सेमीकंडक्टर उपकरणों में ग्रेनाइट के सामान्य अनुप्रयोग क्या हैं?

सेमीकंडक्टर उपकरणों के निर्माण और डिज़ाइन में ग्रेनाइट का उपयोग वर्षों से व्यापक रूप से किया जाता रहा है। इसके उत्कृष्ट गुणों के कारण यह कई अनुप्रयोगों के लिए एक आदर्श सामग्री है। ग्रेनाइट घिसाव, जंग और ऊष्मीय झटकों के प्रति अत्यधिक प्रतिरोधी है, जो इसे कठोर वातावरण में उपयोग के लिए उपयुक्त बनाता है। इस लेख में, हम सेमीकंडक्टर उपकरणों में ग्रेनाइट के कुछ सामान्य अनुप्रयोगों पर चर्चा करेंगे।

1. मापन उपकरण

अर्धचालक उपकरणों के आयामों और गुणों को मापने के लिए मेट्रोलॉजी उपकरणों का उपयोग किया जाता है। ग्रेनाइट को अक्सर ऐसे उपकरणों के आधार के रूप में उपयोग किया जाता है, क्योंकि यह आयामों में अत्यधिक स्थिर होता है। ग्रेनाइट की समतल सतह और उसकी परिशुद्धता सटीक माप के लिए एक आदर्श संदर्भ प्रदान करती है। इसके अलावा, ग्रेनाइट की तापीय स्थिरता तापमान में बदलाव के कारण आयामों में परिवर्तन के जोखिम को कम करती है।

2. प्रकाशीय उपकरण

सेमीकंडक्टर उपकरणों के निर्माण में प्रयुक्त लिथोग्राफी मशीनों जैसे ऑप्टिकल उपकरणों में भी ग्रेनाइट का उपयोग किया जाता है। ग्रेनाइट का आधार इन मशीनों में उपयोग होने वाले उच्च परिशुद्धता वाले ऑप्टिक्स के लिए एक स्थिर प्लेटफॉर्म प्रदान करता है। ग्रेनाइट के उत्कृष्ट कंपन-अवरोधक गुण भी कंपन को कम करने में सहायक होते हैं, जो ऑप्टिक्स के प्रदर्शन और सटीकता को प्रभावित कर सकते हैं।

3. वेफर प्रसंस्करण उपकरण

सेमीकंडक्टर वेफर प्रोसेसिंग में कई चरण शामिल होते हैं, जिनमें सफाई, एचिंग और डिपोजिशन शामिल हैं। वेफर प्रोसेसिंग उपकरण के कई घटकों में ग्रेनाइट का उपयोग किया जाता है। उदाहरण के लिए, ग्रेनाइट का उपयोग केमिकल वेपर डिपोजिशन (सीवीडी) उपकरण के लिए सब्सट्रेट के रूप में किया जाता है, जिसका उपयोग सिलिकॉन वेफर्स पर पतली परतें जमा करने के लिए किया जाता है। ग्रेनाइट का उपयोग एचिंग चैंबर और अन्य प्रोसेस वेसल्स के निर्माण में भी किया जाता है, जहां इसकी उत्कृष्ट रासायनिक प्रतिरोधकता और आयामी स्थिरता आवश्यक होती है।

4. परीक्षण उपकरण

परीक्षण उपकरणों का उपयोग अर्धचालक उपकरणों के प्रदर्शन और गुणवत्ता को सत्यापित करने के लिए किया जाता है। ग्रेनाइट को अक्सर इसकी उच्च कठोरता और स्थिरता के कारण परीक्षण उपकरणों के आधार के रूप में उपयोग किया जाता है। ग्रेनाइट एक गैर-चुंबकीय और गैर-चालक आधार प्रदान करता है जो संवेदनशील परीक्षण उपकरणों के साथ किसी भी प्रकार की बाधा को दूर करता है। ग्रेनाइट की समतल सतह और उसकी सटीकता से उच्च परिशुद्धता वाले परीक्षण परिणाम प्राप्त होते हैं।

निष्कर्ष

निष्कर्षतः, ग्रेनाइट अर्धचालक उपकरणों के डिजाइन और निर्माण में एक महत्वपूर्ण सामग्री है। इसके उत्कृष्ट गुण, जिनमें आयामी स्थिरता, ऊष्मीय स्थिरता, रासायनिक प्रतिरोध और कंपन को कम करना शामिल हैं, इसे कई अनुप्रयोगों के लिए एक आदर्श सामग्री बनाते हैं। ग्रेनाइट का उपयोग अर्धचालक उपकरणों के कई महत्वपूर्ण घटकों में किया जाता है, जिनमें मापन उपकरण, ऑप्टिकल उपकरण, वेफर प्रसंस्करण उपकरण और परीक्षण उपकरण शामिल हैं। जैसे-जैसे तेज, छोटे और अधिक शक्तिशाली अर्धचालक उपकरणों की मांग बढ़ती जा रही है, अर्धचालक उपकरणों में ग्रेनाइट का उपयोग अनिवार्य बना रहने की संभावना है।