उच्च परिशुद्धता वाले ग्रेनाइट मशीन बेस किस प्रकार वेफर निरीक्षण उपकरण की सटीकता में सुधार करते हैं।

Iसेमीकंडक्टर निर्माण उद्योग में, एकीकृत परिपथों की गुणवत्ता सुनिश्चित करने के लिए वेफर निरीक्षण उपकरणों की सटीकता अत्यंत महत्वपूर्ण है। ZHHIMG® द्वारा प्रदान किए गए उच्च परिशुद्धता वाले ग्रेनाइट मशीन बेस, ऐसे उपकरणों के प्रदर्शन को बेहतर बनाने में महत्वपूर्ण भूमिका निभाते हैं। आइए जानते हैं कि ये कैसे फर्क लाते हैं।
असाधारण आयामी स्थिरता: ग्रेनाइट का तापीय विस्तार गुणांक अत्यंत कम होता है, लगभग (4–8)×10⁻⁶/℃, जो कई धातुओं की तुलना में काफी कम है। सेमीकंडक्टर कारखानों के कड़े नियंत्रण वाले वातावरण में, जहाँ तापमान में मामूली उतार-चढ़ाव भी माप में त्रुटियाँ उत्पन्न कर सकता है, ग्रेनाइट मशीन के आधार स्थिर रहते हैं। यह स्थिरता सुनिश्चित करती है कि वेफर निरीक्षण उपकरण में घटकों की स्थिति सटीक बनी रहे, जिससे तापीय कारणों से होने वाले किसी भी विचलन को रोका जा सके जो निरीक्षण परिणामों की सटीकता को प्रभावित कर सकता है।

बेहतर कंपन अवमंदन: उत्पादन फर्श अक्सर विभिन्न स्रोतों से कंपन से भरे होते हैं। ग्रेनाइट के अंतर्निहित अवमंदन गुण, 0.05–0.1 के अवमंदन अनुपात के साथ, इन कंपनों को प्रभावी ढंग से अवशोषित और फैलाते हैं। वेफर निरीक्षण के लिए
ऐसे अनुप्रयोगों में, जिनमें उच्च-रिज़ॉल्यूशन इमेजिंग और सटीक सेंसर रीडिंग की आवश्यकता होती है, ग्रेनाइट बेस द्वारा प्रदान की गई कंपन में कमी अमूल्य है। यह उन हस्तक्षेपों को कम करता है जो छवियों को धुंधला कर सकते हैं या सेंसर डेटा को विकृत कर सकते हैं, जिससे उपकरण वेफर की सतह और आंतरिक संरचना के बारे में स्पष्ट और सटीक जानकारी प्राप्त कर पाता है।
उच्च कठोरता और घिसाव प्रतिरोध: लगभग 3100 kg/m³ के घनत्व के साथ, ZHHIMG® के ग्रेनाइट मशीन बेस असाधारण कठोरता प्रदान करते हैं। ये वेफर निरीक्षण उपकरणों के भारी घटकों को बिना विकृत हुए सहारा दे सकते हैं, जिससे ऑप्टिकल और मैकेनिकल सिस्टम का संरेखण बना रहता है। इसके अतिरिक्त, ग्रेनाइट की उच्च कठोरता (मोह्स स्केल 6-7) और उत्कृष्ट घिसाव प्रतिरोध यह सुनिश्चित करते हैं कि मशीन बेस की सतह समय के साथ सपाट और चिकनी बनी रहे। यह स्थिरता दीर्घकालिक सटीकता के लिए आवश्यक है, क्योंकि बेस पर किसी भी प्रकार की घिसावट या विकृति उपकरण की परिशुद्धता को धीरे-धीरे कम कर सकती है।
रासायनिक अक्रियता: अर्धचालक निर्माण में विभिन्न रसायनों के संपर्क में आना शामिल होता है। ग्रेनाइट की रासायनिक अक्रियता इसे इन पदार्थों से होने वाले संक्षारण के प्रति प्रतिरोधी बनाती है। यह गुण मशीन के आधार की अखंडता की रक्षा करता है, जिससे रासायनिक रूप से होने वाली क्षति को रोका जा सकता है जो निरीक्षण उपकरण की स्थिरता और सटीकता को प्रभावित कर सकती है।
निष्कर्षतः, उच्च परिशुद्धता वाले ग्रेनाइट मशीन बेस केवल एक घटक नहीं बल्कि वेफर निरीक्षण उपकरणों की सटीक आवश्यकताओं को पूरा करने में एक महत्वपूर्ण भूमिका निभाते हैं। ग्रेनाइट मशीन बेस चुनते समय, ZHHIMG® जैसे विश्वसनीय प्रदाताओं को प्राथमिकता दें। कई प्रमाणपत्रों और गुणवत्ता के प्रति प्रतिबद्धता के साथ, ZHHIMG® यह सुनिश्चित करता है कि प्रत्येक ग्रेनाइट मशीन बेस उन्नत सेमीकंडक्टर निर्माण के लिए आवश्यक विश्वसनीयता और प्रदर्शन प्रदान करे।