उपयोग करने के बाद, पहचान उपकरण के कंपन का आयाम 12μm से घटकर 2μm हो गया है, जिससे कंपन के कारण होने वाले पहचान संकेत के विचलन को प्रभावी ढंग से रोका जा सकता है।
2. अत्यंत कम ऊष्मीय प्रसार गुणांक
जांच प्रक्रिया के दौरान, उपकरण के गर्म होने और परिवेश के तापमान में परिवर्तन जैसे कारक मशीन के आधार की स्थिरता को प्रभावित करते हैं। सामान्य पदार्थ गर्म होने पर काफी फैलते हैं, लेकिन ग्रेनाइट का तापीय प्रसार गुणांक स्टील के तापीय प्रसार गुणांक का केवल 1/5 होता है। परिवेश के तापमान में 10℃ का उतार-चढ़ाव होने पर भी, इसके विरूपण को नगण्य माना जा सकता है। इससे ग्रेनाइट का आधार निरीक्षण उपकरण के लिए एक स्थिर संदर्भ मंच प्रदान करता है, जिससे यह सुनिश्चित होता है कि निरीक्षण प्रोब और वेफर के बीच सापेक्ष स्थिति हर समय सटीक बनी रहे और तापीय विरूपण के कारण होने वाली निरीक्षण त्रुटियों से बचा जा सके।
दूसरा, सटीक डिज़ाइन: संरचनात्मक अनुकूलन से पता लगाने की विश्वसनीयता और भी बढ़ जाती है।
उच्च परिशुद्धता प्रसंस्करण और समतलता की गारंटी
उच्च गुणवत्ता वाले ग्रेनाइट बेस को उन्नत पांच-अक्षीय लिंकेज सीएनसी तकनीक द्वारा संसाधित किया जाता है, जिसकी समतलता ±0.5μm/m है, जो निरीक्षण उपकरणों के लिए एक अति-समतल स्थापना संदर्भ प्रदान करती है। वेफर निरीक्षण में, निरीक्षण प्रोब की ऊर्ध्वाधरता और समतलता निरीक्षण परिणामों के लिए महत्वपूर्ण हैं। एक उच्च परिशुद्धता वाला ग्रेनाइट बेस प्रोब की सटीक स्थिति सुनिश्चित कर सकता है, जिससे निरीक्षण डेटा अधिक सटीक और विश्वसनीय हो जाता है।
2. अनुकूलित संरचनात्मक अनुकूलन
ग्रेनाइट मशीन बेस को विभिन्न वेफर गैर-विनाशकारी परीक्षण उपकरणों और प्रक्रिया आवश्यकताओं के अनुरूप अनुकूलित किया जा सकता है। उदाहरण के लिए, प्रकाश परावर्तन के लिए ऑप्टिकल निरीक्षण उपकरणों की आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए, मशीन बेस की सतह को विशेष रूप से उपचारित किया जा सकता है; अल्ट्रासोनिक परीक्षण उपकरणों की स्थापना आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए, बेस को सटीक स्थापना छिद्रों और केबल ट्रे के साथ पूर्वनिर्मित किया जा सकता है, जिससे उपकरण की त्वरित और सटीक स्थापना संभव हो पाती है और स्थापना त्रुटियों के कारण होने वाले पहचान विचलन को कम किया जा सकता है।
iii. दीर्घकालिक स्थिरता: उपकरण रखरखाव के कारण होने वाली परिशुद्धता हानि को कम करना
ग्रेनाइट में उच्च कठोरता और मजबूत घिसाव प्रतिरोध होता है, जिसकी मोह्स कठोरता 6 से 7 होती है, जो साधारण स्टील के घिसाव प्रतिरोध से तीन गुना अधिक है। लंबे समय तक निरीक्षण कार्यों के दौरान, मशीन के आधार की सतह घिसती नहीं है और हमेशा अच्छी परिशुद्धता बनाए रखती है। इसके विपरीत, अन्य सामग्रियों से बने आधार घिसाव के कारण उपकरण के इंस्टॉलेशन संदर्भ में परिवर्तन ला सकते हैं, जिससे जांच की सटीकता प्रभावित होती है और बार-बार अंशांकन और रखरखाव की आवश्यकता होती है। ग्रेनाइट आधार का लंबा सेवा जीवन और उच्च स्थिरता उपकरण के रखरखाव की आवृत्ति को प्रभावी ढंग से कम करती है और रखरखाव प्रक्रिया के दौरान होने वाली परिशुद्धता हानि के जोखिम को कम करती है।
झटके सहने की क्षमता, गर्मी सहने की क्षमता से लेकर सटीक डिजाइन तक, ग्रेनाइट बेस की हर विशेषता वेफर्स के गैर-विनाशकारी परीक्षण की सटीकता को सुनिश्चित करती है। आज के अर्धचालक निर्माण युग में, जहां अत्यधिक सटीकता की मांग की जाती है, उच्च गुणवत्ता वाले ग्रेनाइट बेस का चयन करना परीक्षण परिणामों की सटीकता और विश्वसनीयता के लिए एक ठोस सुरक्षा कवच प्रदान करने जैसा है।